ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଉତ୍ପାଦନ ଜଗତରେ - ଯେଉଁଠାରେ ସହନଶୀଳତା 5 ମାଇକ୍ରୋନରୁ କମ୍ ସଙ୍କୁଚିତ ହୁଏ ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ ଶେଷ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗୁଣବତ୍ତା ପାଖକୁ ଯାଏ - ଆମେ ଯେଉଁ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରୁଛୁ ତାହା ପରମ୍ପରା ବାହାରେ ବିକଶିତ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ। ଦଶନ୍ଧି ଧରି, ଇସ୍ପାତ ଏବଂ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ମେଟ୍ରୋଲୋଜି ବେଞ୍ଚରେ ରାଜତ୍ୱ କରୁଥିଲା। କିନ୍ତୁ ଯେତେବେଳେ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ, ଏରୋସ୍ପେସ୍ ଅପ୍ଟିକ୍ସ ଏବଂ ମେଡିକାଲ ମାଇକ୍ରୋ-ଡିଭାଇସ୍ ଭଳି ଶିଳ୍ପଗୁଡ଼ିକ ଏପରି କ୍ଷେତ୍ରରେ ପ୍ରବେଶ କରନ୍ତି ଯେଉଁଠାରେ ଥର୍ମାଲ୍ ଡ୍ରିଫ୍ଟ କିମ୍ବା ମାଇକ୍ରୋସ୍କପିକ୍ ୱେୟାର ମଧ୍ୟ ଅଗ୍ରାହ୍ୟ ତ୍ରୁଟି ପ୍ରବର୍ତ୍ତନ କରେ, ଏକ ନୂତନ ଶ୍ରେଣୀର ସନ୍ଦର୍ଭ ଉପକରଣ ଉଭା ହେଉଛି: ଧାତୁ କିମ୍ବା ପଥରରୁ ନୁହେଁ, ବରଂ ଉନ୍ନତ ବୈଷୟିକ ମାଟିରୁ ତିଆରି।
ZHHIMG ରେ, ଆମେ କେବଳ ପ୍ରଦାନ କରିବା ଠାରୁ ଆଗକୁ ବଢ଼ିଛୁସେରାମିକ୍ ଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ରୁଲର୍କିମ୍ବା ସିରାମିକ୍ ସ୍କୋୟାର ରୁଲର ଉତ୍ପାଦ। ଆମେ ଏକ ସିଧା ଧାର କ’ଣ ହୋଇପାରେ ତାହା ପୁନଃପରିଭାଷିତ କରୁଛୁ - ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ଡିଜାଇନ୍ ସହିତ ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ସ୍ଥିର ସିରାମିକ୍ ସାମଗ୍ରୀକୁ ମିଶ୍ରଣ କରି, ଆମର ଅଭିନବ କଷ୍ଟମ୍ ସେରାମିକ୍ ଏୟାର ଫ୍ଲୋଟିଂ ରୁଲର ସମେତ, ଏକ ସମାଧାନ ଯାହା ନାନୋମିଟର-ସ୍ତରୀୟ ପୁନରାବୃତ୍ତି ପ୍ରଦାନ କରିବା ସହିତ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସମ୍ପର୍କକୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ଦୂର କରେ।
ସିରାମିକ୍ସ କାହିଁକି? ଉତ୍ତର ଆଣବିକ ସ୍ତରରୁ ଆରମ୍ଭ ହୁଏ। ଇସ୍ପାତ - ଯାହା ତାପମାତ୍ରା ସହିତ ଯଥେଷ୍ଟ ଭାବରେ ବିସ୍ତାରିତ ହୁଏ - କିମ୍ବା ଗ୍ରାନାଇଟ୍ - ଯାହାର ସ୍ଥିରତା ସତ୍ତ୍ୱେ, ଛିଦ୍ର ଏବଂ ବିଷମ ରହିଥାଏ - ଜିରକୋନିଆ-କଠୋର ଆଲୁମିନା (ZTA) ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ପରି ଇଞ୍ଜିନିୟର୍ଡ ସିରାମିକ୍ସ ଶୂନ୍ୟ ପାଖାପାଖି ପୋରୋସିଟି, ଅସାଧାରଣ କଠୋରତା (1400–1800 HV), ଏବଂ 3–4 µm/m·°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ କମ୍ ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ ପ୍ରଦାନ କରେ। ଏହାର ଅର୍ଥ ହେଉଛି ZHHIMG ର ଏକ ସିରାମିକ୍ ଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏଜ୍ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନ ମଧ୍ୟରେ ଏହାର ଜ୍ୟାମିତିକୁ ବଜାୟ ରଖେ ଯାହା ପାରମ୍ପରିକ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକୁ ଅନେକ ମାଇକ୍ରୋନ ଦ୍ୱାରା ବିକୃତ କରିବ।
କିନ୍ତୁ କେବଳ ସାମଗ୍ରୀ ଯଥେଷ୍ଟ ନୁହେଁ। ଆମର ସିରାମିକ୍ ରୁଲରଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ରକୃତରେ ଭିନ୍ନ କରୁଥିବା ବିଷୟ ହେଉଛି ସେମାନଙ୍କର ନିର୍ମାଣର ସଠିକତା। ISO କ୍ଲାସ୍ 5 କ୍ଲିନ୍ ରୁମ୍ରେ ହୀରା ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ, ସବ୍-ଆପର୍ଚର ପଲିସିଂ ଏବଂ ଲେଜର ଇଣ୍ଟରଫେରୋମେଟ୍ରିକ୍ ବୈଧତା ବ୍ୟବହାର କରି, ଆମେ 500 mm ରୁ ଅଧିକ 0.8 µm ସିଧା ସହନଶୀଳତା ହାସଲ କରୁ - କେବଳ ବିତରଣ ସମୟରେ ଯାଞ୍ଚ କରାଯାଇନାହିଁ, ବରଂ NIST ଏବଂ PTB ମାନକ ଅନୁସାରେ ଟ୍ରାସେବଲ୍ ପୂର୍ଣ୍ଣ କାଲିବ୍ରେସନ୍ ରିପୋର୍ଟରେ ଡକ୍ୟୁମେଣ୍ଟେଡ୍ କରାଯାଇଛି। ପ୍ରତ୍ୟେକସେରାମିକ୍ ବର୍ଗାକାର ରୁଲର୍ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଅଟୋକଲିମେସନ୍ ମାଧ୍ୟମରେ ଲମ୍ବ ପରୀକ୍ଷଣ କରାଯାଏ, ଯାହା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ କୋଣଗୁଡ଼ିକ 1 ଆର୍କ-ସେକେଣ୍ଡ ମଧ୍ୟରେ ରହିଛି (100 mm ରେ ≈0.5 µm ବିଚ୍ୟୁତି)।
ଏଗୁଡ଼ିକ ତାତ୍ତ୍ୱିକ ବିଶେଷତା ନୁହେଁ। ଏଗୁଡ଼ିକ ଗ୍ରାହକମାନଙ୍କ ପାଇଁ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ବାସ୍ତବତା ଯେଉଁମାନେ ଆଉ ଆପୋଷ ବୁଝାମଣା କରିପାରିବେ ନାହିଁ। ଏକ ଅଗ୍ରଣୀ EUV ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଉପାଦାନ ଯୋଗାଣକାରୀ ଏବେ ଦର୍ପଣ ସମର୍ଥନ ଫ୍ରେମଗୁଡ଼ିକୁ ସଜାଡ଼ିବା ପାଇଁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଭାବରେ ଆମର ସେରାମିକ୍ ଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ରୁଲର ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି। "ଲମ୍ବା ଏକ୍ସପୋଜର୍ ଚକ୍ର ସମୟରେ ଷ୍ଟିଲ୍ ରୁଲରଗୁଡ଼ିକ ବିକୃତ ହୋଇଗଲା," ସେମାନଙ୍କର ମୁଖ୍ୟ ମେଟ୍ରୋଲୋଜିଷ୍ଟ ଆମକୁ କହିଥିଲେ। "ଗ୍ରାନାଇଟ୍ କଣିକା ଉଠାଇଲା। ସେରାମିକ୍ ସଂସ୍କରଣ? ଏହା 18 ମାସ ଧରି ସ୍ଥିର ଅଛି - କୌଣସି ପୁନର୍ମାପନ ଆବଶ୍ୟକ ନାହିଁ।"
ତଥାପି ସଂସ୍ପର୍ଶ ଦ୍ୱାରା ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଜ୍ୟାମିତି ମଧ୍ୟ ବିପଦରେ ପଡ଼ିପାରେ। ଏକ ରୁଲରକୁ ଏକ ପୃଷ୍ଠ ଉପରେ ଟାଣନ୍ତୁ, ଏବଂ ଆପଣ ମାଇକ୍ରୋ-ସ୍କ୍ରାଚ୍, ତେଲ ଫିଲ୍ମ ହସ୍ତକ୍ଷେପ, କିମ୍ବା ଇଲାଷ୍ଟିକ୍ ବିକୃତିର ବିପଦ ଭୋଗିବେ - ବିଶେଷକରି ନରମ ଧାତୁ କିମ୍ବା ପଲିସ୍ ହୋଇଥିବା ଅପ୍ଟିକ୍ସରେ। କଷ୍ଟମ୍ ସେରାମିକ୍ ଏୟାର ଫ୍ଲୋଟିଂ ରୁଲର ସହିତ ZHHIMG ର ଉଦ୍ଭାବନ ସେହିଠାରେ ଆଗକୁ ବଢ଼ିଥାଏ।
ଏହା କେବଳ ଏକ ସିରାମିକ୍ ସିଧା ଧାର ନୁହେଁ ଯେଉଁଥିରେ ଛିଦ୍ର କରାଯାଇଛି। ଏହା ଏକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଇଞ୍ଜିନିୟର୍ଡ ଏରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ସିଷ୍ଟମ୍, ଯାହା ରୁଲରର ସମଗ୍ର ଲମ୍ବରେ ସମାନ, ଲାମିନାର୍ ବାୟୁ ପ୍ରବାହ ପ୍ରଦାନ କରିବା ପାଇଁ କମ୍ପ୍ୟୁଟେସନାଲ୍ ଫ୍ଲୁଇଡ୍ ଡାଇନାମିକ୍ସ ବ୍ୟବହାର କରି ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି। ଯେତେବେଳେ ସଫା, ଶୁଷ୍କ ବାୟୁ (କିମ୍ବା ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପରିବେଶରେ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍) ସହିତ ଚାପ ଦିଆଯାଏ, ରୁଲରଟି ୱର୍କପିସ୍ ଉପରେ 5-10 ମାଇକ୍ରୋନ୍ ଭାସମାନ ହୁଏ - ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସଂରଚନା ବଜାୟ ରଖି ଶାରୀରିକ ସମ୍ପର୍କକୁ ଦୂର କରେ। ଫଳାଫଳ? ସମତଳତା, ସିଧାତା, କିମ୍ବା ଷ୍ଟେପ୍ ଉଚ୍ଚତା ଯାଞ୍ଚ ପାଇଁ ପ୍ରକୃତ ଅଣ-ସଂଯୋଗ ମାପ, ±0.2 µm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପୁନରାବୃତ୍ତି ସହିତ।
ସ୍ୱିଜରଲ୍ୟାଣ୍ଡର ଏକ କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ କମ୍ପ୍ୟୁଟିଂ ଲ୍ୟାବ ଏବେ ସୁପରକଣ୍ଡକ୍ଟିଂ ଚିପ୍ କ୍ୟାରିଅରଗୁଡ଼ିକୁ ଯାଞ୍ଚ କରିବା ପାଇଁ 600-ମିମି କଷ୍ଟମ୍ ସେରାମିକ୍ ଏୟାର ଫ୍ଲୋଟିଂ ରୁଲର ବ୍ୟବହାର କରୁଛି। "ଯେକୌଣସି ସମ୍ପର୍କ - ଏକ ନରମ ଷ୍ଟାଇଲସ୍ ସହିତ ମଧ୍ୟ - ଚାପ ସୃଷ୍ଟି କରେ ଯାହା କ୍ୟୁବିଟ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରେ," ସେମାନଙ୍କର ପ୍ରକ୍ରିୟା ଇଞ୍ଜିନିୟର ବ୍ୟାଖ୍ୟା କରିଛନ୍ତି। "ବାୟୁ-ଫ୍ଲୋଟିଂ ସେରାମିକ୍ ରୁଲର ଆମକୁ ଅଂଶକୁ ସ୍ପର୍ଶ ନକରି ଆବଶ୍ୟକୀୟ ରେଫରେନ୍ସ ପ୍ରଦାନ କରେ। ଏହା ମିଶନ-କ୍ରିଟିକାଲ୍ ହୋଇଯାଇଛି।"
ଏହାକୁ ସମ୍ଭବ କରୁଥିବା ଜିନିଷ ହେଉଛି ZHHIMG ର ସାମଗ୍ରୀ ବିଜ୍ଞାନ, ସଠିକ୍ ମେସିନିଂ ଏବଂ ମାପ ବିଜ୍ଞାନ ବିଶେଷଜ୍ଞତାର ଅନନ୍ୟ ସମନ୍ୱୟ। ଅନେକ ଯୋଗାଣକାରୀ ସିରାମିକ୍ସକୁ ଗଠନମୂଳକ ଉପାଦାନ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି, ଆମେ ସେଗୁଡ଼ିକୁ ମାପ କଳାକୃତି ଭାବରେ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରୁ। ଆମର ସିରାମିକ୍ ସ୍କୋୟାର ରୁଲର ଡିଜାଇନ୍ରେ ଚିପିଂକୁ ରୋକିବା ପାଇଁ ଚାମ୍ଫର୍ଡ ଏଜ୍, ନିରୀକ୍ଷଣ ଆଲୋକୀକରଣ ସମୟରେ ଚମକ ହ୍ରାସ କରିବା ପାଇଁ ମ୍ୟାଟ୍-ଫିନିସ୍ଡ୍ ବ୍ୟାକ୍ ଏବଂ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଦୃଷ୍ଟି ସିଷ୍ଟମ୍ ପାଇଁ ଇଚ୍ଛାଧୀନ ଫିଡୁସିଆଲ୍ ମାର୍କର ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। କ୍ଲିନରୁମ୍ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ, କଣିକା ଆଡ଼ସେସନକୁ କମ କରିବା ପାଇଁ ପୃଷ୍ଠଗୁଡ଼ିକୁ Ra < 0.02 µm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପଲିସ୍ କରାଯାଏ।
ଏବଂ ପ୍ରତ୍ୟେକ ପ୍ରୟୋଗ ଭିନ୍ନ ହୋଇଥିବାରୁ, ଆମେ ଗୋଟିଏ ଆକାରରେ ଫିଟ୍ ହେବାରେ ବିଶ୍ୱାସ କରୁନାହୁଁ। ଯାଞ୍ଚ ସମୟରେ ପତଳା ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ଧରି ରଖିବା ପାଇଁ ଏମ୍ବେଡେଡ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚ୍ୟାନେଲଗୁଡ଼ିକ ସହିତ ଏକ ସିରାମିକ୍ ଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏଜ୍ ଆବଶ୍ୟକ କି? ଆମେ ଏହାକୁ ତିଆରି କରିଛୁ। ଆବଶ୍ୟକ ଏକବର୍ଗ ରୁଲର୍ଆପଣଙ୍କ CMM ପ୍ରୋବ୍ ଟିପ୍ ସହିତ ସଂଯୁକ୍ତ ହୋଲ୍ ସହିତ? ହୋଇଗଲା। ସମନ୍ୱିତ ଚାପ ସେନ୍ସର ଏବଂ ଡିଜିଟାଲ୍ ଲେଭଲିଂ ଫିଡବ୍ୟାକ୍ ସହିତ ଏକ କଷ୍ଟମ୍ ସେରାମିକ୍ ଏୟାର ଫ୍ଲୋଟିଂ ରୁଲର ଚାହୁଁଛନ୍ତି କି? ଏହା ପୂର୍ବରୁ ଏକ ଟାୟର୍-1 ଏରୋସ୍ପେସ୍ କ୍ଲାଏଣ୍ଟ ସହିତ ବିଟା ପରୀକ୍ଷଣରେ ଅଛି।
ଶିଳ୍ପ ସ୍ୱୀକୃତି ପରେ ଆସିଛି। 2025 ଗ୍ଲୋବାଲ୍ ଆଡଭାନ୍ସଡ୍ ମେଟ୍ରୋଲୋଜି ସମୀକ୍ଷାରେ, ZHHIMG କୁ ଏକମାତ୍ର କମ୍ପାନୀ ଭାବରେ ଉଲ୍ଲେଖ କରାଯାଇଥିଲା ଯାହା ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଜ୍ୟାମିତିକ ବୈଧତା ଏବଂ ଡିଜିଟାଲ୍ ଟ୍ରେସେବିଲିଟି ସହିତ ପ୍ରମାଣିତ ସିରାମିକ୍ ସନ୍ଦର୍ଭ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକର ଏକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ପରିବାର ପ୍ରଦାନ କରେ - ଫ୍ଲୋଟିଂ ଭାରିଆଣ୍ଟଗୁଡ଼ିକ ସମେତ। କିନ୍ତୁ ଅଧିକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କଥା ହେଉଛି, ଗ୍ରହଣ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ହେଉଛି: ଆମର 60% ରୁ ଅଧିକ ସିରାମିକ୍ ରୁଲର ଅର୍ଡର ବର୍ତ୍ତମାନ ସେହି ଶିଳ୍ପଗୁଡ଼ିକରୁ ଆସିଥାଏ ଯେଉଁମାନେ ପୂର୍ବରୁ ଏପରି ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକୁ "ଅତ୍ୟଧିକ" ବୋଲି ବିବେଚନା କରୁଥିଲେ - ଯେପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସେମାନେ ପାର୍ଥକ୍ୟ ମାପି ନ ଥିଲେ।
ଷ୍ଟିଲ୍ରୁ ଆମର ସିରାମିକ୍ ସ୍କୋୟାର ରୁଲର୍କୁ ସ୍ୱିଚ୍ କରି ନ୍ୟୁରାଲ୍ ଇମ୍ପ୍ଲାଣ୍ଟ ଉତ୍ପାଦନ କରୁଥିବା ଏକ ମେଡିକାଲ୍ ଡିଭାଇସ୍ ଷ୍ଟାର୍ଟଅପ୍ ସେମାନଙ୍କର ପ୍ରଥମ-ପାସ୍ ଉପଜ 22% ବୃଦ୍ଧି ପାଇଛି। "ପୁରୁଣା ସ୍କୋୟାର ଟାଇଟାନିୟମ୍ ହାଉସିଂ ଉପରେ ମାଇକ୍ରୋ-ଗଜ୍ ଛାଡିଥିଲା," ସେମାନଙ୍କର QA ପରିଚାଳକ କହିଛନ୍ତି। "ଆମେ ସ୍ୱିଚ୍ କରିବା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଆମେ ଏହା ଜାଣିପାରି ନଥିଲୁ। ବର୍ତ୍ତମାନ, ପ୍ରତ୍ୟେକ ଅଂଶ ପ୍ରଥମ ଚେଷ୍ଟାରେ ଦୃଶ୍ୟ ଏବଂ ଡାଇମେନ୍ସନ୍ଲ ଯାଞ୍ଚ ପାସ୍ କରେ।"
ତେଣୁ ଯେତେବେଳେ ଆପଣ ଆପଣଙ୍କର ପରବର୍ତ୍ତୀ ମେଟ୍ରୋଲୋଜି ଅପଗ୍ରେଡ୍ ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ କରୁଛନ୍ତି, ନିଜକୁ ପଚାରନ୍ତୁ: ମୋର ବର୍ତ୍ତମାନର ସରଳ ଧାର ଅନିଶ୍ଚିତତା ଯୋଡୁଛି - ନା ଏହାକୁ ଦୂର କରୁଛି?
ଯଦି ଆପଣଙ୍କର ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚିହ୍ନଟଯୋଗ୍ୟତାର ଧାରରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ, ତେବେ ଉତ୍ତର ସିରାମିକ୍ସରେ ରହିପାରେ - ଏକ ନୂତନତ୍ୱ ଭାବରେ ନୁହେଁ, ବରଂ ଏକ ଆବଶ୍ୟକତା ଭାବରେ। ZHHIMG ରେ, ଆମେ କେବଳ ସିରାମିକ୍ ଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ରୁଲର, ସିରାମିକ୍ ସ୍କ୍ୱୟାର ରୁଲର, କିମ୍ବା ସିରାମିକ୍ ଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏଜ୍ ଟୁଲ୍ସ ନିର୍ମାଣ କରୁନାହୁଁ। ଆମେ ପ୍ରତ୍ୟେକ ମାଇକ୍ରୋନରେ ଆତ୍ମବିଶ୍ୱାସକୁ ଇଞ୍ଜିନିୟର କରୁ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଡିସେମ୍ବର-୩୧-୨୦୨୫