ଉଚ୍ଚମାନର ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ବୈଜ୍ଞାନିକ ଗବେଷଣା କ୍ଷେତ୍ରରେ, ଏୟାର ଫ୍ଲୋଟର ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲ୍ ଏହାର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ସଠିକ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସହିତ ସୂକ୍ଷ୍ମ କାର୍ଯ୍ୟ ଏବଂ ମାପ ପାଇଁ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ଉପକରଣ ପାଲଟିଛି। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ରିସିସନ୍ ବେସ୍, ସପୋର୍ଟ କୋର୍ ଭାବରେ, କାର୍ଯ୍ୟ ପରିବେଶ ପାଇଁ କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ରହିଛି, ଏବଂ ଉପଯୁକ୍ତ ପରିବେଶଗତ ପରିସ୍ଥିତି ହେଉଛି ଏହାର ସ୍ଥିର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ସର୍ବୋତ୍ତମ ପ୍ରଭାବ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବାର ଆଧାର।
ପ୍ରଥମ, ତାପମାତ୍ରା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ: ସଠିକ୍ "ସ୍ଥିରକାରୀ"
ଯଦିଓ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଏହାର ସ୍ଥିରତା ପାଇଁ ଜଣାଶୁଣା, ଏହା ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନରୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରତିରୋଧୀ ନୁହେଁ। ଯଦିଓ ଏହାର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ କମ୍, ସାଧାରଣତଃ 5-7 ×10⁻⁶/℃, ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପରିସ୍ଥିତିରେ, ସୂକ୍ଷ୍ମ ତାପମାତ୍ରାର ପରିବର୍ତ୍ତନ ତଥାପି ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଆଣିପାରେ ଏବଂ ମଡ୍ୟୁଲ୍ ସଠିକତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିପାରେ। ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଚିପ୍ ନିର୍ମାଣ କର୍ମଶାଳାରେ, ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଏକ ଡାନାମି-ସ୍ତରୀୟ ସ୍ଥିତି ସଠିକତା ଆବଶ୍ୟକ, ଏବଂ ପରିବେଶର ତାପମାତ୍ରା 1 ° C ଦ୍ୱାରା ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ, ଏବଂ 1 ମିଟର ପାର୍ଶ୍ୱ ଲମ୍ବ ସହିତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର 5-7 ମାଇକ୍ରୋନର ରେଖୀୟ ପ୍ରସାରଣ କିମ୍ବା ସଂକୋଚନ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ। ଏହି ଛୋଟ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଏୟାର ଫ୍ଲୋଟ୍ ର ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲ୍ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରେରିତ ହୁଏ, ଯାହା ଚିପ୍ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ୟାଟର୍ନ ବିଚ୍ୟୁତି କରିବାକୁ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନକୁ ବହୁ ପରିମାଣରେ ହ୍ରାସ କରିବାକୁ ଯଥେଷ୍ଟ। ତେଣୁ, ବାୟୁ ଭାସମାନ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲର ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ରିସିସନ୍ ବେସ୍ ସହିତ ସଜ୍ଜିତ, ଆଦର୍ଶ କାର୍ଯ୍ୟ ପରିବେଶର ତାପମାତ୍ରା 20 ° C ±1 ° C ରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହେବା ଉଚିତ, ଉଚ୍ଚ-ପ୍ରିସିସନ୍ ସ୍ଥିର ତାପମାତ୍ରା ଉପକରଣ, ଯେପରିକି ସ୍ଥିର ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତା ଏୟାର କଣ୍ଡିସନିଂ ସିଷ୍ଟମ, ନିରନ୍ତର ନିରୀକ୍ଷଣ ଏବଂ ପରିବେଶର ତାପମାତ୍ରାର ସମାୟୋଜନ ସାହାଯ୍ୟରେ, ଏକ ଅତି କ୍ଷୁଦ୍ର ପରିସର ମଧ୍ୟରେ ତାପମାତ୍ରାର ଉତ୍ଥାନ-ପତନ, ମୂଳ ଆକାର ସ୍ଥିରତା ବଜାୟ ରଖିବା, ମଡ୍ୟୁଲ୍ ଉଚ୍ଚ-ପ୍ରିସିସନ୍ କାର୍ଯ୍ୟ ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ।
ଦ୍ୱିତୀୟତଃ, ଆର୍ଦ୍ରତା ପରିଚାଳନା: ଆର୍ଦ୍ରତା-ପ୍ରତିରୋଧୀ ସୁରକ୍ଷାର ଚାବିକାଠି "ପଥର"
ଆର୍ଦ୍ରତା ହେଉଛି ସଠିକ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରୁଥିବା ଅନ୍ୟ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କାରଣ। ଏକ ଉଚ୍ଚ ଆର୍ଦ୍ରତା ପରିବେଶରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଜଳୀୟ ବାଷ୍ପକୁ ଶୋଷଣ କରିବା ସହଜ, ଯାହା ପୃଷ୍ଠରେ ଘନୀଭୂତ ହୋଇପାରେ, ଯାହା କେବଳ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଏବଂ ବାୟୁ ଫ୍ଲୋଟର ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲ୍ର ସଂଯୋଗ ସ୍ଥିରତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ ନାହିଁ, ବରଂ ପୃଷ୍ଠ କ୍ଷୟର କାରଣ ହୋଇପାରେ ଏବଂ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ଭାବରେ ଗ୍ଲସ୍ ଏବଂ ସଠିକତାକୁ ହ୍ରାସ କରିପାରେ। ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଲେନ୍ସ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ୱାର୍କସପରେ, ଯଦି ଆର୍ଦ୍ରତା ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ 60% RH ରୁ ଅଧିକ ହୁଏ, ତେବେ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରର ପୃଷ୍ଠରେ ଶୋଷିତ ଜଳୀୟ ବାଷ୍ପ ଗ୍ୟାସ୍ ଫ୍ଲୋଟ୍ ସ୍ଲାଇଡରର ଗତିରେ ବାଧା ସୃଷ୍ଟି କରିବ, ଯାହା ଦ୍ୱାରା ଲେନ୍ସ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ସଠିକତା ହ୍ରାସ ପାଇବ ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ ତ୍ରୁଟିପୂର୍ଣ୍ଣ ହେବ। ତେଣୁ, କାର୍ଯ୍ୟ ପରିବେଶର ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା 40%-60% RH ମଧ୍ୟରେ କଡ଼ାକଡ଼ି ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯିବା ଉଚିତ, ଯାହାକୁ ଉଚ୍ଚ ଆର୍ଦ୍ରତା ଯୋଗୁଁ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରକୁ କ୍ଷତି ଏଡାଇବା ପାଇଁ ଡିହ୍ୟୁମିଡିଫାୟର୍, ଆର୍ଦ୍ରତା ସେନ୍ସର୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉପକରଣ ସ୍ଥାପନ କରି ପ୍ରକୃତ ସମୟରେ ନିରୀକ୍ଷଣ ଏବଂ ଆଡଜଷ୍ଟ କରାଯାଇପାରିବ, ଏବଂ ବାୟୁ ଫ୍ଲୋଟର ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲ୍ର ସୁଗମ କାର୍ଯ୍ୟ ନିଶ୍ଚିତ କରାଯାଇପାରିବ।
ତୃତୀୟ, ସ୍ୱଚ୍ଛତା ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି: ସଠିକତାର "ରକ୍ଷକ"
ବାୟୁ ଫ୍ଲୋଟେସନର ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲର ପ୍ରିସିସନ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ପ୍ରତି ଧୂଳି କଣିକାର କ୍ଷତିକୁ ଅଣଦେଖା କରାଯାଇପାରିବ ନାହିଁ। ଗ୍ୟାସ୍ ଫ୍ଲୋଟ୍ ସ୍ଲାଇଡର ଏବଂ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ମଧ୍ୟରେ ଥିବା ଗ୍ୟାସ୍ ଫିଲ୍ମ ଫାଙ୍କରେ ପ୍ରବେଶ କରିବା ପରେ, ସେମାନେ ଗ୍ୟାସ୍ ଫିଲ୍ମର ଏକରୂପତା ନଷ୍ଟ କରିପାରନ୍ତି, ଘର୍ଷଣ ବୃଦ୍ଧି କରିପାରନ୍ତି ଏବଂ ବେସ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ମଧ୍ୟ ସ୍କ୍ରାଚ୍ କରିପାରନ୍ତି, ଯାହା ଫଳରେ ଗତି ସଠିକତା ହ୍ରାସ ପାଇଥାଏ। ଏରୋସ୍ପେସ୍ ପାର୍ଟସର ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ମେସିନିଂ ୱାର୍କସପରେ, ଯଦି ବାୟୁରେ ଥିବା ଧୂଳି କଣିକା ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ଉପରେ ପଡ଼େ, ତେବେ ମେସିନିଂ ଟୁଲର ଗତି ପଥ ବିଚ୍ୟୁତ ହୋଇପାରେ, ଯାହା ଅଂଶଗୁଡ଼ିକର ମେସିନିଂ ସଠିକତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିପାରେ। ତେଣୁ, କାର୍ଯ୍ୟ କ୍ଷେତ୍ରକୁ ଅତ୍ୟନ୍ତ ସଫା ରଖିବା ଉଚିତ, 10,000 କିମ୍ବା ତା'ଠାରୁ ଅଧିକ ସ୍ତରର ସ୍ୱଚ୍ଛତା ମାନଦଣ୍ଡରେ ପହଞ୍ଚିବା ଉଚିତ, ଉଚ୍ଚ ଦକ୍ଷତା ବାୟୁ ଫିଲ୍ଟର (HEPA) ଭଳି ବାୟୁ ବିଶୋଧନ ଉପକରଣ ସ୍ଥାପନ ମାଧ୍ୟମରେ, ବାୟୁରେ ଥିବା ଧୂଳି କଣିକାଗୁଡ଼ିକୁ ଫିଲ୍ଟର କରିବା ଉଚିତ, ସେହି ସମୟରେ, କର୍ମଚାରୀମାନଙ୍କୁ ଧୂଳିମୁକ୍ତ ପୋଷାକ, ଜୋତା କଭର ଇତ୍ୟାଦି ପିନ୍ଧିବାକୁ ପଡିବ, ଯାହା ଦ୍ୱାରା ମଣିଷ ଦ୍ୱାରା ଆଣୁଥିବା ଧୂଳି ହ୍ରାସ କରାଯାଇପାରିବ। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ଏବଂ ଏୟାର ଫ୍ଲୋଟ୍ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲର ଉଚ୍ଚ ପ୍ରିସିସନ୍ କାର୍ଯ୍ୟ ପରିବେଶ ବଜାୟ ରଖିବା ଉଚିତ।
ଚାରି, କମ୍ପନ ପୃଥକୀକରଣ: "ଶକ୍ ପ୍ୟାଡ୍"ର ସୁଗମ କାର୍ଯ୍ୟ।
ବାହ୍ୟ କମ୍ପନ ହେଉଛି ବାୟୁ ଫ୍ଲୋଟର ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲର ସଠିକତାର ଶତ୍ରୁ। ଯଦିଓ ସଠିକ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସର ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ କମ୍ପନ ହ୍ରାସ କ୍ଷମତା ଅଛି, ତଥାପି ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି କମ୍ପନ ଏହାର ବଫର ସୀମା ଭାଙ୍ଗିପାରେ। କାରଖାନା ଚାରିପାଖରେ ଟ୍ରାଫିକ ଏବଂ ବଡ଼ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଉପକରଣର ପରିଚାଳନା ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା କମ୍ପନ ଭୂମି ମାଧ୍ୟମରେ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସକୁ ସ୍ଥାନାନ୍ତରିତ ହୁଏ, ଯାହା ବାୟୁ ଫ୍ଲୋଟର ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲର ଗତି ସଠିକତାରେ ବାଧା ସୃଷ୍ଟି କରିବ। ଉଚ୍ଚ-ସ୍ତରର CMM ରେ, କମ୍ପନ ମାପକ ପ୍ରୋବ୍ ଏବଂ ମାପ କରାଯାଉଥିବା ୱର୍କପିସ୍ ମଧ୍ୟରେ ସମ୍ପର୍କକୁ ଅସ୍ଥିର କରିପାରେ, ଯାହା ଫଳରେ ମାପ ତଥ୍ୟର ବିଚ୍ୟୁତି ହୋଇପାରେ। ଏହି ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ପାଇଁ, ଉପକରଣ ସ୍ଥାପନ କ୍ଷେତ୍ରରେ କମ୍ପନ ଆଇସୋଲେସନ୍ ପ୍ୟାଡ୍ ରଖିବା, କମ୍ପନ ଆଇସୋଲେସନ୍ ଫାଉଣ୍ଡେସନ୍ ନିର୍ମାଣ କରିବା, କିମ୍ବା ସକ୍ରିୟ କମ୍ପନ ଆଇସୋଲେସନ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ବ୍ୟବହାର କରି ବାହ୍ୟ କମ୍ପନକୁ ସକ୍ରିୟ ଭାବରେ ଅଫସେଟ୍ କରିବା ଏବଂ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ରିସିସନ୍ ବେସ ଏବଂ ଏୟାର ଫ୍ଲୋଟ୍ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲ୍ ପାଇଁ ଏକ ଶାନ୍ତ ଏବଂ ସ୍ଥିର କାର୍ଯ୍ୟ ପରିବେଶ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ଭଳି ପ୍ରଭାବଶାଳୀ କମ୍ପନ ଆଇସୋଲେସନ୍ ପଦକ୍ଷେପ ଗ୍ରହଣ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ।
କେବଳ ତାପମାତ୍ରା, ଆର୍ଦ୍ରତା, ପରିଷ୍କାରତା ଏବଂ କମ୍ପନ ନିୟନ୍ତ୍ରଣର ପରିବେଶଗତ ଆବଶ୍ୟକତାଗୁଡ଼ିକୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ପୂରଣ କରି, ବାୟୁ ଫ୍ଲୋଟର ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲର ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ରିସିସନ୍ ବେସ୍ ଏହାର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସୁବିଧାକୁ ପୂର୍ଣ୍ଣ ଖେଳ ଦେଇପାରିବ, ବିଭିନ୍ନ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ କାର୍ଯ୍ୟ ପାଇଁ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ ଏବଂ ଶିଳ୍ପକୁ ଉଚ୍ଚତର ପ୍ରିସିସନ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ବୈଜ୍ଞାନିକ ଗବେଷଣା ସ୍ତର ଆଡକୁ ଅଗ୍ରସର କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରିପାରିବ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଏପ୍ରିଲ-୦୮-୨୦୨୫