ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷେତ୍ରରେ, ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସଠିକତା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରୁଥିବା ମୁଖ୍ୟ ଉପକରଣ ଭାବରେ, ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ପରିବେଶର ସ୍ଥିରତା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ। ଅତ୍ୟଧିକ ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ ଆଲୋକ ଉତ୍ସର ଉତ୍ତେଜନା ଠାରୁ ନାନୋସ୍କେଲ୍ ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ପ୍ଲାଟଫର୍ମର କାର୍ଯ୍ୟ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ପ୍ରତ୍ୟେକ ଲିଙ୍କରେ ସାମାନ୍ୟତମ ବିଚ୍ୟୁତି ହୋଇପାରିବ ନାହିଁ। ଅନନ୍ୟ ଗୁଣର ଏକ ଶୃଙ୍ଖଳା ସହିତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର, ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନଗୁଡ଼ିକର ସ୍ଥିର କାର୍ଯ୍ୟ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବାରେ ଏବଂ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ସଠିକତା ବୃଦ୍ଧି କରିବାରେ ଅତୁଳନୀୟ ସୁବିଧା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ।
ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋମ୍ୟାଗ୍ନେଟିକ ସିଲ୍ଡିଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା
ଏକ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର ଭିତର ଭାଗ ଏକ ଜଟିଳ ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ ପରିବେଶରେ ପରିପୂର୍ଣ୍ଣ। ଅତ୍ୟଧିକ ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ ଆଲୋକ ଉତ୍ସ, ଡ୍ରାଇଭ୍ ମୋଟର ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ଭଳି ଉପାଦାନ ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ ହସ୍ତକ୍ଷେପ (EMI), ଯଦି ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ନହୁଏ, ତେବେ ଉପକରଣ ମଧ୍ୟରେ ସଠିକ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପାଦାନ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସିଷ୍ଟମର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଗମ୍ଭୀର ଭାବରେ ପ୍ରଭାବିତ କରିବ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ହସ୍ତକ୍ଷେପ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଢାଞ୍ଚାରେ ସାମାନ୍ୟ ବିଚ୍ୟୁତି ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ। ଉନ୍ନତ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଏହା ଚିପ୍ ଉପରେ ଭୁଲ ଟ୍ରାଞ୍ଜିଷ୍ଟର ସଂଯୋଗ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ ଯଥେଷ୍ଟ, ଯାହା ଚିପ୍ ଉପଜକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ହ୍ରାସ କରେ।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଏକ ଅଣ-ଧାତୁ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଏହା ନିଜେ ବିଦ୍ୟୁତ୍ ପରିଚାଳନା କରେ ନାହିଁ। ଧାତୁ ସାମଗ୍ରୀ ପରି ଭିତରେ ମୁକ୍ତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଗତି ଯୋଗୁଁ କୌଣସି ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ ପ୍ରେରଣା ଘଟେ ନାହିଁ। ଏହି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଏହାକୁ ଏକ ପ୍ରାକୃତିକ ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ ସୁରକ୍ଷା ଶରୀର କରିଥାଏ, ଯାହା ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ ହସ୍ତକ୍ଷେପର ପ୍ରସାରଣ ପଥକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଅବରୋଧ କରିପାରିବ। ଯେତେବେଳେ ବାହ୍ୟ ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ ହସ୍ତକ୍ଷେପ ଉତ୍ସ ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ବିକଳ୍ପ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରକୁ ପ୍ରସାରିତ ହୁଏ, ଯେହେତୁ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଅଣ-ଚମ୍ବକୀୟ ଏବଂ ଚୁମ୍ବକୀକରଣ କରାଯାଇପାରିବ ନାହିଁ, ବିକଳ୍ପ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ଭେଦ କରିବା କଷ୍ଟକର ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଆଧାରରେ ସ୍ଥାପିତ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର ମୂଳ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ, ଯେପରିକି ପ୍ରିସିସନ୍ ସେନ୍ସର୍ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଲେନ୍ସ ଆଡଜଷ୍ଟମେଣ୍ଟ ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକୁ, ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ ହସ୍ତକ୍ଷେପର ପ୍ରଭାବରୁ ରକ୍ଷା କରିଥାଏ ଏବଂ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ପାଟର୍ନ ସ୍ଥାନାନ୍ତରର ସଠିକତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିଥାଏ।
ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସୁସଙ୍ଗତତା
ଯେହେତୁ ଅତ୍ୟଧିକ ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ ଆଲୋକ (EUV) ବାୟୁ ସମେତ ସମସ୍ତ ପଦାର୍ଥ ଦ୍ୱାରା ସହଜରେ ଶୋଷିତ ହୁଏ, EUV ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନଗୁଡ଼ିକୁ ଏକ ଶୂନ୍ୟ ପରିବେଶରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିବାକୁ ପଡିବ। ଏହି ସମୟରେ, ଶୂନ୍ୟ ପରିବେଶ ସହିତ ଉପକରଣ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ସୁସଙ୍ଗତତା ବିଶେଷ ଭାବରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ହୋଇଯାଏ। ଶୂନ୍ୟ ସ୍ଥାନରେ, ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକ ଦ୍ରବୀଭୂତ ହୋଇପାରେ, ଶୋଷିତ ହୋଇପାରେ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ ମୁକ୍ତ କରିପାରେ। ମୁକ୍ତ ଗ୍ୟାସ୍ କେବଳ EUV ଆଲୋକକୁ ଶୋଷିତ କରେ ନାହିଁ, ଯାହା ଆଲୋକର ତୀବ୍ରତା ଏବଂ ପ୍ରସାରଣ ଦକ୍ଷତାକୁ ହ୍ରାସ କରେ, ବରଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଲେନ୍ସକୁ ମଧ୍ୟ ଦୂଷିତ କରିପାରେ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଜଳୀୟ ବାଷ୍ପ ଲେନ୍ସଗୁଡ଼ିକୁ ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ କରିପାରିବ, ଏବଂ ହାଇଡ୍ରୋକାର୍ବନ ଲେନ୍ସ ଉପରେ କାର୍ବନ ସ୍ତର ଜମା କରିପାରେ, ଯାହା ଲିଥୋଗ୍ରାଫିର ଗୁଣବତ୍ତାକୁ ଗମ୍ଭୀର ଭାବରେ ପ୍ରଭାବିତ କରେ।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର ସ୍ଥିର ରାସାୟନିକ ଗୁଣ ଅଛି ଏବଂ ଏହା ଏକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶରେ କ୍ୱଚିତ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଛାଡିଥାଏ। ବୃତ୍ତିଗତ ପରୀକ୍ଷଣ ଅନୁସାରେ, ଏକ ସିମୁଲେଟେଡ୍ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶରେ (ଯେପରିକି ଅଲ୍ଟ୍ରା-କ୍ଲିନ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶ ଯେଉଁଥିରେ ମୁଖ୍ୟ ଚାମ୍ବରରେ ଇଲୁମିନେସନ୍ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ଏବଂ ଇମେଜିଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ଅବସ୍ଥିତ, ଏଥିପାଇଁ H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa ଆବଶ୍ୟକ ହୁଏ), ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରର ଗ୍ୟାସିଂ ହାର ଅତ୍ୟନ୍ତ କମ୍, ଧାତୁ ଭଳି ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ଅପେକ୍ଷା ବହୁତ କମ୍। ଏହା ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ର ଭିତର ଅଂଶକୁ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଡିଗ୍ରୀ ଏବଂ ପରିଷ୍କାର ପରିଚ୍ଛନ୍ନତା ବଜାୟ ରଖିବାକୁ ସକ୍ଷମ କରେ, ଟ୍ରାନ୍ସମିସନ୍ ସମୟରେ EUV ଆଲୋକର ଉଚ୍ଚ ପରିବହନ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଲେନ୍ସ ପାଇଁ ଏକ ଅଲ୍ଟ୍ରା-କ୍ଲିନ୍ ବ୍ୟବହାର ପରିବେଶ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସିଷ୍ଟମର ସେବା ଜୀବନକୁ ବୃଦ୍ଧି କରେ ଏବଂ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ର ସାମଗ୍ରିକ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ବୃଦ୍ଧି କରେ।
ଦୃଢ଼ କମ୍ପନ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା
ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ, ନାନୋମିଟର ସ୍ତରରେ ସଠିକତା ପାଇଁ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନରେ ସାମାନ୍ୟ କମ୍ପନ କିମ୍ବା ତାପଜ ବିକୃତି ରହିବା ଆବଶ୍ୟକ ନୁହେଁ। କର୍ମଶାଳାରେ ଅନ୍ୟ ଉପକରଣ ଏବଂ କର୍ମଚାରୀଙ୍କ ଗତିବିଧି ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ପରିବେଶଗତ କମ୍ପନ, ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟ ସମୟରେ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ ଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପାଦିତ ଉତ୍ତାପ, ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ସଠିକତାରେ ବାଧା ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର ଉଚ୍ଚ ଘନତ୍ୱ ଏବଂ କଠିନ ଗଠନ ଅଛି, ଏବଂ ଏଥିରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କମ୍ପନ ପ୍ରତିରୋଧ ଅଛି। ଏହାର ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଖଣିଜ ସ୍ଫଟିକ ଗଠନ କମ୍ପାକ୍ଟ, ଯାହା ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ କମ୍ପନ ଶକ୍ତିକୁ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ ଏବଂ କମ୍ପନ ପ୍ରସାରଣକୁ ଦ୍ରୁତ ଗତିରେ ଦମନ କରିପାରିବ। ପରୀକ୍ଷଣିକ ତଥ୍ୟ ଦର୍ଶାଏ ଯେ ସମାନ କମ୍ପନ ଉତ୍ସ ଅଧୀନରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର 0.5 ସେକେଣ୍ଡ ମଧ୍ୟରେ କମ୍ପନ ଆମ୍ପ୍ଲିଚ୍ୟୁଡ୍ 90% ରୁ ଅଧିକ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ। ଧାତୁ ଆଧାର ସହିତ ତୁଳନା କଲେ, ଏହା ଉପକରଣକୁ ଅଧିକ ଶୀଘ୍ର ସ୍ଥିରତାକୁ ପୁନଃସ୍ଥାପିତ କରିପାରିବ, ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଲେନ୍ସ ଏବଂ ୱେଫର ମଧ୍ୟରେ ସଠିକ୍ ଆପେକ୍ଷିକ ସ୍ଥିତି ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବ ଏବଂ କମ୍ପନ ଯୋଗୁଁ ହେଉଥିବା ପାଟର୍ନ ବ୍ଲରିଂ କିମ୍ବା ଭୁଲ୍ ସଂଳାପନକୁ ଏଡାଇବ।
ଏହି ସମୟରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ ଅତ୍ୟନ୍ତ କମ୍, ପ୍ରାୟ (4-8) ×10⁻⁶/℃, ଯାହା ଧାତୁ ପଦାର୍ଥ ତୁଳନାରେ ବହୁତ କମ୍। ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ର କାର୍ଯ୍ୟ ସମୟରେ, ଆଲୋକ ଉତ୍ସରୁ ଉତ୍ତାପ ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକରୁ ଘର୍ଷଣ ଭଳି କାରଣ ଯୋଗୁଁ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ତାପମାତ୍ରାରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହେଉଥିଲେ ମଧ୍ୟ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର ପରିମାଣିକ ସ୍ଥିରତା ବଜାୟ ରଖିପାରିବ ଏବଂ ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଏବଂ ସଂକୋଚନ ଯୋଗୁଁ ଏହା ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ବିକୃତିରୁ ବର୍ତ୍ତିବ ନାହିଁ। ଏହା ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ଏବଂ ସଠିକତା ଗତି ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପାଇଁ ସ୍ଥିର ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ସମର୍ଥନ ପ୍ରଦାନ କରେ, ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ସଠିକତାର ସ୍ଥିରତା ବଜାୟ ରଖେ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମଇ-୨୦-୨୦୨୫