ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ୱାଫର ଯାଞ୍ଚ କ୍ଷେତ୍ରରେ, କ୍ଲିନରୁମ୍ ପରିବେଶର ଶୁଦ୍ଧତା ସିଧାସଳଖ ଉତ୍ପାଦ ଉତ୍ପାଦନ ସହିତ ଜଡିତ। ଚିପ୍ ନିର୍ମାଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସଠିକତା ଉନ୍ନତ ହେବା ସହିତ, ଚିହ୍ନଟ ଉପକରଣର ବହନ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତା କ୍ରମଶଃ କଠୋର ହେବାରେ ଲାଗିଛି। ଶୂନ୍ୟ ଧାତୁ ଆୟନ୍ ମୁକ୍ତ ଏବଂ କମ କଣିକା ପ୍ରଦୂଷଣର ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମଗୁଡ଼ିକ ପାରମ୍ପରିକ ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍ ସାମଗ୍ରୀକୁ ପଛରେ ପକାଇ ଦେଇଛି ଏବଂ ୱାଫର ଯାଞ୍ଚ ଉପକରଣ ପାଇଁ ପସନ୍ଦିତ ସମାଧାନ ପାଲଟିଛି।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ହେଉଛି ଏକ ପ୍ରାକୃତିକ ଆଗ୍ନେୟ ଶିଳା ଯାହା ମୁଖ୍ୟତଃ କ୍ୱାର୍ଟଜ୍, ଫେଲଡ୍ସ୍ପାର୍ ଏବଂ ମିକା ଭଳି ଅଣ-ଧାତୁ ଖଣିଜ ପଦାର୍ଥରେ ଗଠିତ। ଏହି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଏହାକୁ ଶୂନ୍ୟ ଧାତୁ ଆୟନ୍ ମୁକ୍ତ କରିବାର ସୁବିଧା ପ୍ରଦାନ କରେ। ବିପରୀତରେ, ଲୁହା, କ୍ରୋମିୟମ୍ ଏବଂ ନିକେଲ ଭଳି ଧାତୁର ମିଶ୍ରଧାତୁ ଭାବରେ ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍, ଏକ କ୍ଲିନରୁମ୍ ପରିବେଶରେ ଜଳୀୟ ବାଷ୍ପ ଏବଂ ଏସିଡିକ୍ କିମ୍ବା କ୍ଷାରୀୟ ଗ୍ୟାସ୍ କ୍ଷୟ ହେତୁ ଏହାର ପୃଷ୍ଠରେ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ରାସାୟନିକ କ୍ଷୟ ପାଇଁ ପ୍ରବଣ, ଯାହା ଫଳରେ Fe²⁺ ଏବଂ Cr³⁺ ଭଳି ଧାତୁ ଆୟନ୍ ର ଅବପାତ ହୁଏ। ଏହି କ୍ଷୁଦ୍ର ଆୟନ୍ ୱେଫରର ପୃଷ୍ଠ ସହିତ ସଂଲଗ୍ନ ହେବା ପରେ, ସେମାନେ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଏବଂ ଏଚିଂ ଭଳି ପରବର୍ତ୍ତୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ସାମଗ୍ରୀର ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବେ, ଟ୍ରାଞ୍ଜିଷ୍ଟରର ଥ୍ରେସହୋଲ୍ଡ ଭୋଲଟେଜ୍ ଡ୍ରିଫ୍ଟ କାରଣ ହେବ, ଏବଂ ସର୍କିଟରେ ସର୍ଟ ସର୍କିଟ୍ ମଧ୍ୟ ହେବ। ବୃତ୍ତିଗତ ପ୍ରତିଷ୍ଠାନ ପରୀକ୍ଷା ତଥ୍ୟ ଦର୍ଶାଏ ଯେ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମକୁ 1000 ଘଣ୍ଟା ପାଇଁ ଏକ ସିମୁଲେଟେଡ୍ କ୍ଲିନ୍ କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତା ପରିବେଶ (23±0.5℃, 45%±5% RH) ସହିତ ନିରନ୍ତର ଭାବରେ ପ୍ରକାଶିତ ହେବା ପରେ, ଧାତୁ ଆୟନ୍ ମୁକ୍ତ ହେବା ଚିହ୍ନଟ ସୀମା (< 0.1ppb) ଠାରୁ କମ୍ ଥିଲା। ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ବ୍ୟବହାର କରିବା ସମୟରେ ଧାତୁ ଆୟନ୍ ପ୍ରଦୂଷଣ ଯୋଗୁଁ ୱେଫରର ତ୍ରୁଟି ହାର 15% ରୁ 20% ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ହୋଇପାରେ।
କଣିକା ପ୍ରଦୂଷଣ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଦୃଷ୍ଟିରୁ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟ ଅସାଧାରଣ ଭାବରେ ଭଲ କାର୍ଯ୍ୟ କରନ୍ତି। କ୍ଲିନରୁମ୍ଗୁଡ଼ିକରେ ବାୟୁରେ ନିଲମ୍ବିତ କଣିକାଗୁଡ଼ିକର ଘନତା ପାଇଁ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଉଚ୍ଚ ଆବଶ୍ୟକତା ରହିଛି। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ISO କ୍ଲାସ୍ 1 କ୍ଲିନରୁମ୍ରେ, ପ୍ରତି ଘନ ମିଟରରେ ଅନୁମୋଦିତ 0.1μm କଣିକା ସଂଖ୍ୟା 10 ଅତିକ୍ରମ କରେ ନାହିଁ। ଯଦିଓ ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପଲିସ୍ ଚିକିତ୍ସା କରାଯାଇଛି, ତଥାପି ଏହା ଉପକରଣ କମ୍ପନ ଏବଂ କର୍ମଚାରୀ କାର୍ଯ୍ୟ ଭଳି ବାହ୍ୟ ଶକ୍ତି ଯୋଗୁଁ ଧାତୁ ଅବଶେଷ କିମ୍ବା ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସ୍କେଲ୍ ପିଲିଂ ଉତ୍ପାଦନ କରିପାରେ, ଯାହା ଚିହ୍ନଟ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପଥ ସହିତ ବାଧା ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ କିମ୍ବା ୱେଫରର ପୃଷ୍ଠକୁ ସ୍କ୍ରାଚ୍ କରିପାରେ। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମଗୁଡ଼ିକ, ସେମାନଙ୍କର ଘନ ଖଣିଜ ଗଠନ (ଘନତା ≥2.7g/cm³) ଏବଂ ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା (ମୋହସ୍ ସ୍କେଲରେ 6-7), ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ବ୍ୟବହାର ସମୟରେ ପିନ୍ଧିବା କିମ୍ବା ଭାଙ୍ଗିବାର ସମ୍ଭାବନା ନାହିଁ। ମାପ କରାଯାଇଥିବା ମାପ ଦର୍ଶାଏ ଯେ ସେମାନେ ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ତୁଳନାରେ ଚିହ୍ନଟ ଉପକରଣ ଅଞ୍ଚଳର ବାୟୁରେ ନିଲମ୍ବିତ କଣିକାଗୁଡ଼ିକର ଘନତାକୁ 40% ରୁ ଅଧିକ ହ୍ରାସ କରିପାରିବେ, ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ କ୍ଲିନରୁମ୍ ଗ୍ରେଡ୍ ମାନଦଣ୍ଡକୁ ବଜାୟ ରଖିପାରିବେ।
ଏହାର ସଫା ଗୁଣଗୁଡ଼ିକ ସହିତ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମଗୁଡ଼ିକର ବ୍ୟାପକ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ମଧ୍ୟ ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍ ଅପେକ୍ଷା ବହୁତ ଅଧିକ। ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଦୃଷ୍ଟିରୁ, ଏହାର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ କେବଳ (4-8) ×10⁻⁶/℃, ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍ (ପ୍ରାୟ 17×10⁻⁶/℃) ର ଅଧାରୁ କମ୍, ଯାହା ସଫା କୋଠରୀରେ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନ ହେଲେ ଚିହ୍ନଟ ଉପକରଣର ସ୍ଥିତି ସଠିକତାକୁ ଭଲ ଭାବରେ ବଜାୟ ରଖିପାରେ। ଉଚ୍ଚ ଡ୍ୟାମ୍ପିଂ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ (ଡ୍ୟାମ୍ପିଂ ଅନୁପାତ > 0.05) ଉପକରଣର କମ୍ପନକୁ ଦ୍ରୁତ ଗତିରେ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ ଏବଂ ଚିହ୍ନଟ ପ୍ରୋବ୍ କୁ ଥରିବାରୁ ରୋକିପାରିବ। ଏହାର ପ୍ରାକୃତିକ କ୍ଷୋଭ ପ୍ରତିରୋଧ ଅତିରିକ୍ତ ଆବରଣ ସୁରକ୍ଷାର ଆବଶ୍ୟକତା ବିନା ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ସଲଭଣ୍ଟ, ଏଚିଂ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ରାସାୟନିକ ପଦାର୍ଥ ସହିତ ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିଲେ ମଧ୍ୟ ଏହାକୁ ସ୍ଥିର ରଖିବାକୁ ସକ୍ଷମ କରେ।
ବର୍ତ୍ତମାନ, ଉନ୍ନତ ୱେଫର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ଲାଣ୍ଟଗୁଡ଼ିକରେ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମଗୁଡ଼ିକ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହେଉଛି। ତଥ୍ୟ ଦର୍ଶାଉଛି ଯେ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ଗ୍ରହଣ କରିବା ପରେ, ୱେଫର ପୃଷ୍ଠ କଣିକା ଚିହ୍ନଟର ଭୁଲ ବିଚାର ହାର 60% ହ୍ରାସ ପାଇଛି, ଉପକରଣ କାଲିବ୍ରେସନ୍ ଚକ୍ରକୁ ତିନି ଗୁଣ ବୃଦ୍ଧି କରାଯାଇଛି, ଏବଂ ସାମଗ୍ରିକ ଉତ୍ପାଦନ ମୂଲ୍ୟ 25% ହ୍ରାସ ପାଇଛି। ଯେହେତୁ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପ ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ଆଡକୁ ଗତି କରୁଛି, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମଗୁଡ଼ିକ, ଶୂନ୍ୟ ଧାତୁ ଆୟନ୍ ମୁକ୍ତ ଏବଂ କମ କଣିକା ପ୍ରଦୂଷଣ ଭଳି ସେମାନଙ୍କର ମୂଳ ସୁବିଧା ସହିତ, ୱେଫର ଯାଞ୍ଚ ପାଇଁ ସ୍ଥିର ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ସମର୍ଥନ ପ୍ରଦାନ କରିବା ଜାରି ରଖିବ, ଯାହା ଶିଳ୍ପର ପ୍ରଗତିକୁ ଚାଳିତ କରିବାରେ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଶକ୍ତି ହେବ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମଇ-୨୦-୨୦୨୫