ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ସଠିକତା ମାପ ଉପକରଣ ଭଳି କ୍ଷେତ୍ରରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ସଠିକତା ପ୍ଲାଟଫର୍ମର ସଠିକତା ସିଧାସଳଖ ଉପକରଣର କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଗୁଣବତ୍ତା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ। ପ୍ଲାଟଫର୍ମର ସଠିକତା ମାନଦଣ୍ଡ ପୂରଣ କରେ ତାହା ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ, ଦୁଇଟି ଦିଗରୁ ପ୍ରୟାସ କରାଯିବା ଉଚିତ: ପ୍ରମୁଖ ସୂଚକଗୁଡ଼ିକର ଚିହ୍ନଟ ଏବଂ ମାନଦଣ୍ଡ ମାନଦଣ୍ଡ ସହିତ ଅନୁପାଳନ।
ମୂଳ ସୂଚକ ଚିହ୍ନଟ: ସଠିକତାର ବହୁ-ପରିମାଣୀୟ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ
ସମତଳତା ଚିହ୍ନଟକରଣ: ରେଫରେନ୍ସ ପ୍ଲେନର "ସମତଳତା" ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରିବା
ସମତଳତା ହେଉଛି ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ସଠିକତା ପ୍ଲାଟଫର୍ମର ମୁଖ୍ୟ ସୂଚକ, ଏବଂ ଏହା ସାଧାରଣତଃ ଲେଜର ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟର କିମ୍ବା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସ୍ତର ଦ୍ୱାରା ମାପ କରାଯାଏ। ଲେଜର ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟର ଏକ ଲେଜର ବିମ୍ ନିର୍ଗତ କରି ଏବଂ ଆଲୋକ ହସ୍ତକ୍ଷେପର ନୀତି ବ୍ୟବହାର କରି ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପୃଷ୍ଠରେ ଥିବା ସୂକ୍ଷ୍ମ ଅଣ୍ଡୁଲେସନ୍କୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ମାପ କରିପାରିବ, ଯାହାର ସଠିକତା ସବ୍-ମାଇକ୍ରୋନ୍ ସ୍ତର ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିଥାଏ। ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସ୍ତର ଅନେକ ଥର ଗତି କରି ମାପ କରେ ଏବଂ କୌଣସି ସ୍ଥାନୀୟ ପ୍ରୋଟ୍ରୁସନ୍ କିମ୍ବା ଡିପ୍ରେସନ୍ ଅଛି କି ନାହିଁ ତାହା ଚିହ୍ନଟ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପୃଷ୍ଠର ଏକ ତ୍ରି-ପରିମାଣୀୟ କଣ୍ଟୋର ମ୍ୟାପ୍ ଆଙ୍କେ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିମାଣୀୟ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନରେ ବ୍ୟବହୃତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମଗୁଡ଼ିକର ±0.5μm/m ସମତଳତା ରହିବା ଆବଶ୍ୟକ, ଅର୍ଥାତ୍ 1-ମିଟର ଲମ୍ବ ମଧ୍ୟରେ ଉଚ୍ଚତା ପାର୍ଥକ୍ୟ ଅଧା ମାଇକ୍ରୋମିଟରରୁ ଅଧିକ ହେବା ଉଚିତ୍ ନୁହେଁ। କେବଳ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଚିହ୍ନଟ ଉପକରଣ ମାଧ୍ୟମରେ ଏହି କଠୋର ମାନଦଣ୍ଡ ନିଶ୍ଚିତ କରାଯାଇପାରିବ।
2. ସିଧାପଣ ଚିହ୍ନଟକରଣ: ରେଖୀୟ ଗତିର "ସିଧାପଣ" ସୁନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତୁ।
ସଠିକ ଗତିଶୀଳ ଅଂଶ ବହନ କରୁଥିବା ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପାଇଁ, ସିଧାପଣ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ। ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ ସାଧାରଣ ପଦ୍ଧତିଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି ତାର ପଦ୍ଧତି କିମ୍ବା ଲେଜର କୋଲିମେଟର। ତାର ପଦ୍ଧତିରେ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଷ୍ଟିଲ୍ ତାରଗୁଡ଼ିକୁ ସସପେଣ୍ଡ କରିବା ଏବଂ ସିଧାପଣ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପୃଷ୍ଠ ଏବଂ ଷ୍ଟିଲ୍ ତାର ମଧ୍ୟରେ ବ୍ୟବଧାନ ତୁଳନା କରାଯାଇଥାଏ। ଲେଜର କୋଲିମେଟର ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ଗାଇଡ୍ ରେଳର ସଂସ୍ଥାପନ ପୃଷ୍ଠର ରେଖୀୟ ତ୍ରୁଟି ଚିହ୍ନଟ କରିବା ପାଇଁ ଲେଜରର ରେଖୀୟ ପ୍ରସାରଣ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକୁ ବ୍ୟବହାର କରେ। ଯଦି ସିଧାପଣ ମାନଦଣ୍ଡ ପୂରଣ କରେ ନାହିଁ, ତେବେ ଏହା ଗତି ସମୟରେ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବ, ଯାହା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କିମ୍ବା ମାପ ସଠିକତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିବ।
3. ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା ଚିହ୍ନଟକରଣ: ସମ୍ପର୍କର "ସୂକ୍ଷ୍ମତା" ସୁନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତୁ।
ପ୍ଲାଟଫର୍ମର ପୃଷ୍ଠ ରୁକ୍ଷତା ଉପାଦାନ ସଂସ୍ଥାପନର ଫିଟ୍ ଉପରେ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ। ସାଧାରଣତଃ, ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ ଏକ ଷ୍ଟାଇଲସ୍ ରୁକ୍ଷତା ମିଟର କିମ୍ବା ଏକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପ୍ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ। ଷ୍ଟାଇଲସ୍ ପ୍ରକାରର ଉପକରଣ ଏକ ସୂକ୍ଷ୍ମ ପ୍ରୋବ୍ ସହିତ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପୃଷ୍ଠ ସହିତ ସମ୍ପର୍କ କରି ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପିକ୍ ପ୍ରୋଫାଇଲର ଉଚ୍ଚତା ପରିବର୍ତ୍ତନ ରେକର୍ଡ କରେ। ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପ୍ ସିଧାସଳଖ ପୃଷ୍ଠ ଗଠନ ପର୍ଯ୍ୟବେକ୍ଷଣ କରିପାରିବ। ଉଚ୍ଚ-ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟତା ପ୍ରୟୋଗରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମର ପୃଷ୍ଠ ରୁକ୍ଷତା Ra≤0.05μm ରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ, ଯାହା ଏକ ଦର୍ପଣ ପରି ପ୍ରଭାବ ସହିତ ସମତୁଲ୍ୟ, ଏହା ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ସ୍ଥାପନ ସମୟରେ ସଠିକତା ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ କଡ଼ାକଡ଼ି ଫିଟ୍ ହୁଏ ଏବଂ ଫାଙ୍କ ଯୋଗୁଁ ହେଉଥିବା କମ୍ପନ କିମ୍ବା ବିସ୍ଥାପନକୁ ଏଡାଏ।
ସଠିକତା ମାନଦଣ୍ଡଗୁଡ଼ିକ ନିମ୍ନଲିଖିତ: ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ମାନଦଣ୍ଡ ଏବଂ ଉଦ୍ୟୋଗର ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ
ବର୍ତ୍ତମାନ, ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ସ୍ତରରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମଗୁଡ଼ିକର ସଠିକତା ନିର୍ଣ୍ଣୟ ପାଇଁ ସାଧାରଣତଃ ISO 25178 ଏବଂ GB/T 24632 ମାନକ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ, ଏବଂ ସମତଳତା ଏବଂ ସରଳତା ପରି ସୂଚକଗୁଡ଼ିକର ସ୍ପଷ୍ଟ ବର୍ଗୀକରଣ ଅଛି। ଏହା ସହିତ, ଉଚ୍ଚ-ସ୍ତରୀୟ ଉତ୍ପାଦନ ଉଦ୍ୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରାୟତଃ ଅଧିକ କଠୋର ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ମାନକ ସ୍ଥିର କରନ୍ତି। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପାଇଁ ସମତଳତା ଆବଶ୍ୟକତା ଅନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ମାନକ ଅପେକ୍ଷା 30% ଅଧିକ। ପରୀକ୍ଷା କରିବା ସମୟରେ, ମାପ କରାଯାଇଥିବା ତଥ୍ୟକୁ ଅନୁରୂପ ମାନକ ସହିତ ତୁଳନା କରାଯିବା ଉଚିତ। କେବଳ ମାନକଗୁଡ଼ିକ ସହିତ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ପାଳନ କରୁଥିବା ପ୍ଲାଟଫର୍ମଗୁଡ଼ିକ ସଠିକତା ଉପକରଣରେ ସ୍ଥିର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିପାରିବେ।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ରିସିସନ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମଗୁଡ଼ିକର ସଠିକତା ଯାଞ୍ଚ କରିବା ଏକ ବ୍ୟବସ୍ଥିତ ପ୍ରକଳ୍ପ। କେବଳ ସମତଳତା, ସରଳତା ଏବଂ ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା ଭଳି ମୁଖ୍ୟ ସୂଚକଗୁଡ଼ିକୁ କଠୋର ଭାବରେ ପରୀକ୍ଷା କରି ଏବଂ ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ଏବଂ ଉଦ୍ୟୋଗ ମାନଦଣ୍ଡଗୁଡ଼ିକୁ ପାଳନ କରି, ପ୍ଲାଟଫର୍ମର ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ନିଶ୍ଚିତ କରାଯାଇପାରିବ, ଯାହା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଏବଂ ପ୍ରିସିସନ୍ ଉପକରଣ ଭଳି ଉଚ୍ଚମାନର ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷେତ୍ର ପାଇଁ ଏକ ଦୃଢ଼ ଭିତ୍ତିଭୂମି ସ୍ଥାପନ କରିବ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମଇ-୨୧-୨୦୨୫