ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା, କମ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଡାମ୍ପିଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ପ୍ରାକୃତିକ ଆଣ୍ଟି-ମ୍ୟାଗ୍ନେଟିକ୍ ଗୁଣ ସହିତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ରିସିସନ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମଗୁଡ଼ିକର ଉଚ୍ଚମାନର ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ବୈଜ୍ଞାନିକ ଗବେଷଣା କ୍ଷେତ୍ରରେ ଅପରିବର୍ତ୍ତନୀୟ ପ୍ରୟୋଗ ମୂଲ୍ୟ ଅଛି ଯେଉଁଠାରେ ସଠିକତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଚାହିଦା ଥାଏ। ଏହାର ମୂଳ ପ୍ରୟୋଗ ପରିସ୍ଥିତି ଏବଂ ବୈଷୟିକ ସୁବିଧା ନିମ୍ନଲିଖିତ:
I. ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଉପକରଣ କ୍ଷେତ୍ର
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ନିର୍ମାଣ ଉପକରଣ
ପ୍ରୟୋଗ ପରିସ୍ଥିତି: ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ୱର୍କପିସ୍ ଟେବୁଲ୍, ୱେଫର ଡାଇସିଂ ମେସିନ୍ ବେସ୍, ପ୍ୟାକେଜିଂ ଉପକରଣ ପୋଜିସନିଂ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ।
ଯାନ୍ତ୍ରିକ ମୂଲ୍ୟ:
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ କେବଳ (0.5-1.0) ×10⁻⁶/℃, ଯାହା ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ର ନାନୋସ୍କେଲ୍ ଏକ୍ସପୋଜର ସମୟରେ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରିପାରିବ (±0.1℃ ପରିବେଶରେ ସ୍ଥାନଚ୍ୟୁତି ତ୍ରୁଟି < 0.1nm)।
ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ସୂକ୍ଷ୍ମ-ପୋର ଗଠନ ଏକ ପ୍ରାକୃତିକ ଡ୍ୟାମ୍ପିଂ (ଡ୍ୟାମ୍ପିଂ ଅନୁପାତ 0.05 ରୁ 0.1), ଡାଇସିଂ ମେସିନ୍ ଦ୍ୱାରା ହାଇ-ସ୍ପିଡ୍ କଟିଂ ସମୟରେ କମ୍ପନ (ପ୍ରଶସ୍ତତା < 2μm) ଦମନ କରେ ଏବଂ ୱେଫର କଟିଂର ଧାରର ରୁକ୍ଷତା Ra 1μm ରୁ କମ୍ ହେବା ନିଶ୍ଚିତ କରେ।
୨. ପ୍ରିସିସନ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ମେସିନ୍ ଏବଂ କୋଅର୍ଡିନେଟ୍ ମାପକ ମେସିନ୍ (CMM)
ଆବେଦନ ମାମଲା:
ତିନି-ସଙ୍କଳନ ମାପକ ଯନ୍ତ୍ରର ଆଧାର ଏକ ଅବିଚ୍ଛେଦ୍ୟ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଗଠନ ଗ୍ରହଣ କରେ, ଯାହାର ସମତଳତା ±0.5μm/m। ବାୟୁ-ଭାସମାନ ଗାଇଡ୍ ରେଳ ସହିତ ମିଳିତ ଭାବରେ, ଏହା ନାନୋ-ସ୍ତରୀୟ ଗତିବିଧି ସଠିକତା (ପୁନରାବୃତ୍ତି ସ୍ଥିତିକରଣ ସଠିକତା ±0.1μm) ହାସଲ କରେ।
ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ମେସିନର ୱାର୍କଟେବୁଲ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଏବଂ ସିଲଭର୍ ଷ୍ଟିଲର ଏକ ମିଶ୍ରିତ ଗଠନ ଗ୍ରହଣ କରେ। K9 ଗ୍ଲାସ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ କରିବା ସମୟରେ, ପୃଷ୍ଠର ତରଙ୍ଗ λ/20 (λ=632.8nm) ରୁ କମ୍ ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ଲେଜର ଲେନ୍ସର ଅଲ୍ଟ୍ରା-ସ୍ମୁଥ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଆବଶ୍ୟକତାକୁ ପୂରଣ କରିଥାଏ।
II. ଅପ୍ଟିକ୍ସ ଏବଂ ଫଟୋନିକ୍ସ କ୍ଷେତ୍ର
ଜ୍ୟୋତିର୍ବିଜ୍ଞାନ ଦୂରବୀକ୍ଷଣ ଏବଂ ଲେଜର ପ୍ରଣାଳୀ
ସାଧାରଣ ପ୍ରୟୋଗ:
ବଡ଼ ରେଡିଓ ଟେଲିସ୍କୋପର ପ୍ରତିଫଳନ ପୃଷ୍ଠର ସପୋର୍ଟ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ଏକ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ମଧୁର ସଂରଚନା ଗ୍ରହଣ କରେ, ଯାହା ସ୍ୱ-ଓଜନରେ ହାଲୁକା (ଘନତା 2.7g/cm³) ଏବଂ ଏଥିରେ ପ୍ରବଳ ପବନ କମ୍ପନ ପ୍ରତିରୋଧ (10-ସ୍ତରୀୟ ପବନ ତଳେ 50μm ଠାରୁ କମ୍ ବିକୃତି) ଅଛି।
ଲେଜର ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟରର ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମରେ ମାଇକ୍ରୋ-ପୋରସ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇଛି। ପ୍ରତିଫଳକକୁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଶୋଷଣ ଦ୍ୱାରା ସ୍ଥିର କରାଯାଇଛି, 5nm ରୁ କମ୍ ସମତଳ ତ୍ରୁଟି ସହିତ, ଏହା ଗୁରୁାକର୍ଷଣୀୟ ତରଙ୍ଗ ଚିହ୍ନଟ ଭଳି ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପରୀକ୍ଷଣର ସ୍ଥିରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
2. ପ୍ରିସିସନ୍ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ କମ୍ପୋନେଣ୍ଟ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ
ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସୁବିଧା:
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମର ଚୁମ୍ବକୀୟ ପାରଗମ୍ୟତା ଏବଂ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ପରିବାହିତା ଶୂନ୍ୟ ପାଖାପାଖି, ଆୟନ୍ ବିମ୍ ପଲିସିଂ (IBF) ଏବଂ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟୋରୋହିଓଲୋଜିକାଲ୍ ପଲିସିଂ (MRF) ଭଳି ସଠିକତା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉପରେ ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ ହସ୍ତକ୍ଷେପର ପ୍ରଭାବକୁ ଏଡ଼ାଇଥାଏ। ପ୍ରକ୍ରିୟାକୃତ ଆସ୍ଫିକାଲ୍ ଲେନ୍ସର ପୃଷ୍ଠ ଆକୃତି ସଠିକତା PV ମୂଲ୍ୟ λ/100 ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିପାରେ।
ଦ୍ୱିତୀୟ. ମହାକାଶ ଏବଂ ସଠିକ୍ ଯାଞ୍ଚ
ବିମାନ ଚଳାଚଳ ଉପାଦାନ ଯାଞ୍ଚ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ
ପ୍ରୟୋଗ ପରିସ୍ଥିତି: ବିମାନ ବ୍ଲେଡର ତ୍ରି-ପରିମାଣୀୟ ଯାଞ୍ଚ, ବିମାନ ଆଲୁମିନିୟମ ମିଶ୍ରଧାତୁ ଗଠନାତ୍ମକ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଆକୃତି ଏବଂ ସ୍ଥିତି ସହନଶୀଳତା ମାପ।
ପ୍ରମୁଖ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା:
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମର ପୃଷ୍ଠକୁ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଲାଇଟିକ୍ କ୍ଷୋର ଦ୍ୱାରା ଚିକିତ୍ସା କରାଯାଇ ସୂକ୍ଷ୍ମ ପ୍ୟାଟର୍ନ (Ra 0.4-0.8μm ର ରୁକ୍ଷତା ସହିତ) ଗଠନ କରାଯାଏ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଟ୍ରିଗର ପ୍ରୋବ୍ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ, ଏବଂ ବ୍ଲେଡ୍ ପ୍ରୋଫାଇଲ୍ ଚିହ୍ନଟ କରିବାରେ ତ୍ରୁଟି 5μm ରୁ କମ୍।
ଏହା 200 କିଲୋଗ୍ରାମରୁ ଅଧିକ ବିମାନ ଉପାଦାନର ଭାର ସହ୍ୟ କରିପାରିବ, ଏବଂ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ବ୍ୟବହାର ପରେ ସମତଳତା ପରିବର୍ତ୍ତନ 2μm/m ରୁ କମ୍ ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ମହାକାଶ ଶିଳ୍ପରେ ଗ୍ରେଡ୍ 10 ର ସଠିକତା ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଆବଶ୍ୟକତାକୁ ପୂରଣ କରିଥାଏ।
2. ଜଡ଼ତା ନାଭିଗେସନ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର କାଲିବ୍ରେସନ୍
ବୈଷୟିକ ଆବଶ୍ୟକତା: ଜାଇରୋସ୍କୋପ୍ ଏବଂ ଆକ୍ସିଲେରୋମିଟର ଭଳି ଜଡ଼ତା ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକର ସ୍ଥିର କାଲିବ୍ରେସନ୍ ପାଇଁ ଏକ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଷ୍ଟେବଲ୍ ରେଫରେନ୍ସ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ଆବଶ୍ୟକ।
ସମାଧାନ: ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମକୁ ଏକ ସକ୍ରିୟ କମ୍ପନ ପୃଥକୀକରଣ ପ୍ରଣାଳୀ (ପ୍ରାକୃତିକ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି < 1Hz) ସହିତ ମିଶ୍ରିତ କରାଯାଏ, ଯାହା କମ୍ପନ ତ୍ୱରାନ୍ୱୟ < 1×10⁻⁴g ସହିତ ଏକ ପରିବେଶରେ < 0.01°/h < ଜଡ଼ତା ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଶୂନ୍ୟ-ଅଫସେଟ୍ ସ୍ଥିରତାର ଉଚ୍ଚ-ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟତା କାଲିବ୍ରେସନ୍ ହାସଲ କରେ।
ଚତୁର୍ଥ ନାନୋଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଏବଂ ଜୈବ ଔଷଧ
ସ୍କାନିଂ ପ୍ରୋବ୍ ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପ୍ (SPM) ପ୍ଲାଟଫର୍ମ
ମୂଳ କାର୍ଯ୍ୟ: ପରମାଣୁ ବଳ ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପି (AFM) ଏବଂ ସ୍କାନିଂ ଟନେଲିଂ ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପି (STM) ପାଇଁ ଆଧାର ଭାବରେ, ଏହାକୁ ପରିବେଶଗତ କମ୍ପନ ଏବଂ ତାପଜ ଡ୍ରିଫ୍ଟରୁ ପୃଥକ କରାଯିବା ଆବଶ୍ୟକ।
କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସୂଚକ:
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ, ନ୍ୟୁମେଟିକ୍ କମ୍ପନ ଆଇସୋଲେସନ୍ ଲେଗ୍ ସହିତ ମିଶ୍ରଣରେ, ବାହ୍ୟ କମ୍ପନର ପ୍ରସାରଣ ହାର (1-100Hz)କୁ 5% ରୁ କମ୍ କରିପାରିବ, ଯାହା ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ ପରିବେଶରେ AFM ର ପରମାଣୁ-ସ୍ତରୀୟ ଇମେଜିଂ (ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ୍ < 0.1nm) ହାସଲ କରିପାରିବ।
ତାପମାତ୍ରା ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା 0.05μm/℃ ରୁ କମ୍, ଯାହା ଏକ ସ୍ଥିର ତାପମାତ୍ରା (37℃±0.1℃) ପରିବେଶରେ ଜୈବିକ ନମୁନାର ନାନୋସ୍କେଲ ପର୍ଯ୍ୟବେକ୍ଷଣ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରେ।
୨. ବାୟୋଚିପ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂ ଉପକରଣ
ପ୍ରୟୋଗ ମାମଲା: DNA ସିକୋଏନ୍ସିଂ ଚିପ୍ସ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ସଂଳାପ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ±0.5μm ସ୍ଥିତିକରଣ ସଠିକତା ସହିତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଏୟାର-ଫ୍ଲୋଟିଂ ଗାଇଡ୍ ରେଲ୍ ଗ୍ରହଣ କରେ, ଯାହା ମାଇକ୍ରୋଫ୍ଲୁଇଡିକ୍ ଚ୍ୟାନେଲ୍ ଏବଂ ଚିହ୍ନଟ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ମଧ୍ୟରେ ସବ୍-ମାଇକ୍ରୋନ୍ ବନ୍ଧନ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
V. ଉଦୀୟମାନ ପ୍ରୟୋଗ ପରିସ୍ଥିତି
କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ କମ୍ପ୍ୟୁଟିଂ ଉପକରଣ ଆଧାର
ବୈଷୟିକ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜ: କ୍ୟୁବିଟ୍ ପରିଚାଳନା ପାଇଁ ଅତ୍ୟନ୍ତ କମ୍ ତାପମାତ୍ରା (mK ସ୍ତର) ଏବଂ ଏକ ଅତି ସ୍ଥିର ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପରିବେଶ ଆବଶ୍ୟକ।
ସମାଧାନ: ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର ଅତ୍ୟନ୍ତ କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣ (ପ୍ରସାରଣ ହାର -200℃ ରୁ କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ 1ppm ଠାରୁ କମ୍) ଅତି-ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରା ସୁପରକଣ୍ଡକ୍ଟିଂ ଚୁମ୍ବକର ସଙ୍କୋଚନ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ମେଳ ଖାଇପାରେ, ଯାହା କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ ଚିପ୍ସର ପ୍ୟାକେଜିଂ ସମୟରେ ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ ସଠିକତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
୨. ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ବିମ୍ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି (EBL) ସିଷ୍ଟମ୍
ପ୍ରମୁଖ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା: ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମର ଇନସୁଲେସନ ଗୁଣ (ପ୍ରତିରୋଧକତା > 10¹³Ω · m) ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ ବିମ୍ ବିଚ୍ଛିନ୍ନତାକୁ ରୋକିଥାଏ। ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ ଡ୍ରାଇଭ୍ ସହିତ ମିଳିତ ଭାବରେ, ଏହା ଏକ ନାନୋସ୍କେଲ୍ ରେଖା ପ୍ରସ୍ଥ (< 10nm) ସହିତ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ୟାଟର୍ନ ଲେଖା ହାସଲ କରେ।
ସାରାଂଶ
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ରିସିସନ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମର ପ୍ରୟୋଗ ପାରମ୍ପରିକ ପ୍ରିସିସନ୍ ମେସିନାରୀରୁ ନାନୋଟେକ୍ନୋଲୋଜି, କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ ଫିଜିକ୍ସ ଏବଂ ଜୈବ ଔଷଧ ଭଳି ଅତ୍ୟାଧୁନିକ କ୍ଷେତ୍ର ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ବିସ୍ତାରିତ ହୋଇଛି। ଏହାର ମୂଳ ପ୍ରତିଯୋଗିତାମୂଳକତା ଭୌତିକ ଗୁଣ ଏବଂ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ଆବଶ୍ୟକତାର ଗଭୀର ସଂଯୋଗରେ ରହିଛି। ଭବିଷ୍ୟତରେ, କମ୍ପୋଜିଟ୍ ରିଇନଫୋର୍ସନ୍ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି (ଯେପରିକି ଗ୍ରାଫିନ୍-ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ନାନୋକମ୍ପୋଜିଟ୍ସ) ଏବଂ ବୁଦ୍ଧିମାନ ସେନ୍ସିଂ ଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ସମନ୍ୱୟ ସହିତ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମଗୁଡ଼ିକ ପରମାଣୁ-ସ୍ତରୀୟ ସଠିକତା, ପୂର୍ଣ୍ଣ-ତାପମାନ ପରିସର ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ବହୁ-କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ସମନ୍ୱୟ ଦିଗରେ ପ୍ରବେଶ କରିବ, ଯାହା ପରବର୍ତ୍ତୀ ପିଢ଼ିର ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଉତ୍ପାଦନକୁ ସମର୍ଥନ କରୁଥିବା ମୂଳ ମୌଳିକ ଉପାଦାନ ହେବ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମଇ-୨୮-୨୦୨୫