୧. ପରିମାଣିକ ସଠିକତା
ସମତଳତା: ଆଧାରର ପୃଷ୍ଠର ସମତଳତା ଏକ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଉଚ୍ଚ ମାନଦଣ୍ଡରେ ପହଞ୍ଚିବା ଉଚିତ, ଏବଂ ଯେକୌଣସି 100mm×100mm କ୍ଷେତ୍ରରେ ସମତଳତା ତ୍ରୁଟି ±0.5μm ଅତିକ୍ରମ କରିବା ଉଚିତ ନୁହେଁ; ସମଗ୍ର ଆଧାର ସମତଳ ପାଇଁ, ସମତଳତା ତ୍ରୁଟି ±1μm ମଧ୍ୟରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହୁଏ। ଏହା ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣର ପ୍ରମୁଖ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ, ଯେପରିକି ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଉପକରଣର ଏକ୍ସପୋଜର୍ ହେଡ୍ ଏବଂ ଚିପ୍ ଚିହ୍ନଟ ଉପକରଣର ପ୍ରୋବ୍ ଟେବୁଲ୍, ଏକ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ସମତଳରେ ସ୍ଥିର ଭାବରେ ସଂସ୍ଥାପିତ ଏବଂ ପରିଚାଳିତ ହୋଇପାରିବ, ଉପକରଣର ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପଥ ଏବଂ ସର୍କିଟ୍ ସଂଯୋଗର ସଠିକତା ନିଶ୍ଚିତ କରେ, ଏବଂ ଆଧାରର ଅସମାନ ସମତଳ ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ବିସ୍ଥାପନ ବିଚ୍ୟୁତିକୁ ଏଡାଏ, ଯାହା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଚିପ୍ ନିର୍ମାଣ ଏବଂ ଚିହ୍ନଟ ସଠିକତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ।
ସିଧାପନା: ଆଧାରର ପ୍ରତ୍ୟେକ ଧାରର ସିଧାପନା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ। ଲମ୍ବ ଦିଗରେ, ସିଧାପନା ତ୍ରୁଟି ପ୍ରତି 1 ମିଟରରେ ±1μm ଅତିକ୍ରମ କରିବ ନାହିଁ; କର୍ଣ୍ଣ ସିଧାପନା ତ୍ରୁଟି ±1.5μm ମଧ୍ୟରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହୁଏ। ଉଦାହରଣ ଭାବରେ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ନେବା, ଯେତେବେଳେ ଟେବୁଲ୍ ଆଧାରର ଗାଇଡ୍ ରେଳ ସହିତ ଗତି କରେ, ଆଧାରର ଧାରର ସିଧାପନା ସିଧାସଳଖ ଟେବୁଲ୍ର ଟ୍ରାଜେକ୍ଟୋରୀ ସଠିକତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ। ଯଦି ସିଧାପନା ମାନକ ଅନୁଯାୟୀ ନଥାଏ, ତେବେ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ୟାଟର୍ନ ବିକୃତ ଏବଂ ବିକୃତ ହେବ, ଯାହା ଫଳରେ ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଉତ୍ପାଦନ ହ୍ରାସ ପାଇବ।
ସମାନ୍ତରାଳତା: ଆଧାରର ଉପର ଏବଂ ତଳ ପୃଷ୍ଠର ସମାନ୍ତରାଳତା ତ୍ରୁଟି ±1μm ମଧ୍ୟରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯିବା ଉଚିତ। ଭଲ ସମାନ୍ତରାଳତା ଉପକରଣ ସ୍ଥାପନ ପରେ ସାମଗ୍ରିକ ଗୁରୁତ୍ୱାକର୍ଷଣ କେନ୍ଦ୍ରର ସ୍ଥିରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିପାରିବ ଏବଂ ପ୍ରତ୍ୟେକ ଉପାଦାନର ବଳ ସମାନ ହୋଇଥାଏ। ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ୱେଫର ନିର୍ମାଣ ଉପକରଣରେ, ଯଦି ଆଧାରର ଉପର ଏବଂ ତଳ ପୃଷ୍ଠ ସମାନ୍ତରାଳ ନଥାଏ, ତେବେ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟରେ ୱେଫର ଢଳିଯିବ, ଯାହା ଏଚିଂ ଏବଂ ଆବରଣ ଭଳି ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମାନତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିବ ଏବଂ ଏହିପରି ଚିପ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସ୍ଥିରତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିବ।
ଦ୍ୱିତୀୟତଃ, ସାମଗ୍ରୀର ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ
କଠିନତା: ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ସାମଗ୍ରୀର କଠିନତା କୂଳ କଠିନତା HS70 କିମ୍ବା ତା'ଠାରୁ ଅଧିକ ହେବା ଉଚିତ। ଉଚ୍ଚ କଠିନତା ଉପକରଣର କାର୍ଯ୍ୟ ସମୟରେ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ବାରମ୍ବାର ଗତି ଏବଂ ଘର୍ଷଣ ଯୋଗୁଁ ହେଉଥିବା ଘଷିକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ପ୍ରତିରୋଧ କରିପାରିବ, ଏହା ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ବ୍ୟବହାର ପରେ ଆଧାର ଏକ ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ଆକାର ବଜାୟ ରଖିପାରିବ। ଚିପ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂ ଉପକରଣରେ, ରୋବୋଟ୍ ବାହୁ ବାରମ୍ବାର ଚିପ୍ କୁ ଧରିଥାଏ ଏବଂ ବେସ୍ ଉପରେ ରଖେ, ଏବଂ ବେସ୍ ର ଉଚ୍ଚ କଠିନତା ନିଶ୍ଚିତ କରିପାରେ ଯେ ପୃଷ୍ଠ ସ୍କ୍ରାଚ୍ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ସହଜ ନୁହେଁ ଏବଂ ରୋବୋଟ୍ ବାହୁ ଗତିର ସଠିକତା ବଜାୟ ରଖେ।
ଘନତା: ସାମଗ୍ରୀର ଘନତା 2.6-3.1 g/cm³ ମଧ୍ୟରେ ହେବା ଉଚିତ। ଉପଯୁକ୍ତ ଘନତା ଆଧାରକୁ ଭଲ ଗୁଣବତ୍ତାର ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ଉପକରଣକୁ ସମର୍ଥନ କରିବା ପାଇଁ ପର୍ଯ୍ୟାପ୍ତ କଠୋରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିପାରିବ, ଏବଂ ଅତ୍ୟଧିକ ଓଜନ ଯୋଗୁଁ ଉପକରଣର ସ୍ଥାପନ ଏବଂ ପରିବହନରେ ଅସୁବିଧା ଆଣିବ ନାହିଁ। ବଡ଼ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ନିରୀକ୍ଷଣ ଉପକରଣରେ, ସ୍ଥିର ମୂଳ ଘନତା ଉପକରଣ କାର୍ଯ୍ୟ ସମୟରେ କମ୍ପନ ସଂଚାରକୁ ହ୍ରାସ କରିବାରେ ଏବଂ ଚିହ୍ନଟ ସଠିକତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ।
ତାପଜ ସ୍ଥିରତା: ରେଖୀୟ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ 5×10⁻⁶/℃ ରୁ କମ୍। ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନ ପ୍ରତି ଅତ୍ୟନ୍ତ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ, ଏବଂ ଆଧାରର ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ସିଧାସଳଖ ଉପକରଣର ସଠିକତା ସହିତ ଜଡିତ। ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ, ତାପମାତ୍ରାର ପରିବର୍ତ୍ତନ ଆଧାରର ପ୍ରସାରଣ କିମ୍ବା ସଂକୋଚନ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ, ଯାହା ଫଳରେ ଏକ୍ସପୋଜର ପ୍ୟାଟର୍ନର ଆକାରରେ ବିଚ୍ୟୁତି ହୁଏ। ନିମ୍ନ ରେଖୀୟ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ ସହିତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ସଠିକତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଉପକରଣର କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ତାପମାତ୍ରା (ସାଧାରଣତଃ 20-30 ° C) ପରିବର୍ତ୍ତନ ହେଲେ ଆକାର ପରିବର୍ତ୍ତନକୁ ବହୁତ ଛୋଟ ପରିସର ମଧ୍ୟରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିପାରିବ।
ତୃତୀୟ, ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣବତ୍ତା
ରୁକ୍ଷତା: ଆଧାରରେ ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା Ra ମୂଲ୍ୟ 0.05μm ଅତିକ୍ରମ କରେ ନାହିଁ। ଅତ୍ୟଧିକ-ମୃଦୁ ପୃଷ୍ଠ ଧୂଳି ଏବଂ ଅପରିଷ୍କାରତାର ଶୋଷଣକୁ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ ଏବଂ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପରିବେଶର ପରିଷ୍କାରତା ଉପରେ ପ୍ରଭାବକୁ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ। ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନର ଧୂଳିମୁକ୍ତ କର୍ମଶାଳାରେ, ଛୋଟ କଣିକା ଚିପ୍ ର ସର୍ଟ ସର୍କିଟ୍ ଭଳି ତ୍ରୁଟି ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ, ଏବଂ ମୂଳର ମୃଦୁ ପୃଷ୍ଠ କର୍ମଶାଳାର ଏକ ସଫା ପରିବେଶ ବଜାୟ ରଖିବା ଏବଂ ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନକୁ ଉନ୍ନତ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ।
ଅଣୁବୀକ୍ଷଣୀୟ ତ୍ରୁଟି: ଆଧାରର ପୃଷ୍ଠରେ କୌଣସି ଦୃଶ୍ୟମାନ ଫାଟ, ବାଲି ଗାତ, ଛିଦ୍ର ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ତ୍ରୁଟି ରହିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଆଯାଇ ନାହିଁ। ଅଣୁବୀକ୍ଷଣୀୟ ସ୍ତରରେ, ପ୍ରତି ବର୍ଗ ସେଣ୍ଟିମିଟରରେ 1μm ରୁ ଅଧିକ ବ୍ୟାସ ଥିବା ତ୍ରୁଟି ସଂଖ୍ୟା ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଅଣୁବୀକ୍ଷଣିକ ଦ୍ୱାରା 3 ଅତିକ୍ରମ କରିବ ନାହିଁ। ଏହି ତ୍ରୁଟିଗୁଡ଼ିକ ଆଧାରର ଗଠନାତ୍ମକ ଶକ୍ତି ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ ସମତଳତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିବ, ଏବଂ ତା'ପରେ ଉପକରଣର ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ସଠିକତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିବ।
ଚତୁର୍ଥ, ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଆଘାତ ପ୍ରତିରୋଧ
ଗତିଶୀଳ ସ୍ଥିରତା: ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣ (କମ୍ପନ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ପରିସର 10-1000Hz, ଆମ୍ପ୍ଲିଚ୍ୟୁଡ୍ 0.01-0.1mm) ର କାର୍ଯ୍ୟ ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ସିମୁଲେଟେଡ୍ କମ୍ପନ ପରିବେଶରେ, ଆଧାରରେ ପ୍ରମୁଖ ସ୍ଥାପନ ବିନ୍ଦୁଗୁଡ଼ିକର କମ୍ପନ ବିସ୍ଥାପନ ±0.05μm ମଧ୍ୟରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହେବା ଉଚିତ। ଉଦାହରଣ ଭାବରେ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପରୀକ୍ଷଣ ଉପକରଣକୁ ଗ୍ରହଣ କରି, ଯଦି କାର୍ଯ୍ୟ ସମୟରେ ଉପକରଣର ନିଜସ୍ୱ କମ୍ପନ ଏବଂ ପାରିପାର୍ଶ୍ୱିକ ପରିବେଶ କମ୍ପନ ଆଧାରକୁ ପ୍ରେରିତ ହୁଏ, ତେବେ ପରୀକ୍ଷା ସଙ୍କେତର ସଠିକତା ବାଧାପ୍ରାପ୍ତ ହୋଇପାରେ। ଭଲ ଗତିଶୀଳ ସ୍ଥିରତା ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ପରୀକ୍ଷା ଫଳାଫଳ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିପାରିବ।
ଭୂକମ୍ପ ପ୍ରତିରୋଧ: ଆଧାରର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଭୂକମ୍ପୀୟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ରହିବା ଆବଶ୍ୟକ, ଏବଂ ହଠାତ୍ ବାହ୍ୟ କମ୍ପନ (ଯେପରିକି ଭୂକମ୍ପୀୟ ତରଙ୍ଗ ସିମୁଲେସନ୍ କମ୍ପନ)ର ଶିକାର ହେଲେ କମ୍ପନ ଶକ୍ତିକୁ ଦ୍ରୁତ ଗତିରେ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ, ଏବଂ ଉପକରଣର ପ୍ରମୁଖ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଆପେକ୍ଷିକ ସ୍ଥିତି ±0.1μm ମଧ୍ୟରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହେବା ନିଶ୍ଚିତ କରିପାରିବ। ଭୂମିକମ୍ପପ୍ରବଣ ଅଞ୍ଚଳରେ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ କାରଖାନାଗୁଡ଼ିକରେ, ଭୂମିକମ୍ପ-ପ୍ରତିରୋଧୀ ଆଧାର ମହଙ୍ଗା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ସୁରକ୍ଷା ଦେଇପାରିବ, କମ୍ପନ ଯୋଗୁଁ ଉପକରଣ କ୍ଷତି ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ବାଧା ହ୍ରାସ କରିପାରିବ।
୫. ରାସାୟନିକ ସ୍ଥିରତା
କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ: ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସାଧାରଣ ରାସାୟନିକ ଏଜେଣ୍ଟ, ଯେପରିକି ହାଇଡ୍ରୋଫ୍ଲୋରିକ୍ ଏସିଡ୍, ଆକ୍ୱା ରେଜିଆ, ଇତ୍ୟାଦିର କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ କରିବା ଉଚିତ। 40% ପରିମାଣର ଅଂଶ ସହିତ ହାଇଡ୍ରୋଫ୍ଲୋରିକ୍ ଏସିଡ୍ ଦ୍ରବଣରେ 24 ଘଣ୍ଟା ପାଇଁ ବୁଡ଼ାଇ ରଖିବା ପରେ, ପୃଷ୍ଠର ଗୁଣବତ୍ତା କ୍ଷତି ହାର 0.01% ଅତିକ୍ରମ କରିବ ନାହିଁ; 12 ଘଣ୍ଟା ପାଇଁ ଆକ୍ୱା ରେଜିଆ (ହାଇଡ୍ରୋକ୍ଲୋରିକ୍ ଏସିଡ୍ ଏବଂ ନାଇଟ୍ରିକ୍ ଏସିଡ୍ ର ଆୟତନ ଅନୁପାତ 3:1) ରେ ବୁଡ଼ାଇ ରଖନ୍ତୁ, ଏବଂ ପୃଷ୍ଠରେ କ୍ଷୟର କୌଣସି ସ୍ପଷ୍ଟ ଚିହ୍ନ ନାହିଁ। ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ରାସାୟନିକ ଖୋଦନ ଏବଂ ସଫା କରିବା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ, ଏବଂ ଆଧାରର ଭଲ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ ନିଶ୍ଚିତ କରିପାରିବ ଯେ ରାସାୟନିକ ପରିବେଶରେ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ବ୍ୟବହାର କ୍ଷୟ ନହୁଏ, ଏବଂ ସଠିକତା ଏବଂ ଗଠନାତ୍ମକ ଅଖଣ୍ଡତା ବଜାୟ ରଖାଯାଏ।
ପ୍ରଦୂଷଣ-ପ୍ରତିରୋଧୀ: ମୂଳ ସାମଗ୍ରୀରେ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ପରିବେଶରେ ସାଧାରଣ ପ୍ରଦୂଷକ, ଯେପରିକି ଜୈବ ଗ୍ୟାସ୍, ଧାତୁ ଆୟନ୍, ଇତ୍ୟାଦି ଅତ୍ୟନ୍ତ କମ୍ ଶୋଷଣ ଥାଏ। 10 PPM ଜୈବ ଗ୍ୟାସ୍ (ଯଥା, ବେଞ୍ଜିନ, ଟୋଲୁଇନ୍) ଏବଂ 1ppm ଧାତୁ ଆୟନ୍ (ଯଥା, ତମ୍ବା ଆୟନ୍, ଲୁହା ଆୟନ୍) ଯୁକ୍ତ ପରିବେଶରେ 72 ଘଣ୍ଟା ପାଇଁ ରଖାଗଲେ, ମୂଳ ପୃଷ୍ଠରେ ପ୍ରଦୂଷକଗୁଡ଼ିକର ଶୋଷଣ ଦ୍ୱାରା ହେଉଥିବା କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପରିବର୍ତ୍ତନ ନଗଣ୍ୟ। ଏହା ମୂଳ ପୃଷ୍ଠରୁ ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷେତ୍ରକୁ ପ୍ରବାସନ ଏବଂ ଚିପ୍ ଗୁଣବତ୍ତା ପ୍ରଭାବିତ କରିବାରୁ ପ୍ରଦୂଷକମାନଙ୍କୁ ରୋକିଥାଏ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମାର୍ଚ୍ଚ-୨୮-୨୦୨୫