ନାନୋସ୍କେଲ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆଡକୁ ଅଗ୍ରସର ହେଉଥିବା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନରେ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ଲିଙ୍କ ଭାବରେ ୱେଫର କଟିଂର ଉପକରଣ ସ୍ଥିରତା ପାଇଁ ଅତ୍ୟନ୍ତ କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ରହିଛି। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍, ଏହାର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କମ୍ପନ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ସହିତ, ୱେଫର କଟିଂ ଉପକରଣର ଏକ ମୁଖ୍ୟ ଉପାଦାନ ପାଲଟିଛି, ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଦକ୍ଷତା ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି ପ୍ରଦାନ କରେ।
ଉଚ୍ଚ ଡାମ୍ପିଂ ଏବଂ ଆଣ୍ଟି-ଭାଇବ୍ରେସନ୍ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ: ନାନୋ-ସ୍ତର କଟିଙ୍ଗ ସଠିକତାକୁ ସୁରକ୍ଷିତ ରଖିବା
ଯେତେବେଳେ ୱେଫର କଟିଂ ଉପକରଣ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଥାଏ, ସେତେବେଳେ ସ୍ପିଣ୍ଡଲର ଉଚ୍ଚ-ଗତିର ଘୂର୍ଣ୍ଣନ, କଟିଂ ଉପକରଣର ଉଚ୍ଚ-ଆବୃତ୍ତି କମ୍ପନ ଏବଂ ଆଖପାଖ ଉପକରଣ ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ପରିବେଶଗତ କମ୍ପନ ଏସବୁ କଟିଂ ସଠିକତା ଉପରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରଭାବ ପକାଇବ। ପାରମ୍ପରିକ ଧାତୁ ଆଧାରର ଡ୍ୟାମ୍ପିଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସୀମିତ, ଯାହା କମ୍ପନକୁ ଦ୍ରୁତ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରିବା କଷ୍ଟକର କରିଥାଏ, ଯାହା କଟିଂ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକର ମାଇକ୍ରୋନ-ସ୍ତରୀୟ ଝଟକା ସୃଷ୍ଟି କରେ ଏବଂ ସିଧାସଳଖ ଚିପ୍ ହୋଇଥିବା ଧାର ଏବଂ ୱେଫରରେ ଫାଟ ଭଳି ତ୍ରୁଟି ସୃଷ୍ଟି କରେ। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରର ଉଚ୍ଚ ଡ୍ୟାମ୍ପିଂ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ମୌଳିକ ଭାବରେ ଏହି ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ କରିଛି।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଖଣିଜ ସ୍ଫଟିକଗୁଡ଼ିକ ଘନିଷ୍ଠ ଭାବରେ ପରସ୍ପର ସହିତ ଜଡିତ, ଏକ ପ୍ରାକୃତିକ ଶକ୍ତି ଅପଚୟ ଗଠନ ଗଠନ କରନ୍ତି। ଯେତେବେଳେ କମ୍ପନକୁ ଆଧାରକୁ ସ୍ଥାନାନ୍ତରିତ କରାଯାଏ, ଏହାର ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ମାଇକ୍ରୋଷ୍ଟ୍ରକଚର ଦ୍ରୁତ ଗତିରେ କମ୍ପନ ଶକ୍ତିକୁ ତାପଜ ଶକ୍ତିରେ ରୂପାନ୍ତରିତ କରିପାରେ, ଯାହା ପ୍ରଭାବଶାଳୀ କମ୍ପନ ହ୍ରାସ ହାସଲ କରିଥାଏ। ପରୀକ୍ଷଣ ତଥ୍ୟ ଦର୍ଶାଏ ଯେ ସମାନ କମ୍ପନ ପରିବେଶ ଅଧୀନରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର 0.5 ସେକେଣ୍ଡ ମଧ୍ୟରେ କମ୍ପନ ଆମ୍ପ୍ଲିଚ୍ୟୁଡ୍କୁ 90% ରୁ ଅଧିକ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ, ଯେତେବେଳେ ଧାତୁ ଆଧାର ପାଇଁ 3 ରୁ 5 ସେକେଣ୍ଡ ଆବଶ୍ୟକ ହୁଏ। ଏହି ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଡ୍ୟାମ୍ପିଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ନାନୋସ୍କେଲ୍ କଟିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ କଟିଂ ଉପକରଣ ସ୍ଥିର ରହିଥାଏ, ୱେଫର କଟିଂର ଏକ ମସୃଣ ଧାର ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି ଦିଏ ଏବଂ ଚିପିଂ ହାରକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରେ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, 5nm ୱେଫର କଟିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର ଥିବା ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ 10μm ମଧ୍ୟରେ ଚିପିଂ ଆକାରକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିପାରିବ, ଯାହା ଧାତୁ ଆଧାର ଥିବା ଉପକରଣ ଅପେକ୍ଷା 40% ରୁ ଅଧିକ।
ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଅତ୍ୟଧିକ-ନିମ୍ନ ଗୁଣାଙ୍କ: ତାପମାତ୍ରା ହ୍ରାସର ପ୍ରଭାବ ପ୍ରତି ପ୍ରତିରୋଧୀ
ୱେଫର କଟିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ, କଟିଂ ଉପକରଣର ଘର୍ଷଣ ଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପନ୍ନ ଉତ୍ତାପ, ଉପକରଣର ଦୀର୍ଘକାଳୀନ କାର୍ଯ୍ୟରୁ ଉତ୍ତାପ ଅପଚୟ ଏବଂ କର୍ମଶାଳା ପରିବେଶର ତାପମାତ୍ରାରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଉପକରଣ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ତାପଜ ବିକୃତି ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ। ଧାତୁ ସାମଗ୍ରୀର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ ତୁଳନାତ୍ମକ ଭାବରେ ଅଧିକ (ପ୍ରାୟ 12×10⁻⁶/℃)। ଯେତେବେଳେ ତାପମାତ୍ରା 5℃ ବୃଦ୍ଧି ପାଏ, 1 ମିଟର ଲମ୍ବା ଧାତୁ ଆଧାର 60μm ବିକୃତି ଦେଇପାରେ, ଯାହା ଫଳରେ କଟିଂ ସ୍ଥିତି ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୋଇପାରେ ଏବଂ କଟିଂ ସଠିକତାକୁ ଗମ୍ଭୀର ଭାବରେ ପ୍ରଭାବିତ କରିଥାଏ।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ କେବଳ (4-8) ×10⁻⁶/℃, ଯାହା ଧାତୁ ସାମଗ୍ରୀର ଏକ-ତୃତୀୟାଂଶରୁ କମ୍। ସମାନ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନ ଅଧୀନରେ, ଏହାର ପରିମାଣ ପରିବର୍ତ୍ତନକୁ ପ୍ରାୟ ଅଣଦେଖା କରାଯାଇପାରିବ। ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଉଦ୍ୟୋଗର ମାପ କରାଯାଇଥିବା ତଥ୍ୟ ଦର୍ଶାଏ ଯେ 8 ଘଣ୍ଟା ନିରନ୍ତର ଉଚ୍ଚ-ତୀବ୍ରତା ୱାଫର କଟିଂ କାର୍ଯ୍ୟ ସମୟରେ, ଯେତେବେଳେ ପରିବେଶର ତାପମାତ୍ରା 10℃ ବୃଦ୍ଧି ପାଏ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର ସହିତ ଉପକରଣର କଟିଂ ସ୍ଥିତି ଅଫସେଟ୍ 20μm ରୁ କମ୍ ହୋଇଥାଏ, ଯେତେବେଳେ ଧାତୁ ଆଧାର ସହିତ ଉପକରଣର କଟିଂ ସ୍ଥିତି 60μm ଅତିକ୍ରମ କରେ। ଏହି ସ୍ଥିର ତାପଜ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ କଟିଂ ଉପକରଣ ଏବଂ ୱାଫର ମଧ୍ୟରେ ଆପେକ୍ଷିକ ସ୍ଥିତି ସର୍ବଦା ସଠିକ ରହିଥାଏ। ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ନିରନ୍ତର କାର୍ଯ୍ୟ କିମ୍ବା ପରିବେଶର ତାପମାତ୍ରାରେ ପ୍ରବଳ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଅଧୀନରେ ମଧ୍ୟ, କଟିଂ ସଠିକତାର ସ୍ଥିରତା ବଜାୟ ରଖାଯାଇପାରିବ।
କଠୋରତା ଏବଂ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ: ଉପକରଣର ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ସ୍ଥିର କାର୍ଯ୍ୟ ନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତୁ।
କମ୍ପନ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ତାପଜ ସ୍ଥିରତାର ସୁବିଧା ବ୍ୟତୀତ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରର ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା ଏବଂ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ୱେଫର କଟିଂ ଉପକରଣର ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତାକୁ ଆହୁରି ବୃଦ୍ଧି କରେ। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ମୋହସ୍ ସ୍କେଲରେ 6 ରୁ 7 କଠୋରତା ଏବଂ 120MPa ରୁ ଅଧିକ ସଂକୋଚନ ଶକ୍ତି ରହିଛି। ଏହା କଟିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ପ୍ରଚଣ୍ଡ ଚାପ ଏବଂ ପ୍ରଭାବ ବଳକୁ ସହ୍ୟ କରିପାରେ ଏବଂ ବିକୃତି ପାଇଁ ପ୍ରବଣ ନୁହେଁ। ଏହି ସମୟରେ, ଏହାର ଘନ ଗଠନ ଏହାକୁ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦାନ କରେ। ବାରମ୍ବାର କଟିଂ କାର୍ଯ୍ୟ ସମୟରେ ମଧ୍ୟ, ଆଧାରର ପୃଷ୍ଠ ପରିଧାନ ପାଇଁ ପ୍ରବଣ ନୁହେଁ, ଯାହା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା କାର୍ଯ୍ୟ ବଜାୟ ରଖେ।
ବ୍ୟବହାରିକ ପ୍ରୟୋଗରେ, ଅନେକ ୱେଫର ନିର୍ମାଣ ଉଦ୍ୟୋଗ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ସହିତ କଟିଂ ଉପକରଣ ଗ୍ରହଣ କରି ଉତ୍ପାଦ ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତାରେ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଉନ୍ନତି ଆଣିଛନ୍ତି। ଏକ ବିଶ୍ୱସ୍ତରୀୟ ଅଗ୍ରଣୀ ଫାଉଣ୍ଡ୍ରିରୁ ମିଳିଥିବା ତଥ୍ୟ ଦର୍ଶାଉଛି ଯେ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ଉପକରଣ ପ୍ରଚଳନ କରିବା ପରେ, ୱେଫର କଟିଂ ଉପକରଣ 88% ରୁ 95% ରୁ ଅଧିକ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଛି, ଉପକରଣ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଚକ୍ରକୁ ତିନି ଗୁଣ ବୃଦ୍ଧି କରାଯାଇଛି, ଯାହା ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରିଛି ଏବଂ ବଜାର ପ୍ରତିଯୋଗିତାକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିଛି।
ଶେଷରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍, ଏହାର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କମ୍ପନ ପ୍ରତିରୋଧ, ତାପଜ ସ୍ଥିରତା, ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା ଏବଂ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ସହିତ, ୱେଫର କଟିଂ ଉପକରଣ ପାଇଁ ବ୍ୟାପକ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି ପ୍ରଦାନ କରେ। ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଉଚ୍ଚତର ସଠିକତା ଆଡ଼କୁ ଅଗ୍ରଗତି କରିବା ସହିତ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ୱେଫର ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଅଧିକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିବ, ଯାହା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପର ନିରନ୍ତର ଅଭିନବ ବିକାଶକୁ ପ୍ରୋତ୍ସାହିତ କରିବ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମଇ-୨୦-୨୦୨୫