ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ବ୍ୟବହାର କରି ଏକକ ଅକ୍ଷ ବାୟୁ ଫ୍ଲୋଟ୍ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲର ପ୍ରୟୋଗ କ୍ଷେତ୍ର।

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ: ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ସର୍କିଟ୍ ପ୍ୟାଟର୍ଣ୍ଣକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ୱାଫରକୁ ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରିବାକୁ ପଡିବ। ସିଙ୍ଗଲ୍ ଆକ୍ସିସ୍ ଏୟାର ଫ୍ଲୋଟିଂ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ମୋସନ୍ ମଡ୍ୟୁଲ୍‌ର ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଉପକରଣରେ ୱାଫର ଟେବୁଲ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ସ୍ଥିତି ଏବଂ ସ୍ଥିର ସମର୍ଥନ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ASML ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ଖ୍ୟାତିସମ୍ପନ୍ନ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାମାନେ ସେମାନଙ୍କର ଉଚ୍ଚ-ସମ୍ପନ୍ନ ଉପକରଣରେ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ଏୟାର ଫ୍ଲୋଟିଂ ମୋସନ୍ ମଡ୍ୟୁଲ୍ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି, ଯାହା ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ୟାଟର୍ଣ୍ଣର ସଠିକତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ନାନୋମିଟର ସ୍ତରରେ ୱାଫରର ସ୍ଥିତି ସଠିକତାକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିପାରିବ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ଚିପ୍‌ର ସମନ୍ୱୟ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାରେ ଉନ୍ନତି ଆସିଥାଏ।
ସଠିକତା ମାପ କ୍ଷେତ୍ର: CMM ହେଉଛି ଏକ ସଠିକତା ମାପ ଉପକରଣ ଯାହା ସାଧାରଣତଃ ଶିଳ୍ପ ଉତ୍ପାଦନରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯାହା କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରର ଆକାର, ଆକୃତି ଏବଂ ସ୍ଥିତି ସଠିକତା ମାପ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ଉପରେ ଥିବା ଏକକ ଅକ୍ଷ ଏୟାର ଫ୍ଲୋଟ୍‌ର ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲ୍ CMM ର ଗତି ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ପ୍ରିସିସନ୍ ରେଖୀୟ ଗତି ଅନୁଭବ କରିପାରିବ ଏବଂ ମାପ ପ୍ରୋବ୍ ପାଇଁ ଏକ ସ୍ଥିର ଗତି ପ୍ରକ୍ଷେପ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଷଡ଼କୋଣର ଉଚ୍ଚ-ପ୍ରସିସନ୍ CMM ମାଇକ୍ରୋନ୍ ସ୍ତର ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ମାପ ସଠିକତା ସହିତ ବଡ଼ ଏବଂ ଜଟିଳ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକୁ ମାପ କରିବା ପାଇଁ ଏହି ମିଶ୍ରଣ ବ୍ୟବହାର କରେ, ଯାହା ଅଟୋମୋଟିଭ୍, ଏରୋସ୍ପେସ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଶିଳ୍ପରେ ଅଂଶ ଗୁଣବତ୍ତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପାଇଁ ଏକ ଦୃଢ଼ ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି ପ୍ରଦାନ କରେ।
ମହାକାଶ କ୍ଷେତ୍ର: ମହାକାଶ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଏବଂ ପରୀକ୍ଷଣରେ, ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ଆବଶ୍ୟକ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ବିମାନ ଇଞ୍ଜିନ ବ୍ଲେଡର ମେସିନିଂ ପାଇଁ ବ୍ଲେଡ୍ ପ୍ରୋଫାଇଲ୍ ସଠିକତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଉପକରଣର ଗତି ପ୍ରପଥର ସଠିକ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଆବଶ୍ୟକ। ଏକକ ଅକ୍ଷ ଏୟାର ଫ୍ଲୋଟ୍ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲ୍‌ର ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ପାଞ୍ଚ-ଅକ୍ଷ ମେସିନିଂ କେନ୍ଦ୍ର ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉପକରଣରେ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଇପାରିବ ଯାହା ଉପକରଣ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଗତି ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଦାନ କରିବ ଏବଂ ନିଶ୍ଚିତ କରିବ ଯେ ବ୍ଲେଡ୍‌ର ମେସିନିଂ ସଠିକତା ଡିଜାଇନ୍ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ। ସେହି ସମୟରେ, ଏରୋ ଇଞ୍ଜିନର ସମାବେଶ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଅଂଶଗୁଡ଼ିକର ସମାବେଶ ସଠିକତା ଚିହ୍ନଟ କରିବା ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ମାପ ଉପକରଣ ବ୍ୟବହାର କରିବା ମଧ୍ୟ ଆବଶ୍ୟକ। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସର ଏୟାର ଫ୍ଲୋଟିଂ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲ୍ ସମାବେଶ ଗୁଣବତ୍ତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ମାପ ଉପକରଣ ପାଇଁ ସ୍ଥିର ସମର୍ଥନ ଏବଂ ସଠିକ ଗତି ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ।
ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ନିରୀକ୍ଷଣ କ୍ଷେତ୍ର: ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ପରୀକ୍ଷଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ସ୍ଥିତିକରଣ ଏବଂ ମାପ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଦର୍ପଣ ଏବଂ ଲେନ୍ସ ଭଳି ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ନିର୍ମାଣ କରିବା ସମୟରେ, ପୃଷ୍ଠ ଆକୃତି ସଠିକତା ଚିହ୍ନଟ କରିବା ପାଇଁ ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟର ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉପକରଣ ବ୍ୟବହାର କରିବା ଆବଶ୍ୟକ। ଏକକ ଅକ୍ଷ ବାୟୁ ଭାସମାନ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ସଠିକତା ଗତି ମଡ୍ୟୁଲର ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟରର ଗତି ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ, ଯାହା ଉପ-ମାଇକ୍ରୋନ୍ ସ୍ଥିତିକରଣ ସଠିକତା ଅନୁଭବ କରିପାରିବ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ ସଠିକ୍ ତଥ୍ୟ ସମର୍ଥନ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, ଲେଜର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଉପକରଣରେ, ଲେଜର ବିମର ସ୍କାନିଂ ପଥକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଗତି ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ବ୍ୟବହାର କରିବା ମଧ୍ୟ ଆବଶ୍ୟକ, ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଲେଜର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ବାୟୁ ଭାସମାନ ଗତି ମଡ୍ୟୁଲର ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର ଏହି ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ।

ସଠିକ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ୧୪


ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଏପ୍ରିଲ-୦୭-୨୦୨୫