ବିଶ୍ୱ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପ ବର୍ତ୍ତମାନ "ଆଙ୍ଗଷ୍ଟ୍ରୋମ୍ ଯୁଗ"ର ଏକ ନିରନ୍ତର ଅନୁସନ୍ଧାନରେ ନିୟୋଜିତ, ଯେଉଁଠାରେ ଟ୍ରାଞ୍ଜିଷ୍ଟର ପରିମାଣ କେବଳ କିଛି ପରମାଣୁର ପ୍ରସ୍ଥରେ ମାପ କରାଯାଏ। ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଏବଂ ନିରୀକ୍ଷଣ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ଏହି ଅଣୁବୀକ୍ଷଣିକ ସ୍କେଲକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହେବା ସହିତ, ଗଠନାତ୍ମକ ସ୍ଥିରତାର ଚାହିଦା "ମାକ୍ରୋ" ରୁ "ନାନୋ"କୁ ସ୍ଥାନାନ୍ତରିତ ହୋଇଛି। ଏହି ବିପ୍ଳବର କେନ୍ଦ୍ରରେ ଏକ ସାମଗ୍ରୀ ଅଛି ଯାହା ପୃଥିବୀ ପରି ପ୍ରାଚୀନ: ପ୍ରିସିସନ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍।
ଅନେକ ଲୋକ ଗ୍ରାନାଇଟ୍କୁ ଏକ ସରଳ ପଥର ଭାବରେ ଦେଖନ୍ତି, କିନ୍ତୁ ଏକ ପରିପ୍ରେକ୍ଷୀରେନାନୋପୋଜିସନିଂ ପର୍ଯ୍ୟାୟକିମ୍ବା ଏକ ହାଇ-ସ୍ପିଡ୍ ୱେଫର ନିରୀକ୍ଷଣ ପ୍ରଣାଳୀ, ଏହା ଏକ ସୁସଂସ୍କୃତ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ସେରାମିକ୍। ସିଲିକନ୍ ନିର୍ମାଣରେ ସମ୍ଭବ ସୀମାକୁ ଆଗକୁ ବଢାଇବାକୁ ଚାହୁଁଥିବା OEM ପାଇଁ ମୌଳିକ ମେଟ୍ରୋଲୋଜି ଉପକରଣ ଏବଂ ଉନ୍ନତ ଗତି ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ମଧ୍ୟରେ ପାର୍ଥକ୍ୟ ବୁଝିବା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଜରୁରୀ।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ CMM ବନାମ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ଲେଟ୍: ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ପରିବର୍ତ୍ତନକୁ ବୁଝିବା
ଅନେକ ଗୁଣବତ୍ତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପରୀକ୍ଷାଗାରରେ,ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ଲେଟ୍ଏହା ଏକ ସର୍ବବ୍ୟାପୀ ଫିକ୍ସଚର - ମାନୁଆଲ୍ ମାପ ପାଇଁ ଏକ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ, ସମତଳ ସନ୍ଦର୍ଭ। ତଥାପି, ଏକ ସାଧାରଣ ଭୁଲ ଧାରଣା ଅଛି ଯେ ଏକ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ଲେଟ୍ ଏବଂ ଏକ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ CMM (ସମନ୍ୱୟ ମାପ ମେସିନ୍) ଆଧାର ବିନିମୟଯୋଗ୍ୟ। ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ଦୃଷ୍ଟିକୋଣରୁ, ସେମାନେ ଦୁଇଟି ଭିନ୍ନ ସ୍ତରର ଜଟିଳତାକୁ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରନ୍ତି।
ଏକ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ଲେଟ୍ ସ୍ଥିର ସ୍ଥିରତା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି। ଏହାର ପ୍ରାଥମିକ କାମ ହେଉଛି ଏକ ସ୍ଥିର ଭାର ତଳେ ସମତଳ ରହିବା। ବିପରୀତରେ, ଏକ CMM କିମ୍ବା ଏକ ପ୍ରିସିସନ୍ ଷ୍ଟେଜ୍ ପାଇଁ ଏକ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ଗତିଶୀଳ ଭାରକୁ ପରିଚାଳନା କରିବା ଆବଶ୍ୟକ। ଯେହେତୁ ଏକ CMMର ସେତୁ ଗତି କରେ କିମ୍ବା ଏକ ରେଖୀୟ ମୋଟର ଅନେକ Gs ରେ ଏକ ୱେଫର ଷ୍ଟେଜ୍ କୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ କରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ କେବଳ ବଙ୍କା ନୁହେଁ, ବରଂ ଟର୍ସନ୍ ଏବଂ ହାର୍ମୋନିକ୍ ରେଜୋନାନ୍ସକୁ ମଧ୍ୟ ପ୍ରତିରୋଧ କରିବା ଉଚିତ।
ZHHIMG ଇଞ୍ଜିନିୟରମାନେ ଏହାର ଅଧିକ ଘନତା ଏବଂ ସୂକ୍ଷ୍ମ ଶସ୍ୟ ଗଠନ ଯୋଗୁଁ ଗତିଶୀଳ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ବିଶେଷ ଭାବରେ "କଳା ଗ୍ରାନାଇଟ୍" ଚୟନ କରନ୍ତି। ଯଦିଓ ଏକ ମାନକ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ଲେଟ୍ ଅଧିକ ଛିଦ୍ରଯୁକ୍ତ ପ୍ରକାର ବ୍ୟବହାର କରିପାରେ, ଏକ CMM ଆଧାରକୁ ସର୍ବାଧିକ ସମ୍ଭାବ୍ୟ ୟଙ୍ଗ୍ସ ମଡ୍ୟୁଲସ୍ ଆବଶ୍ୟକ ହୁଏ ଯାହା ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ଉଚ୍ଚ-ଗତି ଗତିର "ସ୍ନାପ୍" ଗଠନାତ୍ମକ ରିଙ୍ଗିଂରେ ଅନୁବାଦିତ ନ ହୁଏ ଯାହା ମାପ ତଥ୍ୟକୁ ନଷ୍ଟ କରିବ।
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ ସଠିକତା ପର୍ଯ୍ୟାୟ: ଉତ୍ପାଦନର ମୂଳଦୁଆ
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନରେ, ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ଏବଂ ଉପଜ ଦୁଇଟି ସବୁଠାରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ମାପଦଣ୍ଡ। ଉଭୟ ସିଧାସଳଖ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉପରେ ନିର୍ଭରଶୀଳସଠିକତା ପର୍ଯ୍ୟାୟଗୁଡ଼ିକ। ଏହା ଏକ DUV/EUV ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନରେ ୱେଫର ପର୍ଯ୍ୟାୟ ହେଉ କିମ୍ବା ଏକ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ନିରୀକ୍ଷଣ (AOI) ଉପକରଣରେ ସ୍ଥିତିକରଣ ପ୍ରଣାଳୀ ହେଉ, ମୂଳ ସାମଗ୍ରୀକୁ ସବ୍-ନାନୋମିଟର ପୁନରାବୃତ୍ତିକୁ ସହଜ କରିବା ଉଚିତ।
ଫ୍ୟାବ୍ରେ ପ୍ରାଥମିକ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜ ହେଉଛି ତାପ। ରେଖୀୟ ମୋଟର ଏବଂ ଆକ୍ଟୁଏଟରଗୁଡ଼ିକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ତାପଜ ଶକ୍ତି ଉତ୍ପନ୍ନ କରନ୍ତି। ଯଦି ଷ୍ଟେଜ୍ ବେସ୍ ଆଲୁମିନିୟମ୍ କିମ୍ବା ଷ୍ଟିଲ୍ରେ ତିଆରି ହୋଇଥାନ୍ତା, ତେବେ ଫଳସ୍ୱରୂପ ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଯୋଗୁଁ ୱେଫର ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟରୁ ବାହାରକୁ ଚାଲିଯିବ, ଯାହା "ଓଭରଲେ ତ୍ରୁଟି" ସୃଷ୍ଟି କରିବ ଯାହା ଚିପ୍ସର ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ବ୍ୟାଚ୍କୁ ନଷ୍ଟ କରିଦେବ।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର ଅତ୍ୟନ୍ତ କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ (CTE) ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ମୋଟରଗୁଡ଼ିକ ଗରମ ହେଲେ ମଧ୍ୟ, ପର୍ଯ୍ୟାୟର ଭୌତିକ "ନକ୍ସା" ସ୍ଥିର ରହିଥାଏ। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, ZHHIMG ସମନ୍ୱିତ ବାୟୁ ବହନ ଉପାୟ ସହିତ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଉପାଦାନ ପ୍ରଦାନ କରେ। କାରଣ ଗ୍ରାନାଇଟ୍କୁ ଦର୍ପଣ ପରି ସମତଳତାରେ ଲଗାଯାଇପାରିବ, ଏହା ବାୟୁ ବହନ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ପ୍ରତିମୁଖ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ, ଷ୍ଟେଜ୍ଗୁଡ଼ିକୁ ଶୂନ୍ୟ ଘର୍ଷଣ ଏବଂ ଶୂନ୍ୟ ଷ୍ଟିକ୍ସନ୍ ସହିତ ପତଳା ବାୟୁ ଫିଲ୍ମ ଉପରେ "ଭାସମାନ" ହେବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ।
ନାନୋପୋଜିସନିଂ ଷ୍ଟେଜ୍ ବେସର ଭୌତିକ ବିଜ୍ଞାନ
ଯେତେବେଳେ ଆମେ ଏହି କ୍ଷେତ୍ରରେ ପ୍ରବେଶ କରୁନାନୋପୋଜିସନିଂ ପର୍ଯ୍ୟାୟ, ଆମେ ମଣିଷ କେଶଠାରୁ ୧୦,୦୦୦ ଗୁଣକ କମ୍ ଗତିବିଧି ସହିତ ମୁକାବିଲା କରୁଛୁ। ଏହି ସ୍ତରରେ, କମ୍ପନ ହେଉଛି ଶତ୍ରୁ। HVAC ସିଷ୍ଟମ, ପାଦ ଯାତାୟାତ ଏବଂ ନିକଟବର୍ତ୍ତୀ ଯନ୍ତ୍ରପାତି ଯୋଗୁଁ ମାନକ ଶିଳ୍ପ ମହଲାଗୁଡ଼ିକ ନିରନ୍ତର କମ୍ପିତ ହୁଏ।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଏକ ବିଶାଳ ନିମ୍ନ-ପାସ୍ ଫିଲ୍ଟର ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। ଏହାର ଉଚ୍ଚ ବସ୍ତୁତ୍ୱ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଡମ୍ପିଂ ଯୋଗୁଁ, ଏହା ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ସେନ୍ସର କିମ୍ବା ୱେଫରରେ ପହଞ୍ଚିବା ପୂର୍ବରୁ ପ୍ରାକୃତିକ ଭାବରେ ଉଚ୍ଚ-ଆବୃତ୍ତି କମ୍ପନଗୁଡ଼ିକୁ ଶୋଷଣ କରେ। ଏହି "ନିଷ୍କ୍ରିୟ ବିଚ୍ଛିନ୍ନତା" ହେଉଛି କାରଣ ବିଶ୍ୱର ପ୍ରମୁଖ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଯୋଗାଣକାରୀମାନେ ସେମାନଙ୍କର ଭାକ୍ୟୁମ୍-ସୁସଙ୍ଗତ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ପାଇଁ ଭାରୀ, ସ୍ଥିର ଭିତ୍ତିଭୂମି ପ୍ରଦାନ କରିବା ପାଇଁ ZHHIMG ଉପରେ ନିର୍ଭର କରନ୍ତି। ଆମର ଗ୍ରାନାଇଟ୍କୁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଭାବରେ ଶୂନ୍ୟ ଗ୍ୟାସିଂ ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଚିକିତ୍ସା କରାଯାଇଛି, ଯାହା ଏହାକୁ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍-ବିମ୍ ଏବଂ EUV ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ଉଚ୍ଚ-ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏ।
ସୀମା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଲ୍ୟାପିଂ: ZHHIMG ସୁବିଧା
ପଥରର ଏକ କଞ୍ଚା ଖଣ୍ଡରୁ ଏକ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ-ଗ୍ରେଡ୍ ଉପାଦାନକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଧୈର୍ଯ୍ୟର ଏକ ଯାତ୍ରା। CNC ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଆମକୁ ନିକଟତର କରିଥାଏ, କିନ୍ତୁ ହାତ-ଲାପିଂ ମାଧ୍ୟମରେ ଅନ୍ତିମ "ସୁପର-ପ୍ରିସିସନ୍" ଗ୍ରେଡ୍ ହାସଲ କରାଯାଏ। ଏହା ଏକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଯେଉଁଠାରେ ZHHIMG ଟେକ୍ନିସିଆନ୍ମାନେ ଏକ ସମୟରେ ଏକ ମାଇକ୍ରୋନର ଭଗ୍ନାଂଶକୁ କାଟିବା ପାଇଁ ଘୃଣ୍ୟ ପେଷ୍ଟ ଏବଂ ମାନୁଆଲ୍ ଗତି ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି।
ଏକ ପାଇଁନାନୋପୋଜିସନିଂ ପର୍ଯ୍ୟାୟ, ସମତଳତା ଏକମାତ୍ର ଆବଶ୍ୟକତା ନୁହେଁ; ଗାଇଡ୍ ପୃଷ୍ଠଗୁଡ଼ିକର ସମାନ୍ତରାଳତା ଏବଂ ଲମ୍ବତା ସମାନ ଭାବରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ। ଆମର ସୁବିଧା ପ୍ରତ୍ୟେକ ଅକ୍ଷକୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ସଂଲଗ୍ନ କରାଯାଇଛି କି ନାହିଁ ତାହା ଯାଞ୍ଚ କରିବା ପାଇଁ 0.1 ଆର୍କ-ସେକେଣ୍ଡର ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ ସହିତ ଲେଜର ଟ୍ରାକର ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସ୍ତର ବ୍ୟବହାର କରେ। ଏହି ସ୍ତରର କାରିଗରୀ ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ଯେତେବେଳେ ଜଣେ ଗ୍ରାହକ ସେମାନଙ୍କର ରେଖୀୟ ମୋଟର ଏବଂ ଏନକୋଡରଗୁଡ଼ିକୁ ମାଉଣ୍ଟ କରନ୍ତି, ସେତେବେଳେ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଭିତ୍ତିଭୂମି "ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ" ର ନିକଟତର ହୋଇଥାଏ ଯେପରି ଭୌତିକ ବିଜ୍ଞାନ ଅନୁମତି ଦିଏ।
ଫ୍ୟାବ୍କୁ ଭବିଷ୍ୟତ-ପ୍ରମାଣିତ କରିବା
ଶିଳ୍ପ 2nm ନୋଡ୍ ଏବଂ ତା'ପର ଆଡ଼କୁ ଗତି କରିବା ସହିତ, ସାମଗ୍ରୀର ଶୁଦ୍ଧତା ଏବଂ ପରିମାଣିକ ସ୍ଥିରତା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତା କେବଳ ତୀବ୍ର ହେବ। ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉନ୍ନତ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର ସମନ୍ୱୟ - ଯେପରିକି କାର୍ବନ ଫାଇବର ବ୍ରିଜ୍ କିମ୍ବା ସିରାମିକ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍ - ଗତି ନିୟନ୍ତ୍ରଣର ପରବର୍ତ୍ତୀ ସୀମା।
ZHHIMG କେବଳ ଏକ ଯୋଗାଣକାରୀ ନୁହେଁ; ଆମେ ବିଶ୍ୱ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଯୋଗାଣ ଶୃଙ୍ଖଳରେ ଏକ ସହଯୋଗୀ ଅଂଶୀଦାର। ପରବର୍ତ୍ତୀ ପିଢ଼ିର ସଠିକତା ପର୍ଯ୍ୟାୟ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଷ୍ଟେବଲ୍ ଭିତ୍ତିଭୂମି ପ୍ରଦାନ କରି, ଆମେ ଭବିଷ୍ୟତ ନିର୍ମାଣ କରୁଥିବା ମେସିନ୍ ନିର୍ମାଣ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରୁଛୁ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଫେବୃଆରୀ-୦୨-୨୦୨୬