ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷେତ୍ରରେ, ଯାହା ସର୍ବୋଚ୍ଚ ସଠିକତା ଅନୁସରଣ କରେ, ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ ହେଉଛି ଉତ୍ପାଦର ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ସ୍ଥିରତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରୁଥିବା ମୁଖ୍ୟ ପାରାମିଟର ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ। ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି, ଏଚିଂ ଠାରୁ ପ୍ୟାକେଜିଂ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସମଗ୍ର ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ସାମଗ୍ରୀର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କରେ ଥିବା ପାର୍ଥକ୍ୟ ବିଭିନ୍ନ ଉପାୟରେ ଉତ୍ପାଦନ ସଠିକତାରେ ବାଧା ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ। ତଥାପି, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର, ଏହାର ଅତ୍ୟଧିକ-ନିମ୍ନ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ ସହିତ, ଏହି ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ପାଇଁ ଚାବିକାଠି ପାଲଟିଛି।
ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟା: ତାପଜ ବିକୃତି ପ୍ୟାଟର୍ନ ବିଚ୍ୟୁତିର କାରଣ ହୁଏ।
ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ହେଉଛି ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନର ଏକ ମୁଖ୍ୟ ପଦକ୍ଷେପ। ଏକ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ମାଧ୍ୟମରେ, ମାସ୍କରେ ଥିବା ସର୍କିଟ୍ ପ୍ୟାଟର୍ନଗୁଡ଼ିକୁ ଫଟୋରେଜିଷ୍ଟ ଦ୍ୱାରା ଆବୃତ ୱାଫରର ପୃଷ୍ଠକୁ ସ୍ଥାନାନ୍ତରିତ କରାଯାଏ। ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ, ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ଭିତରେ ତାପଜ ପରିଚାଳନା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟସାରଣୀର ସ୍ଥିରତା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ। ଉଦାହରଣ ଭାବରେ ପାରମ୍ପରିକ ଧାତୁ ସାମଗ୍ରୀକୁ ନିଅନ୍ତୁ। ସେମାନଙ୍କର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ ପ୍ରାୟ 12×10⁻⁶/℃। ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ କାର୍ଯ୍ୟ ସମୟରେ, ଲେଜର ଆଲୋକ ଉତ୍ସ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଲେନ୍ସ ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହେଉଥିବା ଉତ୍ତାପ ଉପକରଣର ତାପମାତ୍ରା 5-10 ℃ ବୃଦ୍ଧି କରିବ। ଯଦି ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ କାର୍ଯ୍ୟସାରଣୀ ଏକ ଧାତୁ ଆଧାର ବ୍ୟବହାର କରେ, ତେବେ 1-ମିଟର ଲମ୍ବା ଆଧାର 60-120 μm ର ପ୍ରସାରଣ ବିକୃତି ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ, ଯାହା ମାସ୍କ ଏବଂ ୱାଫର ମଧ୍ୟରେ ଆପେକ୍ଷିକ ସ୍ଥିତିରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଆଣିବ।
ଉନ୍ନତ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ (ଯେପରିକି 3nm ଏବଂ 2nm), ଟ୍ରାଞ୍ଜିଷ୍ଟର ବ୍ୟବଧାନ କେବଳ କିଛି ନାନୋମିଟର। ଏତେ ଛୋଟ ତାପଜ ବିକୃତି ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ୟାଟର୍ନକୁ ଭୁଲ ଭାବରେ ସଂଯୁକ୍ତ କରିବା ପାଇଁ ଯଥେଷ୍ଟ, ଯାହା ଅସ୍ୱାଭାବିକ ଟ୍ରାଞ୍ଜିଷ୍ଟର ସଂଯୋଗ, ସର୍ଟ ସର୍କିଟ୍ କିମ୍ବା ଖୋଲା ସର୍କିଟ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସମସ୍ୟା ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଯାହା ସିଧାସଳଖ ଚିପ୍ କାର୍ଯ୍ୟର ବିଫଳତା ସୃଷ୍ଟି କରେ। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରର ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ 0.01μm/°C (ଅର୍ଥାତ୍, (1-2) ×10⁻⁶/℃) ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ କମ୍, ଏବଂ ସମାନ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନରେ ବିକୃତି ଧାତୁର କେବଳ 1/10-1/5। ଏହା ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ ପାଇଁ ଏକ ସ୍ଥିର ଲୋଡ୍-ବ୍ୟାରିଂ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ, ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ୟାଟର୍ନର ସଠିକ୍ ସ୍ଥାନାନ୍ତରଣ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରି ଏବଂ ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନର ଉତ୍ପାଦନକୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ଉନ୍ନତ କରି।
ଖୋଦନ ଏବଂ ଜମା: ଗଠନର ପରିମାଣିକ ସଠିକତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ
ୱେଫର ପୃଷ୍ଠରେ ତ୍ରି-ପରିମାଣ ସର୍କିଟ୍ ଗଠନ ନିର୍ମାଣ ପାଇଁ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ଏବଂ ଡିପୋଜିସନ୍ ହେଉଛି ପ୍ରମୁଖ ପ୍ରକ୍ରିୟା। ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ, ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଗ୍ୟାସ୍ ୱେଫରର ପୃଷ୍ଠ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ଏକ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଦେଇଥାଏ। ଏହି ସମୟରେ, ଉପକରଣ ଭିତରେ RF ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ ପ୍ରବାହ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଭଳି ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ଉତ୍ତାପ ସୃଷ୍ଟି କରନ୍ତି, ଯାହା ୱେଫର ଏବଂ ଉପକରଣ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ତାପମାତ୍ରା ବୃଦ୍ଧି ପାଏ। ଯଦି ୱେଫର ବାହକ କିମ୍ବା ଉପକରଣ ଆଧାରର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ ୱେଫର ସହିତ ମେଳ ଖାଏ ନାହିଁ (ସିଲିକନ୍ ସାମଗ୍ରୀର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ ପ୍ରାୟ 2.6×10⁻⁶/℃), ତେବେ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନ ହେଲେ ତାପଜ ଚାପ ସୃଷ୍ଟି ହେବ, ଯାହା ୱେଫର ପୃଷ୍ଠରେ ଛୋଟ ଫାଟ କିମ୍ବା ୱାର୍ପିଙ୍ଗ୍ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ।
ଏହି ପ୍ରକାରର ବିକୃତି ପାର୍ଶ୍ୱ କାନ୍ଥର ଏଚିଂ ଗଭୀରତା ଏବଂ ଉଲ୍ଲମ୍ବତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିବ, ଯାହା ଫଳରେ ଏଚିଂ ଗ୍ରୁଭ୍ଗୁଡ଼ିକର ପରିମାପ, ଗାତ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଗଠନ ମାଧ୍ୟମରେ ଡିଜାଇନ୍ ଆବଶ୍ୟକତାରୁ ବିଚ୍ୟୁତ ହେବ। ସେହିପରି, ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ତାପଜ ପ୍ରସାରଣରେ ପାର୍ଥକ୍ୟ ଜମା ହୋଇଥିବା ପତଳା ଫିଲ୍ମରେ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଚାପ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ, ଯାହା ଫିଲ୍ମର ଫାଟିବା ଏବଂ ପିଲିଂ ଭଳି ସମସ୍ୟା ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ, ଯାହା ବୈଦ୍ୟୁତିକ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଚିପ୍ର ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ। ସିଲିକନ୍ ସାମଗ୍ରୀ ପରି ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ ସହିତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର ବ୍ୟବହାର ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ତାପଜ ଚାପକୁ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ ଏବଂ ଏଚିଂ ଏବଂ ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ସଠିକତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିପାରିବ।
ପ୍ୟାକେଜିଂ ପର୍ଯ୍ୟାୟ: ତାପଜ ଅସଙ୍ଗତତା ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ସମସ୍ୟା ସୃଷ୍ଟି କରେ।
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ୟାକେଜିଂ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ, ଚିପ୍ ଏବଂ ପ୍ୟାକେଜିଂ ସାମଗ୍ରୀ (ଯେପରିକି ଇପୋକ୍ସି ରେଜିନ୍, ସେରାମିକ୍, ଇତ୍ୟାଦି) ମଧ୍ୟରେ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କର ସୁସଙ୍ଗତତା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ। ଚିପ୍ସର ମୂଳ ସାମଗ୍ରୀ ସିଲିକନର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ ତୁଳନାତ୍ମକ ଭାବରେ କମ୍, ଯେତେବେଳେ ଅଧିକାଂଶ ପ୍ୟାକେଜିଂ ସାମଗ୍ରୀର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ ତୁଳନାତ୍ମକ ଭାବରେ ଅଧିକ। ବ୍ୟବହାର ସମୟରେ ଚିପର ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନ ହେଲେ, ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କର ମେଳ ନ ଥିବାରୁ ଚିପ୍ ଏବଂ ପ୍ୟାକେଜିଂ ସାମଗ୍ରୀ ମଧ୍ୟରେ ତାପଜ ଚାପ ସୃଷ୍ଟି ହେବ।
ଏହି ତାପଜ ଚାପ, ବାରମ୍ବାର ତାପମାତ୍ରା ଚକ୍ର (ଯେପରିକି ଚିପ୍ କାର୍ଯ୍ୟ ସମୟରେ ଗରମ ଏବଂ ଶୀତଳୀକରଣ) ର ପ୍ରଭାବରେ, ଚିପ୍ ଏବଂ ପ୍ୟାକେଜିଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ସୋଲଡର ସନ୍ଧିଗୁଡିକର କ୍ଳାନ୍ତି ଫାଟିପାରେ, କିମ୍ବା ଚିପ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଥିବା ବନ୍ଧନ ତାରଗୁଡିକ ପଡ଼ିପାରେ, ଯାହା ଶେଷରେ ଚିପ୍ ର ବୈଦ୍ୟୁତିକ ସଂଯୋଗ ବିଫଳ ହୁଏ। ସିଲିକନ୍ ସାମଗ୍ରୀର ସମକକ୍ଷ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ ସହିତ ପ୍ୟାକେଜିଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ବାଛିବା ଏବଂ ପ୍ୟାକେଜିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ସଠିକତା ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ସହିତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପରୀକ୍ଷଣ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ବ୍ୟବହାର କରି, ତାପଜ ଅସମେଳ ସମସ୍ୟାକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରାଯାଇପାରିବ, ପ୍ୟାକେଜିଂର ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତାକୁ ଉନ୍ନତ କରାଯାଇପାରିବ ଏବଂ ଚିପ୍ ର ସେବା ଜୀବନକୁ ଦୀର୍ଘ କରାଯାଇପାରିବ।
ଉତ୍ପାଦନ ପରିବେଶ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ: ଉପକରଣ ଏବଂ କାରଖାନା କୋଠାଗୁଡ଼ିକର ସମନ୍ୱିତ ସ୍ଥିରତା
ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ସିଧାସଳଖ ପ୍ରଭାବିତ କରିବା ସହିତ, ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ ମଧ୍ୟ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ କାରଖାନାଗୁଡ଼ିକର ସାମଗ୍ରିକ ପରିବେଶ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ସହିତ ଜଡିତ। ବଡ଼ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ କର୍ମଶାଳାରେ, ଏୟାର କଣ୍ଡିସନିଂ ସିଷ୍ଟମର ଆରମ୍ଭ ଏବଂ ବନ୍ଦ ଏବଂ ଉପକରଣ କ୍ଲଷ୍ଟରଗୁଡ଼ିକର ଉତ୍ତାପ ଅପଚୟ ପରି କାରଣଗୁଡ଼ିକ ପରିବେଶର ତାପମାତ୍ରାରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଆଣିପାରେ। ଯଦି କାରଖାନା ମହଲା, ଉପକରଣ ଆଧାର ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଭିତ୍ତିଭୂମିର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ ଅତ୍ୟଧିକ ଅଧିକ ଥାଏ, ତେବେ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନ ମହଲାରେ ଫାଟ ସୃଷ୍ଟି କରିବ ଏବଂ ଉପକରଣ ମୂଳଦୁଆ ସ୍ଥାନାନ୍ତରିତ ହେବ, ଯାହା ଫଳରେ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ଏବଂ ଏଚିଂ ମେସିନ୍ ଭଳି ସଠିକତା ଉପକରଣର ସଠିକତା ପ୍ରଭାବିତ ହେବ।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରକୁ ଉପକରଣ ସମର୍ଥନ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରି ଏବଂ କମ୍ ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ ସହିତ କାରଖାନା ନିର୍ମାଣ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ମିଶ୍ରଣ କରି, ଏକ ସ୍ଥିର ଉତ୍ପାଦନ ପରିବେଶ ସୃଷ୍ଟି କରାଯାଇପାରିବ, ପରିବେଶଗତ ତାପଜ ବିକୃତି ଯୋଗୁଁ ଉପକରଣ କାଲିବ୍ରେସନ୍ ଏବଂ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଖର୍ଚ୍ଚର ଆବୃତ୍ତି ହ୍ରାସ କରାଯାଇପାରିବ ଏବଂ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉତ୍ପାଦନ ଲାଇନର ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ସ୍ଥିର କାର୍ଯ୍ୟ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରାଯାଇପାରିବ।
ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନର ସମଗ୍ର ଜୀବନଚକ୍ର ଦେଇ ଗତି କରେ, ସାମଗ୍ରୀ ଚୟନ, ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଠାରୁ ପ୍ୟାକେଜିଂ ଏବଂ ପରୀକ୍ଷଣ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ। ପ୍ରତ୍ୟେକ ଲିଙ୍କରେ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ପ୍ରଭାବକୁ କଡ଼ାକଡ଼ି ଭାବରେ ବିଚାର କରାଯିବା ଆବଶ୍ୟକ। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର, ସେମାନଙ୍କର ଅତ୍ୟଧିକ-ନିମ୍ନ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଗୁଣାଙ୍କ ସହିତ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଏକ ସ୍ଥିର ଭୌତିକ ଭିତ୍ତିଭୂମି ପ୍ରଦାନ କରେ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ଆଡ଼କୁ ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ବିକାଶକୁ ପ୍ରୋତ୍ସାହିତ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି ହୋଇଯାଏ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମଇ-୨୦-୨୦୨୫