ୱେଫର ଯାଞ୍ଚ ଉପକରଣ ଚୟନ ମାର୍ଗଦର୍ଶିକା: ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଏବଂ କାଷ୍ଟ ଲୁହା ମଧ୍ୟରେ ଏକ 10-ବର୍ଷିଆ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା ତୁଳନା।


ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ନିର୍ମାଣ କ୍ଷେତ୍ରରେ, ୱାଫର ଯାଞ୍ଚ ଉପକରଣର ସଠିକତା ସିଧାସଳଖ ଚିପ୍ସର ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ। ମୂଳ ଚିହ୍ନଟ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ସମର୍ଥନ କରୁଥିବା ଭିତ୍ତିଭୂମି ଭାବରେ, ଉପକରଣ ଆଧାର ସାମଗ୍ରୀର ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ସ୍ଥିରତା ଉପକରଣର ଦୀର୍ଘକାଳୀନ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମତାରେ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରେ। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଏବଂ କାଷ୍ଟ ଲୁହା ହେଉଛି ୱାଫର ଯାଞ୍ଚ ଉପକରଣ ପାଇଁ ଦୁଇଟି ସାଧାରଣତଃ ବ୍ୟବହୃତ ମୂଳ ସାମଗ୍ରୀ। ଏକ 10 ବର୍ଷର ତୁଳନାତ୍ମକ ଅଧ୍ୟୟନ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ସ୍ଥିରତା ଦୃଷ୍ଟିରୁ ସେମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପାର୍ଥକ୍ୟ ପ୍ରକାଶ କରିଛି, ଯାହା ଉପକରଣ ଚୟନ ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ସନ୍ଦର୍ଭ ପ୍ରଦାନ କରୁଛି। ​
ପରୀକ୍ଷାମୂଳକ ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଏବଂ ଡିଜାଇନ୍
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ୱେଫରଗୁଡ଼ିକର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଚିହ୍ନଟ ସଠିକତା ପାଇଁ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଉଚ୍ଚ ଆବଶ୍ୟକତା ରହିଛି। ଏକ ମାଇକ୍ରୋମିଟର-ସ୍ତରୀୟ ଡାଇମେନ୍ସନ୍ଲ ବିଚ୍ୟୁତି ମଧ୍ୟ ଚିପ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାରେ ହ୍ରାସ କିମ୍ବା ସ୍କ୍ରାପିଂ ମଧ୍ୟ ହୋଇପାରେ। ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ବ୍ୟବହାର ସମୟରେ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଏବଂ କାଷ୍ଟ ଲୁହାର ଡାଇମେନ୍ସନ୍ଲ ସ୍ଥିରତା ଅନୁସନ୍ଧାନ କରିବା ପାଇଁ, ଗବେଷଣା ଦଳ ଏପରି ପରୀକ୍ଷଣ ଡିଜାଇନ୍ କରିଥିଲେ ଯାହା ପ୍ରକୃତ କାର୍ଯ୍ୟ ପରିବେଶକୁ ସିମୁଲେଟ୍ କରିଥିଲା। ସମାନ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣର ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଏବଂ କାଷ୍ଟ ଲୁହା ନମୁନାଗୁଡ଼ିକୁ ଚୟନ କରାଯାଇ ଏକ ପରିବେଶଗତ ଚାମ୍ବରରେ ରଖାଯାଇଥିଲା ଯେଉଁଠାରେ ତାପମାତ୍ରା 15℃ ରୁ 35℃ ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତା 30% ରୁ 70% RH ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହେଉଥିଲା। ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକର କାର୍ଯ୍ୟ ସମୟରେ ଯାନ୍ତ୍ରିକ କମ୍ପନ ଏକ କମ୍ପନ ଟେବୁଲ୍ ମାଧ୍ୟମରେ ସିମୁଲେଟ୍ କରାଯାଇଥିଲା। ନମୁନାଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରମୁଖ ପରିମାଣ ପ୍ରତି ତ୍ରୟମାସରେ ଏକ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଲେଜର ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟର ବ୍ୟବହାର କରି ମାପ କରାଯାଇଥିଲା ଏବଂ ତଥ୍ୟ 10 ବର୍ଷ ପାଇଁ ନିରନ୍ତର ରେକର୍ଡ କରାଯାଇଥିଲା।

ସଠିକ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ୬୦
ପରୀକ୍ଷାମୂଳକ ଫଳାଫଳ: ଗ୍ରାନାଇଟ୍‌ର ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଲାଭ
ଦଶ ବର୍ଷର ପରୀକ୍ଷାମୂଳକ ତଥ୍ୟ ଦର୍ଶାଉଛି ଯେ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଆଶ୍ଚର୍ଯ୍ୟଜନକ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ। ଏହାର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ ଅତ୍ୟନ୍ତ କମ୍, ହାରାହାରି କେବଳ 4.6×10⁻⁶/℃। ପ୍ରବଳ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନରେ, ପରିମାଣିକ ବିଚ୍ୟୁତି ସର୍ବଦା ±0.001mm ମଧ୍ୟରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହୁଏ। ଆର୍ଦ୍ରତା ପରିବର୍ତ୍ତନର ସମ୍ମୁଖୀନ ହେଲେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍‌ର ଘନ ଗଠନ ଏହାକୁ ପ୍ରାୟ ଅପ୍ରଭାବିତ କରିଥାଏ, ଏବଂ କୌଣସି ମାପଯୋଗ୍ୟ ପରିମାଣିକ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଘଟେ ନାହିଁ। ଏକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ କମ୍ପନ ପରିବେଶରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍‌ର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଡମ୍ପିଂ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ କମ୍ପନ ଶକ୍ତି ଶୋଷଣ କରେ, ଏବଂ ପରିମାଣିକ ଅସ୍ଥିରତା ଅତ୍ୟନ୍ତ କ୍ଷୁଦ୍ର।
ବିପରୀତରେ, କାଷ୍ଟ ଲୁହା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପାଇଁ, ଏହାର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ହାରାହାରି ଗୁଣାଙ୍କ 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃ ରେ ପହଞ୍ଚିଥାଏ, ଏବଂ 10 ବର୍ଷ ମଧ୍ୟରେ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନ ଯୋଗୁଁ ସର୍ବାଧିକ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ବିଚ୍ୟୁତି ±0.05mm ହୋଇଥାଏ। ଏକ ଆର୍ଦ୍ର ପରିବେଶରେ, କାଷ୍ଟ ଲୁହା କଳଙ୍କି ଏବଂ କ୍ଷୟ ହେବାର ସମ୍ଭାବନା ଥାଏ। କିଛି ନମୁନା ସ୍ଥାନୀୟ ବିକୃତି ଦେଖାଏ, ଏବଂ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ବିଚ୍ୟୁତି ଆହୁରି ବୃଦ୍ଧି ପାଏ। ଯାନ୍ତ୍ରିକ କମ୍ପନର ପ୍ରଭାବରେ, କାଷ୍ଟ ଲୁହାର କମ୍ପନ ଡ୍ୟାମ୍ପିଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଖରାପ ଥାଏ ଏବଂ ଏହାର ଆକାର ବାରମ୍ବାର ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ୱେଫର ଯାଞ୍ଚର ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା କଷ୍ଟକର ହୋଇପଡେ। ​
ସ୍ଥିରତାରେ ପାର୍ଥକ୍ୟ ପାଇଁ ଜରୁରୀ କାରଣ
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଶହ ଶହ କୋଟି ବର୍ଷ ଧରି ଭୂତାତ୍ତ୍ୱିକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ଗଠିତ ହୋଇଥିଲା। ଏହାର ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଗଠନ ଘନ ଏବଂ ସମାନ, ଏବଂ ଖଣିଜ ସ୍ଫଟିକଗୁଡ଼ିକ ସ୍ଥିର ଭାବରେ ବ୍ୟବସ୍ଥିତ, ପ୍ରକୃତି ଦ୍ୱାରା ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଚାପକୁ ଦୂର କରେ। ଏହା ଏହାକୁ ତାପମାତ୍ରା, ଆର୍ଦ୍ରତା ଏବଂ କମ୍ପନ ଭଳି ବାହ୍ୟ କାରଣଗୁଡ଼ିକରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ପ୍ରତି ଅତ୍ୟନ୍ତ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ କରିଥାଏ। କାଷ୍ଟ ଲୁହା କାଷ୍ଟିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଦ୍ୱାରା ତିଆରି ହୋଇଥାଏ ଏବଂ ଭିତରେ ଛିଦ୍ର ଏବଂ ବାଲି ଗାତ ଭଳି ଅଣୁବୀକ୍ଷଣିକ ତ୍ରୁଟି ଥାଏ। ଏହି ସମୟରେ, କାଷ୍ଟିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ଅବଶିଷ୍ଟ ଚାପ ବାହ୍ୟ ପରିବେଶର ଉତ୍ତେଜନାରେ ଆୟାମକ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଆଣିବାର ସମ୍ଭାବନା ଥାଏ। କାଷ୍ଟ ଲୁହାର ଧାତୁ ଗୁଣ ଏହାକୁ ଆର୍ଦ୍ରତା ଯୋଗୁଁ କଳଙ୍କି ହେବାର ସମ୍ଭାବନା ଥାଏ, ଗଠନାତ୍ମକ କ୍ଷତିକୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ କରିଥାଏ ଏବଂ ଆୟାମକ ସ୍ଥିରତାକୁ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ।
ୱାଫର ଯାଞ୍ଚ ଉପକରଣ ଉପରେ ପ୍ରଭାବ
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଆଧାରିତ ୱେଫର ନିରୀକ୍ଷଣ ଉପକରଣ, ଏହାର ସ୍ଥିର ଡାଇମେନ୍ସନାଲ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସହିତ, ଏହା ନିଶ୍ଚିତ କରିପାରିବ ଯେ ନିରୀକ୍ଷଣ ପ୍ରଣାଳୀ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ବଜାୟ ରଖିବ, ଉପକରଣ ସଠିକତା ଡ୍ରିଫ୍ଟ ଯୋଗୁଁ ହୋଇଥିବା ଭୁଲ ବିଚାର ଏବଂ ମିସ୍ ହୋଇଥିବା ଚିହ୍ନଟକୁ ହ୍ରାସ କରିବ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦ ଉତ୍ପାଦନକୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ଉନ୍ନତ କରିବ। ଏହି ସମୟରେ, କମ୍ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଆବଶ୍ୟକତା ଉପକରଣର ପୂର୍ଣ୍ଣ ଜୀବନଚକ୍ର ମୂଲ୍ୟକୁ ହ୍ରାସ କରିବ। ଦୁର୍ବଳ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ସ୍ଥିରତା ଯୋଗୁଁ କାଷ୍ଟ ଲୁହା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବ୍ୟବହାର କରୁଥିବା ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକୁ ବାରମ୍ବାର କ୍ୟାଲିବ୍ରେସନ୍ ଏବଂ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଆବଶ୍ୟକ ହେବ। ଏହା କେବଳ ପରିଚାଳନା ଖର୍ଚ୍ଚ ବୃଦ୍ଧି କରେ ନାହିଁ ବରଂ ଅପର୍ଯ୍ୟାପ୍ତ ସଠିକତା ଯୋଗୁଁ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉତ୍ପାଦନର ଗୁଣବତ୍ତାକୁ ମଧ୍ୟ ପ୍ରଭାବିତ କରିପାରେ, ଯାହା ସମ୍ଭାବ୍ୟ ଆର୍ଥିକ କ୍ଷତି ଘଟାଇପାରେ।
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପର ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ଏବଂ ଉନ୍ନତ ଗୁଣବତ୍ତା ହାସଲ କରିବାର ଧାରା ଅନୁଯାୟୀ, ୱେଫର ଯାଞ୍ଚ ଉପକରଣ ପାଇଁ ମୂଳ ସାମଗ୍ରୀ ଭାବରେ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବାଛିବା ନିସନ୍ଦେହରେ ଉପକରଣ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ଏବଂ ଉଦ୍ୟୋଗଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରତିଯୋଗିତାମୂଳକତା ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ଏକ ବୁଦ୍ଧିମାନ ପଦକ୍ଷେପ।

ସଠିକତା ମାପକ ଯନ୍ତ୍ରପାତି


ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମଇ-୧୪-୨୦୨୫