ଆଜି, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପର ଦ୍ରୁତ ବିକାଶ ସହିତ, ଚିପ୍ସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ସଂଯୋଗ ଭାବରେ IC ପରୀକ୍ଷଣ, ଏହାର ସଠିକତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ଚିପ୍ସର ଅମଳ ହାର ଏବଂ ଶିଳ୍ପର ପ୍ରତିଯୋଗିତାକୁ ସିଧାସଳଖ ପ୍ରଭାବିତ କରେ। ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା 3nm, 2nm ଏବଂ ଆହୁରି ଉନ୍ନତ ନୋଡ୍ ଆଡକୁ ଅଗ୍ରସର ହେବା ସହିତ, IC ପରୀକ୍ଷଣ ଉପକରଣରେ ମୂଳ ଉପାଦାନ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତା କ୍ରମଶଃ କଠୋର ହେବାରେ ଲାଗିଛି। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର, ସେମାନଙ୍କର ଅନନ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ଗୁଣ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସୁବିଧା ସହିତ, IC ପରୀକ୍ଷଣ ଉପକରଣ ପାଇଁ ଏକ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ "ସୁବର୍ଣ୍ଣ ଅଂଶୀଦାର" ପାଲଟିଛି। ଏହା ପଛରେ କେଉଁ ବୈଷୟିକ ଯୁକ୍ତି ରହିଛି?
I. ପାରମ୍ପରିକ ଆଧାରର "ସାମର୍ଥ୍ୟ"
IC ପରୀକ୍ଷଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ, ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକୁ ନାନୋସ୍କେଲରେ ଚିପ୍ ପିନ୍ଗୁଡ଼ିକର ବୈଦ୍ୟୁତିକ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା, ସିଗନାଲ ଅଖଣ୍ଡତା ଇତ୍ୟାଦିକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ଚିହ୍ନଟ କରିବାକୁ ପଡିବ। ତଥାପି, ପାରମ୍ପରିକ ଧାତୁ ଆଧାର (ଯେପରିକି କାଷ୍ଟ ଲୁହା ଏବଂ ଇସ୍ପାତ) ବ୍ୟବହାରିକ ପ୍ରୟୋଗରେ ଅନେକ ସମସ୍ୟା ପ୍ରକାଶ କରିଛି।
ଗୋଟିଏ ପଟେ, ଧାତୁ ସାମଗ୍ରୀର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ ତୁଳନାତ୍ମକ ଭାବରେ ଅଧିକ, ସାଧାରଣତଃ 10×10⁻⁶/℃ ଉପରେ। IC ପରୀକ୍ଷଣ ଉପକରଣର କାର୍ଯ୍ୟ ସମୟରେ ଉତ୍ପନ୍ନ ହେଉଥିବା ଉତ୍ତାପ କିମ୍ବା ପରିବେଶର ତାପମାତ୍ରାରେ ସାମାନ୍ୟ ପରିବର୍ତ୍ତନ ମଧ୍ୟ ଧାତୁ ଆଧାରର ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ସଂକୋଚନ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, 1 ମିଟର ଲମ୍ବା କାଷ୍ଟ ଲୁହା ଆଧାର 100μm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ବିସ୍ତାର ଏବଂ ସଙ୍କୁଚିତ ହୋଇପାରେ ଯେତେବେଳେ ତାପମାତ୍ରା 10℃ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ। ଏହିପରି ପରିମାଣ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଚିପ୍ ପିନ୍ ସହିତ ପରୀକ୍ଷା ପ୍ରୋବ୍ କୁ ଭୁଲ ଭାବରେ ସଂଯୋଜିତ କରିବା ପାଇଁ ଯଥେଷ୍ଟ, ଯାହା ଫଳରେ ଖରାପ ସମ୍ପର୍କ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ ଏବଂ ପରବର୍ତ୍ତୀ ସମୟରେ ପରୀକ୍ଷା ତଥ୍ୟର ବିକୃତି ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ।
ଅନ୍ୟପକ୍ଷରେ, ଧାତୁ ଆଧାରର ଡ୍ୟାମ୍ପିଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଖରାପ, ଯାହା ଉପକରଣର କାର୍ଯ୍ୟ ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହେଉଥିବା କମ୍ପନ ଶକ୍ତିକୁ ଶୀଘ୍ର ବ୍ୟବହାର କରିବା କଷ୍ଟକର କରିଥାଏ। ଉଚ୍ଚ-ଆବୃତ୍ତି ସିଗନାଲ ପରୀକ୍ଷଣର ପରିସ୍ଥିତିରେ, ନିରନ୍ତର ମାଇକ୍ରୋ-ଦୋଳନ ବହୁ ପରିମାଣର ଶବ୍ଦ ଆଣିବ, ଯାହା ସିଗନାଲ ଅଖଣ୍ଡତା ପରୀକ୍ଷଣର ତ୍ରୁଟିକୁ 30% ରୁ ଅଧିକ ବୃଦ୍ଧି କରିବ। ଏହା ସହିତ, ଧାତୁ ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକର ଉଚ୍ଚ ଚୁମ୍ବକୀୟ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଥାଏ ଏବଂ ପରୀକ୍ଷଣ ଉପକରଣର ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ ସଙ୍କେତ ସହିତ ସଂଯୁକ୍ତ ହେବାର ସମ୍ଭାବନା ଥାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଏଡି କରେଣ୍ଟ କ୍ଷତି ଏବଂ ହିଷ୍ଟେରେସିସ୍ ପ୍ରଭାବ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, ଯାହା ସଠିକ ମାପ ସଠିକତାରେ ବାଧା ସୃଷ୍ଟି କରେ।
II. ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରର "କଠିନ ଶକ୍ତି"
ସଠିକ୍ ମାପ ପାଇଁ ମୂଳଦୁଆ ସ୍ଥାପନ କରି, ଚୂଡ଼ାନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା
ଆୟନିକ ଏବଂ ସହଭାଜକ ବନ୍ଧନ ମାଧ୍ୟମରେ କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଏବଂ ଫେଲଡସ୍ପାର ଭଳି ଖଣିଜ ସ୍ଫଟିକର ଘନିଷ୍ଠ ମିଶ୍ରଣ ଦ୍ୱାରା ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଗଠିତ ହୁଏ। ଏହାର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ ଅତ୍ୟନ୍ତ କମ୍, କେବଳ 0.6-5×10⁻⁶/℃, ଯାହା ଧାତୁ ପଦାର୍ଥର ପ୍ରାୟ 1/2-1/20। ଯଦିଓ ତାପମାତ୍ରା 10℃ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ, 1-ମିଟର ଲମ୍ବା ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରର ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ସଂକୋଚନ 50nm ରୁ କମ୍, ପ୍ରାୟ "ଶୂନ୍ୟ ବିକୃତି" ହାସଲ କରେ। ଏହି ସମୟରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ର ତାପଜ ପରିବାହିତା କେବଳ 2-3 W/(m · K), ଯାହା ଧାତୁର 1/20 ରୁ କମ୍। ଏହା ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଉପକରଣର ତାପ ପରିବହନକୁ ରୋକିପାରେ, ଆଧାରର ପୃଷ୍ଠ ତାପମାତ୍ରାକୁ ସମାନ ରଖିପାରେ ଏବଂ ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ପରୀକ୍ଷା ପ୍ରୋବ୍ ଏବଂ ଚିପ୍ ସର୍ବଦା ଏକ ସ୍ଥିର ଆପେକ୍ଷିକ ସ୍ଥିତି ବଜାୟ ରଖେ।
2. ଅତ୍ୟନ୍ତ ଶକ୍ତିଶାଳୀ କମ୍ପନ ଦମନ ଏକ ସ୍ଥିର ପରୀକ୍ଷଣ ପରିବେଶ ସୃଷ୍ଟି କରେ।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଭିତରେ ଥିବା ଅନନ୍ୟ ସ୍ଫଟିକ ତ୍ରୁଟି ଏବଂ ଶସ୍ୟ ସୀମା ସ୍ଲାଇଡିଂ ଗଠନ ଏହାକୁ ଏକ ଶକ୍ତି ଅପଚୟ କ୍ଷମତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହାର ଡେମ୍ପିଂ ଅନୁପାତ 0.3-0.5 ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ଯାହା ଧାତୁ ଆଧାର ଅପେକ୍ଷା ଛଅ ଗୁଣ ଅଧିକ। ପରୀକ୍ଷଣ ତଥ୍ୟ ଦର୍ଶାଏ ଯେ 100Hz ର କମ୍ପନ ଉତ୍ତେଜନା ଅଧୀନରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରର କମ୍ପନ ହ୍ରାସ ସମୟ କେବଳ 0.1 ସେକେଣ୍ଡ, ଯେତେବେଳେ କାଷ୍ଟ ଲୁହା ଆଧାରର କମ୍ପନ ସମୟ 0.8 ସେକେଣ୍ଡ। ଏହାର ଅର୍ଥ ହେଉଛି ଯେ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର ଉପକରଣ ଆରମ୍ଭ ଏବଂ ବନ୍ଦ ହେବା, ବାହ୍ୟ ପ୍ରଭାବ, ଇତ୍ୟାଦି ଯୋଗୁଁ ହେଉଥିବା କମ୍ପନକୁ ତୁରନ୍ତ ଦମନ କରିପାରିବ ଏବଂ ±1μm ମଧ୍ୟରେ ପରୀକ୍ଷଣ ପ୍ଲାଟଫର୍ମର କମ୍ପନ ଆମ୍ପ୍ଲିଚ୍ୟୁଡ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିପାରିବ, ନାନୋସ୍କେଲ୍ ପ୍ରୋବ୍ ର ସ୍ଥିତି ପାଇଁ ଏକ ସ୍ଥିର ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି ପ୍ରଦାନ କରିବ।
3. ପ୍ରାକୃତିକ ଚୁମ୍ବକୀୟ ବିରୋଧୀ ଗୁଣ, ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ ହସ୍ତକ୍ଷେପ ଦୂର କରେ।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ହେଉଛି ଏକ ଡାଇମ୍ୟାଗ୍ନେଟିକ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଯାହାର ଚୁମ୍ବକୀୟ ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ପ୍ରାୟ -10 ⁻⁵। ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ଗୁଡ଼ିକ ରାସାୟନିକ ବନ୍ଧନ ମଧ୍ୟରେ ଯୋଡ଼ା ଭାବରେ ବିଦ୍ୟମାନ ଏବଂ ବାହ୍ୟ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ଦ୍ୱାରା ପ୍ରାୟ କେବେ ଧ୍ରୁବୀୟ ହୁଏ ନାହିଁ। 10mT ର ଏକ ଶକ୍ତିଶାଳୀ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ପରିବେଶରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର ପୃଷ୍ଠରେ ପ୍ରେରିତ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ତୀବ୍ରତା 0.001mT ରୁ କମ୍, ଯେତେବେଳେ କାଷ୍ଟ ଲୁହା ପୃଷ୍ଠରେ ତାହା 8mT ରୁ ଅଧିକ। ଏହି ପ୍ରାକୃତିକ ଆଣ୍ଟି-ଚମ୍ବକୀୟ ଗୁଣ IC ପରୀକ୍ଷଣ ଉପକରଣ ପାଇଁ ଏକ ଶୁଦ୍ଧ ମାପ ପରିବେଶ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରିବ, ଏହାକୁ ୱାର୍କସପ୍ ମୋଟର ଏବଂ RF ସଙ୍କେତ ଭଳି ବାହ୍ୟ ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚମ୍ବକୀୟ ହସ୍ତକ୍ଷେପରୁ ରକ୍ଷା କରିପାରିବ। ଏହା ବିଶେଷ ଭାବରେ କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ ଚିପ୍ସ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ADCs/Dacs ପରି ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚମ୍ବକୀୟ ଶବ୍ଦ ପ୍ରତି ଅତ୍ୟନ୍ତ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପରିସ୍ଥିତି ପରୀକ୍ଷା କରିବା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।
ତୃତୀୟତଃ, ବ୍ୟବହାରିକ ପ୍ରୟୋଗ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଫଳାଫଳ ହାସଲ କରିଛି
ଅନେକ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉଦ୍ୟୋଗର ଅଭ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରର ମୂଲ୍ୟକୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରିଛି। ଏକ ବିଶ୍ୱସ୍ତରୀୟ ପ୍ରସିଦ୍ଧ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପରୀକ୍ଷଣ ଉପକରଣ ନିର୍ମାତା ଏହାର ଉଚ୍ଚ-ପ୍ରାଚୀନ 5G ଚିପ୍ ପରୀକ୍ଷା ପ୍ଲାଟଫର୍ମରେ ଏକ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର ଗ୍ରହଣ କରିବା ପରେ, ଏହା ଆଶ୍ଚର୍ଯ୍ୟଜନକ ଫଳାଫଳ ହାସଲ କରିଛି: ପ୍ରୋବ୍ କାର୍ଡର ସ୍ଥିତି ନିର୍ଭୁଲତା ±5μm ରୁ ±1μm କୁ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଛି, ପରୀକ୍ଷା ତଥ୍ୟର ମାନକ ବିଚ୍ୟୁତି 70% ହ୍ରାସ ପାଇଛି, ଏବଂ ଏକକ ପରୀକ୍ଷାର ଭୁଲ ବିଚାର ହାର 0.5% ରୁ 0.03% କୁ ଯଥେଷ୍ଟ ହ୍ରାସ ପାଇଛି। ଏହି ସମୟରେ, କମ୍ପନ ଦମନ ପ୍ରଭାବ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ। ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ କମ୍ପନ କ୍ଷୟ ହେବା ପାଇଁ ଅପେକ୍ଷା ନକରି ପରୀକ୍ଷା ଆରମ୍ଭ କରିପାରିବ, ଏକକ ପରୀକ୍ଷା ଚକ୍ରକୁ 20% ସଂକ୍ଷିପ୍ତ କରିପାରେ ଏବଂ ବାର୍ଷିକ ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷମତା 3 ନିୟୁତରୁ ଅଧିକ ୱେଫର ବୃଦ୍ଧି କରିପାରେ। ଏହା ସହିତ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରର ଜୀବନକାଳ 10 ବର୍ଷରୁ ଅଧିକ ଏବଂ ଏହାର କୌଣସି ବାରମ୍ବାର ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଆବଶ୍ୟକ ନାହିଁ। ଧାତୁ ଆଧାର ତୁଳନାରେ, ଏହାର ସାମଗ୍ରିକ ମୂଲ୍ୟ 50% ରୁ ଅଧିକ ହ୍ରାସ ପାଇଛି।
ଚତୁର୍ଥ, ଶିଳ୍ପ ଧାରା ସହିତ ଖାପ ଖୁଆଇବା ଏବଂ ପରୀକ୍ଷଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ଉନ୍ନତିକୁ ଆଗେଇ ନେବା।
ଉନ୍ନତ ପ୍ୟାକେଜିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା (ଯେପରିକି ଚିପଲେଟ୍)ର ବିକାଶ ଏବଂ କ୍ୱାଣ୍ଟମ୍ କମ୍ପ୍ୟୁଟିଂ ଚିପ୍ସ ଭଳି ଉଦୀୟମାନ କ୍ଷେତ୍ରର ବୃଦ୍ଧି ସହିତ, IC ପରୀକ୍ଷଣରେ ଡିଭାଇସ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତା ବୃଦ୍ଧି ପାଇବାରେ ଲାଗିବ। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟ ନିରନ୍ତର ନୂତନତ୍ୱ ଏବଂ ଅପଗ୍ରେଡ୍ ହେଉଛି। ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ପୃଷ୍ଠ ଆବରଣ ଚିକିତ୍ସା ମାଧ୍ୟମରେ କିମ୍ବା ସକ୍ରିୟ କମ୍ପନ କ୍ଷତିପୂରଣ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସଫଳତା ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ପାଇଜୋଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସେରାମିକ୍ସ ସହିତ ମିଶ୍ରଣ କରି, ସେମାନେ ଏକ ଅଧିକ ସଠିକ୍ ଏବଂ ବୁଦ୍ଧିମାନ ଦିଗ ଆଡ଼କୁ ଗତି କରୁଛନ୍ତି। ଭବିଷ୍ୟତରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ନବସୃଜନ ଏବଂ "ଚାଇନିଜ୍ ଚିପ୍ସ" ର ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା ବିକାଶକୁ ଏହାର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପ୍ରଦର୍ଶନ ସହିତ ସୁରକ୍ଷା ପ୍ରଦାନ କରିବ।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ବାଛିବା ଅର୍ଥ ହେଉଛି ଏକ ଅଧିକ ସଠିକ୍, ସ୍ଥିର ଏବଂ ଦକ୍ଷ IC ପରୀକ୍ଷଣ ସମାଧାନ ବାଛିବା। ଏହା ବର୍ତ୍ତମାନର ଉନ୍ନତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚିପ୍ ପରୀକ୍ଷଣ ହେଉ କିମ୍ବା ଭବିଷ୍ୟତରେ ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାର ଅନୁସନ୍ଧାନ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ଏକ ଅପରିବର୍ତ୍ତନୀୟ ଏବଂ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିବ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମଇ-୧୫-୨୦୨୫