ଚିପ୍ ନିର୍ମାଣର ପ୍ରମୁଖ ଲିଙ୍କ - ୱେଫର ସ୍କାନିଂରେ, ଉପକରଣର ସଠିକତା ଚିପ୍ର ଗୁଣବତ୍ତା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ। ଉପକରଣର ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଉପାଦାନ ଭାବରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ମେସିନ୍ ବେସର ତାପଜ ବିସ୍ତାର ସମସ୍ୟା ବହୁତ ଦୃଷ୍ଟି ଆକର୍ଷଣ କରିଛି।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ ସାଧାରଣତଃ 4 ରୁ 8×10⁻⁶/℃ ମଧ୍ୟରେ ଥାଏ, ଯାହା ଧାତୁ ଏବଂ ମାର୍ବଲ ତୁଳନାରେ ବହୁତ କମ୍। ଏହାର ଅର୍ଥ ହେଉଛି ଯେତେବେଳେ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ, ଏହାର ଆକାର ତୁଳନାତ୍ମକ ଭାବରେ କମ୍ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ। ତଥାପି, ଏହା ଧ୍ୟାନ ଦେବା ଉଚିତ ଯେ କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଅର୍ଥ ନୁହେଁ ଯେ କୌଣସି ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ନାହିଁ। ଅତ୍ୟଧିକ ତାପମାତ୍ରା ହ୍ରାସ ହେତୁ, ସାମାନ୍ୟତମ ପ୍ରସାରଣ ମଧ୍ୟ ୱେଫର ସ୍କାନିଂର ନାନୋସ୍କେଲ ସଠିକତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିପାରେ।
ୱାଫର ସ୍କାନିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ, ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଘଟିବାର ଅନେକ କାରଣ ଅଛି। କର୍ମଶାଳାରେ ତାପମାତ୍ରାର ଉତ୍ଥାନ-ପତନ, ଉପକରଣ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର କାର୍ଯ୍ୟ ଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପନ୍ନ ଉତ୍ତାପ ଏବଂ ଲେଜର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଦ୍ୱାରା ଆଣାଯାଇଥିବା ତାତ୍କାଳିକ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଆଧାରକୁ "ତାପମାନ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଯୋଗୁଁ ପ୍ରସାରିତ ଏବଂ ସଙ୍କୁଚିତ" କରିବ। ମୂଳ ଥର୍ମାଜ ପ୍ରସାରଣ ହେବା ପରେ, ଗାଇଡ୍ ରେଳର ସିଧାପଣ ଏବଂ ପ୍ଲାଟଫର୍ମର ସମତଳତା ବିଚ୍ୟୁତ ହୋଇପାରେ, ଯାହା ଫଳରେ ୱାଫର ଟେବୁଲର ସଠିକ ଗତିପଥ ହୋଇପାରେ। ସହାୟକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହେବ, ଯାହା ସ୍କାନିଂ ବିମ୍ "ବିଚ୍ୟୁତ" କରିବ। ଦୀର୍ଘ ସମୟ ଧରି ନିରନ୍ତର କାର୍ଯ୍ୟ କରିବା ଦ୍ୱାରା ମଧ୍ୟ ତ୍ରୁଟି ଜମା ହେବ, ଯାହା ସଠିକତାକୁ ଆହୁରି ଖରାପ କରିବ।
କିନ୍ତୁ ଚିନ୍ତା କରନ୍ତୁ ନାହିଁ। ଲୋକଙ୍କ ପାଖରେ ପୂର୍ବରୁ ସମାଧାନ ଅଛି। ସାମଗ୍ରୀ ଦୃଷ୍ଟିରୁ, କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ ସହିତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଶିରାଗୁଡ଼ିକୁ ଚୟନ କରାଯିବ ଏବଂ ବୟସ୍କ ଚିକିତ୍ସା କରାଯିବ। ତାପମାତ୍ରା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଦୃଷ୍ଟିରୁ, କର୍ମଶାଳାର ତାପମାତ୍ରା 23±0.5℃ କିମ୍ବା ତା'ଠାରୁ କମ୍ ରେ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହୋଇଥାଏ, ଏବଂ ଆଧାର ପାଇଁ ଏକ ସକ୍ରିୟ ତାପ ଅପଚୟ ଉପକରଣ ମଧ୍ୟ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯିବ। ସଂରଚନାତ୍ମକ ଡିଜାଇନ୍ ଦୃଷ୍ଟିରୁ, ସମତୁଲ ଗଠନ ଏବଂ ନମନୀୟ ସମର୍ଥନ ଗ୍ରହଣ କରାଯାଏ, ଏବଂ ତାପମାତ୍ରା ସେନ୍ସର ମାଧ୍ୟମରେ ପ୍ରକୃତ-ସମୟ ନିରୀକ୍ଷଣ କରାଯାଏ। ତାପଜ ବିକୃତି ଯୋଗୁଁ ହେଉଥିବା ତ୍ରୁଟିଗୁଡ଼ିକୁ ଆଲଗୋରିଦମ ଦ୍ୱାରା ଗତିଶୀଳ ଭାବରେ ସଂଶୋଧନ କରାଯାଏ।
ASML ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ଭଳି ଉଚ୍ଚମାନର ଉପକରଣ, ଏହି ପଦ୍ଧତିଗୁଡ଼ିକ ମାଧ୍ୟମରେ, ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ପ୍ରଭାବକୁ ଅତ୍ୟନ୍ତ କ୍ଷୁଦ୍ର ପରିସର ମଧ୍ୟରେ ରଖେ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ୱାଫର ସ୍କାନିଂ ସଠିକତା ନାନୋମିଟର ସ୍ତର ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିପାରିବ। ତେଣୁ, ଯେପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଏହାକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ କରାଯାଏ, ସେପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ ୱାଫର ସ୍କାନିଂ ଉପକରଣ ପାଇଁ ଏକ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ପସନ୍ଦ ହୋଇ ରହିଥାଏ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁନ୍-୧୨-୨୦୨୫