ଲେଜର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା, ଗଭୀର ମହାକାଶ ଅନୁସନ୍ଧାନ ଏବଂ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ (EUV) ଲିଥୋଗ୍ରାଫିର ଦ୍ରୁତ ବିକଶିତ କ୍ଷେତ୍ରଗୁଡ଼ିକରେ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପ୍ରିସିସନ୍ ପାଇଁ ଚାହିଦା ପରମାଣୁ ସ୍ତରକୁ ପହଞ୍ଚିବାରେ ଲାଗିଛି। ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଏବଂ ଫଟୋନିକ୍ସ କମ୍ପାନୀଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ, ପ୍ରିସିସନ୍ ଗ୍ଲାସ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଗୁଣବତ୍ତା କେବଳ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ନୁହେଁ - ଏହା ସିଷ୍ଟମ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାର ପରିଭାଷକ କାରକ।
ZHHIMG ଗ୍ରୁପ୍ରେ, ଆମେ ବୁଝୁଛୁ ଯେ ଏହି ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ନିର୍ମାଣ କରିବା ପାଇଁ କେବଳ କଟିଂ ସାମଗ୍ରୀ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ଆବଶ୍ୟକ; ଏଥିପାଇଁ ଆଲୋକ ଏବଂ ପଦାର୍ଥର ପଦାର୍ଥ ବିଜ୍ଞାନରେ ଦକ୍ଷତା ହାସଲ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ। ଏହି ପ୍ରବନ୍ଧଟି ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗ୍ଲାସର ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରୟୋଗ ଏବଂ ଅଲ୍ଟ୍ରା ପ୍ରିସିସନ୍ ଅପ୍ଟିକ୍ସ ଆଧାର ପ୍ରଦାନ କରିବା ପାଇଁ ଆମେ ଯେଉଁ କଠୋର ଉତ୍ପାଦନ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜଗୁଡ଼ିକୁ ଦୂର କରିଥାଉ ତାହା ଅନୁସନ୍ଧାନ କରେ।
ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରୟୋଗ: ଯେଉଁଠାରେ ସଠିକତା ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ
ଆଧୁନିକ ଫଟୋନିକ୍ସର ମେରୁଦଣ୍ଡ ହେଉଛି ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗ୍ଲାସ୍। ଯୋଗାଯୋଗଠାରୁ ପ୍ରତିରକ୍ଷା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ଏହି ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଆବଶ୍ୟକତା କ୍ରମଶଃ କଠୋର ହେବାରେ ଲାଗିଛି।
୧. ଲେଜର ନ୍ୟୁକ୍ଲିୟର ଫ୍ୟୁଜନ୍ ଏବଂ ଶକ୍ତିଶାଳୀ ଲେଜର ସିଷ୍ଟମ୍
ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ବିଶିଷ୍ଟ ଲେଜର ସିଷ୍ଟମରେ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ରଚୁର ଶକ୍ତି ଘନତ୍ୱ ସହ୍ୟ କରିବାକୁ ପଡିବ। କାଚରେ ଥିବା ଯେକୌଣସି ଅଣୁବୀକ୍ଷଣିକ ତ୍ରୁଟି କିମ୍ବା ଅପରିଷ୍କାରତା ଲେଜର-ପ୍ରେରିତ କ୍ଷତି ଘଟାଇପାରେ, ଯାହା ସମଗ୍ର ସିଷ୍ଟମକୁ ବିପଦରେ ପକାଇପାରେ। ଏଠାରେ ଉତ୍ପାଦନ ଧ୍ୟାନ ହେଉଛି ଉପପୃଷ୍ଠ କ୍ଷତିକୁ ଦୂର କରିବା ଏବଂ ବିମ୍ ବିକୃତିକୁ ରୋକିବା ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ ଏକରୂପତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ଉପରେ।
2. ସ୍ପେସ୍ ଅପ୍ଟିକ୍ସ ଏବଂ ଡିପ୍ ସ୍ପେସ୍ ଡିଟେକ୍ସନ୍
ଯେତେବେଳେ ମହାକାଶ ଟେଲିସ୍କୋପ ଏବଂ ଦୂର ସେନ୍ସିଂ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ଆପେର୍ଚର ଆକାରରେ ବୃଦ୍ଧି ପାଏ (ବର୍ତ୍ତମାନ 4 ମିଟର ଅତିକ୍ରମ କରେ), ହାଲୁକା ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ ସଠିକତା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତା ତୀବ୍ର ହୁଏ। ମହାକାଶ ପାଇଁ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ଅତ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ପରିବେଶରେ ସେମାନଙ୍କର ଆକୃତି ବଜାୟ ରଖିବାକୁ ପଡିବ, ଏଥିପାଇଁ ଅଲ୍ଟ୍ରା-କମ୍ ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ ସହିତ ସାମଗ୍ରୀ ଆବଶ୍ୟକ ହେବ।
3. ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଏବଂ EUV ଲିଥୋଗ୍ରାଫି
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପରେ, EUV ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ସିଷ୍ଟମଗୁଡ଼ିକ ପୃଷ୍ଠର ଖରସତା 0.1 nm (RMS) ରୁ କମ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ପ୍ରତିଫଳିତ ଦର୍ପଣ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ। ପରମାଣୁ-ସ୍ତରୀୟ ବାମ୍ପ୍ ମଧ୍ୟ ଆଲୋକ ବିଚ୍ଛୁରିତ କରିପାରେ ଏବଂ ଏକ ଚିପ୍ ର ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ୍ ନଷ୍ଟ କରିପାରେ। ଏହା ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗ୍ଲାସ୍ ନିର୍ମାଣର ଶୀର୍ଷକୁ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରେ।
ଉତ୍ପାଦନ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜ: ଚାପ, ସମତଳତା ଏବଂ ମସୃଣତା
ଏହି ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଗୁଣବତ୍ତା ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ତିନୋଟି ପ୍ରମୁଖ ପ୍ରତିବନ୍ଧକକୁ ଦୂର କରିବାକୁ ପଡିବ।
୧. ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଚାପକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବା
ଅବଶିଷ୍ଟ ଚାପ ହେଉଛି ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସ୍ଥିରତାର ଶତ୍ରୁ। ଏହା ବାୟାରଫ୍ରିଞ୍ଜେନ୍ସ (ପ୍ରତିସରଣ ସୂଚକାଙ୍କ ପରିବର୍ତ୍ତନ) ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ ଏବଂ ତାପଜ ଭାର ତଳେ ଫାଟିପାରେ।
- ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜ: କଠିନ, ଭଙ୍ଗୁର କାଚକୁ ମେସିନ୍ କରିବା ଦ୍ୱାରା ପ୍ରାୟତଃ ସୂକ୍ଷ୍ମ-ଚାପ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ।
- ଆମର ପଦ୍ଧତି: ଆମେ ଉନ୍ନତ ଆନିଲିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏବଂ କମ୍ କ୍ଷତି ସୃଷ୍ଟିକାରୀ କୌଶଳ ବ୍ୟବହାର କରୁ। ଶୀତଳତା ହାରକୁ କଡ଼ାକଡ଼ି ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରି ଏବଂ ଚାପ-ନିବାରଣ ମେସିନିଂ ରଣନୀତି ବ୍ୟବହାର କରି, ଆମେ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରୁ ଯେ କାଚର ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଗଠନ ନିରପେକ୍ଷ ଏବଂ ସ୍ଥିର ରହେ।
2. ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇ ଫ୍ଲାଟନେସ୍ (କମ୍ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ସଠିକତା) ହାସଲ କରିବା
ଅଲ୍ଟ୍ରା ପ୍ରିସିସନ୍ ଅପ୍ଟିକ୍ସ ବେସ୍ ଏବଂ ମିରର୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପାଇଁ, ପୃଷ୍ଠର "ଆକୃତି" ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।
- ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜ: ପାରମ୍ପରିକ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ତରଙ୍ଗୀକରଣ ଛାଡ଼ିପାରେ କିମ୍ବା ତ୍ରୁଟି ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ ଯାହା ତରଙ୍ଗପ୍ରାନ୍ତ ସଠିକତାକୁ ହ୍ରାସ କରେ।
- ଆମର ପଦ୍ଧତି: ଆମେ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା କମ୍ପ୍ୟୁଟର-ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସର୍ଫେସିଂ (CCOS) ବ୍ୟବହାର କରୁ। ଏହା ଆମକୁ 1 nm ରୁ କମ୍ ପିକ୍-ଟୁ-ଭ୍ୟାଲି (PV) ମୂଲ୍ୟ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ନିମ୍ନ-ଆବୃତ୍ତି ତ୍ରୁଟି (ଆକୃତି ବିଚ୍ୟୁତି) ସଂଶୋଧନ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପଥ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ସଂଲଗ୍ନ ରହିଥାଏ।
3. ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା (ଉଚ୍ଚ ଆବୃତ୍ତି ସ୍ମୁଥନେସ)
ବିକ୍ଷିପ୍ତତା ଉଚ୍ଚ-ଆବୃତ୍ତି ପୃଷ୍ଠ ଗଠନ ଦ୍ୱାରା ହୋଇଥାଏ।
- ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜ: ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଦ୍ୱାରା ଛାଡିଯାଇଥିବା "କୁହୁଡ଼ି" ଏବଂ ସୂକ୍ଷ୍ମ-ସ୍କ୍ରାଚ୍ଗୁଡ଼ିକୁ ଦୂର କରିବା ପାଇଁ ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣରୁ ପୃଷ୍ଠକୁ ସ୍ମୁଥ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ।
- ଆମର ପଦ୍ଧତି: ଆମେ ଉନ୍ନତ ପଲିସିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବ୍ୟବହାର କରୁ, ଯେଉଁଥିରେ ଚୁମ୍ବକୀୟ ସହାୟତାରେ ଫିନିସିଂ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଏହି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ନୂତନ ଉପପୃଷ୍ଠ କ୍ଷତି ପ୍ରବେଶ ନକରି ଉପ-ନାନୋମିଟର ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା (Ra < 0.6 nm) ହାସଲ କରିବା ସମୟରେ ଜଟିଳ ଆକୃତି (ଯେପରିକି ଫ୍ରିଫର୍ମ ଲେନ୍ସ) ର ବ୍ୟାଚ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ଅନୁମତି ଦିଏ।
ZHHIMG: ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନରେ ଆପଣଙ୍କର ସାଥୀ
କଞ୍ଚା କାଚରୁ ଏକ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ ନାନୋଟେକ୍ନୋଲୋଜି ମାଧ୍ୟମରେ ଏକ ଯାତ୍ରା। ZHHIMG ଗ୍ରୁପରେ, ଆମେ ବସ୍ତୁ ବିଜ୍ଞାନ ଏବଂ ସଠିକ୍ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ମଧ୍ୟରେ ଥିବା ବ୍ୟବଧାନକୁ ପୂରଣ କରୁ।
ଆମର କ୍ଷମତାଗୁଡ଼ିକ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:
- ଜଟିଳ ଜ୍ୟାମିତି: ମୁକ୍ତଆକୃତି, ଆସ୍ଫେରିକ୍ ଏବଂ ପ୍ଲାନାର ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ମେସିନିଂ।
- ମାପ ବିଜ୍ଞାନ ଏବଂ ଯାଞ୍ଚ: ପୃଷ୍ଠର ଗୁଣବତ୍ତା ଯାଞ୍ଚ କରିବା ଏବଂ ପ୍ରକୃତ ସମୟରେ ସଠିକତା ଗଠନ କରିବା ପାଇଁ ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟର ଏବଂ ପ୍ରୋଫିଲୋମିଟର ବ୍ୟବହାର କରିବା।
- ସାମଗ୍ରୀ ବିଶେଷଜ୍ଞତା: ଉଚ୍ଚ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ କମ ପ୍ରସାରଣ ପାଇଁ ଜଣାଶୁଣା ଫ୍ୟୁଜଡ୍ ସିଲିକା, କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଏବଂ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଚଷମା ସହିତ ଗଭୀର ଅଭିଜ୍ଞତା।
ଉପସଂହାର
ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ଯାହା ସମ୍ଭବ ତାହାର ସୀମାକୁ ଠେଲି ଦେଉଥିବାରୁ, ସଠିକ୍ କାଚ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଉତ୍ପାଦନ
ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ଯାହା ସମ୍ଭବ ତାହାର ସୀମାକୁ ଠେଲି ଦେଉଥିବାରୁ, ସଠିକ୍ କାଚ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଉତ୍ପାଦନ
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଏପ୍ରିଲ-୦୯-୨୦୨୬
