ଯେତେବେଳେ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ କ୍ରମଶଃ ଉନ୍ନତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ନୋଡ ଆଡ଼କୁ ଅଗ୍ରସର ହୁଏ - ଯେଉଁଠାରେ ସହନଶୀଳତା ଆଙ୍ଗଷ୍ଟ୍ରୋମରେ ମାପ କରାଯାଏ ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ଆବଶ୍ୟକତା ଭୌତିକ ସୀମା ନିକଟରେ ପହଞ୍ଚେ - ଏହି ମେସିନଗୁଡ଼ିକ ଯେଉଁ ମୂଳଦୁଆ ଉପରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ ତାହା କେବେ ଅଧିକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ହୋଇନାହିଁ। ନାନୋସ୍କେଲ୍ ସ୍ଥିତି ସଠିକତା, ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ କମ୍ପନ ବିଚ୍ଛିନ୍ନତା ହାସଲ କରିବାକୁ ଚାହୁଁଥିବା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣ ନିର୍ମାତାମାନଙ୍କ ପାଇଁ ପ୍ରିସିସନ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ପସନ୍ଦର ସାମଗ୍ରୀ ଭାବରେ ଉଭା ହୋଇଛି। ତଥାପି ଏହି ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ସୋର୍ସ କରିବା ଏକ ଜଟିଳ କାର୍ଯ୍ୟ, ଯାହା ଏକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ନିର୍ମାଣ ସୁବିଧାର ସଫଳତା କିମ୍ବା ବିଫଳତା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରିପାରିବ ଏପରି ବୈଷୟିକ ସୂକ୍ଷ୍ମତାରେ ପରିପୂର୍ଣ୍ଣ।
କାହିଁକି ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ସଠିକ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଦାବି କରେ
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପ ଅଭୂତପୂର୍ବ ପ୍ରସାର ଦେଇ ଗତି କରୁଛି। ଶିଳ୍ପ ରିପୋର୍ଟ ଅନୁଯାୟୀ, ଉନ୍ନତ ଲଜିକ୍ ଏବଂ ମେମୋରୀ ଚିପ୍ସର ଚାହିଦା ଯୋଗୁଁ ବର୍ତ୍ତମାନ ବିଶ୍ୱ ସ୍ତରରେ 78ଟି ନୂତନ 300mm ଫାବ୍ରିକେସନ୍ ସୁବିଧା ନିର୍ମାଣାଧୀନ ଅଛି। ଏହି ସୁବିଧାଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରୁ ପ୍ରତ୍ୟେକରେ ଶହ ଶହ ସଠିକ୍ ଉପକରଣ ରହିବ - ସମସ୍ତ ପାଇଁ ପଥର-କଠିନ ଭିତ୍ତିଭୂମି ଆବଶ୍ୟକ ଯାହା ନିରନ୍ତର 24/7 କାର୍ଯ୍ୟରେ ମାଇକ୍ରୋମିଟର-ସ୍ତରୀୟ ସଠିକତା ବଜାୟ ରଖେ।
ପାରମ୍ପରିକ ମେସିନ୍ ଉପକରଣ ପ୍ରୟୋଗ ପରି ନୁହେଁ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଅନନ୍ୟ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜ ଉପସ୍ଥାପନ କରେ ଯାହା ପାରମ୍ପରିକ ସାମଗ୍ରୀକୁ ଅପର୍ଯ୍ୟାପ୍ତ କରିଥାଏ। ଧାତୁ ଗଠନ, ସେମାନଙ୍କର ଶକ୍ତି ସତ୍ତ୍ୱେ, ତାପଜ ଉତ୍ଥାନ-ଉତ୍ତାପନ ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତା ପରିବର୍ତ୍ତନ ପାଇଁ ଦୁର୍ବଳ ଯାହା ସିଧାସଳଖ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ସଠିକତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ। ±2°C ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନର ସମ୍ମୁଖୀନ ହୋଇଥିବା ଏକ ଇସ୍ପାତ ମେସିନ୍ ଆଧାର ମାପକାଠି ଭାବରେ ବିସ୍ତାର ଏବଂ ସଙ୍କୁଚିତ ହେବ, ଯାହା ହଜାର ହଜାର ୱେଫର-ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପଦକ୍ଷେପ ମଧ୍ୟରେ ମିଶ୍ରିତ ସ୍ଥିତିଗତ ତ୍ରୁଟିଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ରବର୍ତ୍ତନ କରିବ।
ବିପରୀତରେ, ପ୍ରିସିସନ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍, ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ ଯାହା ପରିବେଶଗତ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରାୟତଃ ପ୍ରଭାବିତ ହୋଇନଥାଏ। ଏହାର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ ପ୍ରାୟ 0.6–1.2×10⁻⁶/°C ମାପ କରେ - ଇସ୍ପାତ ଅପେକ୍ଷା ପ୍ରାୟ ଦଶ ଗୁଣ କମ୍। ଏହି ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ଗୁଣ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ମେସିନ୍ ବେସ୍ କୁ ବିସ୍ତୃତ ତାପମାତ୍ରା ପରିସର ମଧ୍ୟରେ ଜ୍ୟାମିତିକ ଅଖଣ୍ଡତା ବଜାୟ ରଖିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ, ମହଙ୍ଗା ସ୍ଥିର-ତାପମାନ ପରିବେଶର ଆବଶ୍ୟକତାକୁ ଦୂର କରେ ଏବଂ ପଲିମର କମ୍ପୋଜିଟ୍ ବିକଳ୍ପ ତୁଳନାରେ 60% ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ କ୍ୟାଲିବ୍ରେସନ୍ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ହ୍ରାସ କରେ।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର କମ୍ପନ ଡ୍ୟାମ୍ପିଂ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ବିଶେଷ ଧ୍ୟାନ ଦେବା ଉଚିତ। 0.012–0.015 ର ପ୍ରାକୃତିକ ଡ୍ୟାମ୍ପିଂ ଅନୁପାତ ସହିତ—କାଷ୍ଟ ଲୁହା ପାଇଁ କେବଳ 0.001 ତୁଳନାରେ—ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପୃଷ୍ଠଗୁଡ଼ିକ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଦକ୍ଷତା ସହିତ କମ୍ପନଗୁଡ଼ିକୁ ଶୋଷଣ ଏବଂ ବିକ୍ଷିପ୍ତ କରେ। ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ନିର୍ମାଣ ପରିବେଶରେ ଯେଉଁଠାରେ ଶହ ଶହ ମେସିନ୍ ଏକକାଳୀନ କାର୍ଯ୍ୟ କରନ୍ତି, ଏହି କମ୍ପନ ବିଚ୍ଛିନ୍ନତା ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ହାର ବଜାୟ ରଖିବା ପାଇଁ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ ପ୍ରମାଣିତ ହୁଏ।
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ଇକୋସିଷ୍ଟମରେ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ
ପ୍ରିସିସନ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ସମନ୍ୱୟ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ନିର୍ମାଣ ଉପକରଣ ମଧ୍ୟରେ ପ୍ରାୟ ପ୍ରତ୍ୟେକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଉପସିଷ୍ଟମକୁ ବ୍ୟାପିଥାଏ। ଏହି ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକୁ ବୁଝିବା ଇଞ୍ଜିନିୟର ଏବଂ କ୍ରୟ ନିଷ୍ପତ୍ତି ନିର୍ମାତାମାନଙ୍କ ପାଇଁ ଜରୁରୀ ଯାହା କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରୁଥିବା ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ କରିବାରେ ଦାୟିତ୍ୱ ଦିଆଯାଇଛି।
ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ଭିତ୍ତିଭୂମି
ଆଧୁନିକ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ସିଷ୍ଟମ, ବିଶେଷକରି ୧୩.୫ ନାମି ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରୁଥିବା ଅତ୍ୟଧିକ ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ (EUV) ମେସିନଗୁଡ଼ିକ ସଠିକ୍ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂର ଶୀର୍ଷକୁ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରନ୍ତି। ଏହି ସିଷ୍ଟମଗୁଡ଼ିକରେ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବେସ୍ ପ୍ଲେଟ୍ ଏବଂ ଗାଇଡ୍ ରେଳ ଆସେମ୍ବଲି ଆବଶ୍ୟକ ଯାହା ନାନୋସ୍କେଲ୍ ସ୍ଥିତିକରଣ ପାଇଁ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ସ୍ଥିର ସନ୍ଦର୍ଭ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ରଦାନ କରେ। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର କମ୍ପନ-ଡାମ୍ପିଂ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକର ମିଶ୍ରଣ - କାଷ୍ଟ ଲୁହା ଅପେକ୍ଷା ତିନିରୁ ପାଞ୍ଚ ଗୁଣ ଅଧିକ - ଏବଂ ଏହାର ଜ୍ୟାମିତିକ ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ 5 ନାନୋମିଟରରୁ କମ୍ ସ୍ଥିତିକରଣ ପୁନରାବୃତ୍ତିକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ, ଏକ ଆବଶ୍ୟକତା ଯାହା ପାରମ୍ପରିକ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ହାସଲ କରିବା ଅସମ୍ଭବ ହେବ।
ଦାଉ ଅଧିକ ହୋଇପାରେ ନାହିଁ: ଗୋଟିଏ EUV ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର ମୂଲ୍ୟ $150 ନିୟୁତରୁ ଅଧିକ, ଏବଂ ଏହାର ମୂଳ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକରେ ଯେକୌଣସି ପରିମାଣିକ ଅସ୍ଥିରତା ସିଧାସଳଖ ତ୍ରୁଟିପୂର୍ଣ୍ଣ ଚିପ୍ସ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନକ୍ଷମତା ହରାଇବାରେ ପରିଣତ ହୁଏ। ଉପକରଣ ନିର୍ମାତାମାନେ ଏହି ଦାବିପୂର୍ଣ୍ଣ ଆବଶ୍ୟକତାଗୁଡ଼ିକୁ ସ୍ଥିର ଭାବରେ ପୂରଣ କରିବା ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ରତି ବର୍ଗ ମିଟରରେ 2 ମାଇକ୍ରୋମିଟର ତଳେ ସମତଳ ସହନଶୀଳତା ସହିତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ବର୍ଦ୍ଧିତ ଭାବରେ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ କରୁଛନ୍ତି।
ଏୟାର ବିୟରିଂ ଷ୍ଟେଜ୍ ପ୍ଲାଟଫର୍ମଗୁଡ଼ିକ
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଏୟାର ବେୟାରିଂ ସିଷ୍ଟମ୍ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ୱେଫର ପରିଚାଳନା ଏବଂ ଯାଞ୍ଚ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ପାଇଁ ପ୍ରକୃତ ମାନକ ପାଲଟିଛି। ପ୍ରିସିସନ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ରୁ ନିର୍ମିତ ପ୍ଲାନାର ଗାଇଡ୍ୱେ ଘର୍ଷଣହୀନ ଗତି ସନ୍ଦର୍ଭ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ରଦାନ କରେ ଯାହା, ଯେତେବେଳେ ଏରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ବେୟାରିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସହିତ ମିଶ୍ରିତ ହୁଏ, କଣିକା ସୃଷ୍ଟି ବିନା ସବ୍-ମାଇକ୍ରୋନ୍ ସଠିକତାକୁ ସକ୍ଷମ କରେ। ଏହି ପ୍ରଦୂଷଣ-ମୁକ୍ତ କାର୍ଯ୍ୟ କ୍ଲିନରୁମ୍ ପରିବେଶରେ ସର୍ବୋପରି ଯେଉଁଠାରେ ଅଣୁବୀକ୍ଷଣୀୟ କଣିକା ମଧ୍ୟ ମହଙ୍ଗା ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ନଷ୍ଟ କରିପାରେ।
ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ବାୟୁ ମାର୍ଗଦର୍ଶିକାକୁ ପ୍ରତି ମିଟରରେ ମାପ କରାଯାଇଥିବା ରେଖୀୟତା ଏବଂ ସମାନ୍ତରାଳତା ସହନଶୀଳତା ବଜାୟ ରଖିବାକୁ ପଡିବ, ପୃଷ୍ଠ ସମତଳତା ପ୍ରାୟତଃ ପ୍ରତି ବର୍ଗ ମିଟରରେ 2 ମାଇକ୍ରୋମିଟର ତଳେ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ କରାଯାଇଥାଏ। ଏହି ଆବଶ୍ୟକତାଗୁଡ଼ିକ ସଠିକତା ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ଲାପିଂ କୌଶଳରେ ପ୍ରଦର୍ଶିତ ବିଶେଷଜ୍ଞତା ସହିତ ଯୋଗାଣକାରୀଙ୍କ ଆବଶ୍ୟକତା କରେ। ଏହିପରି ମାର୍ଗଦର୍ଶିକା ପାଇଁ ସଂସ୍ଥାପନ ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ସାଧାରଣତଃ ଲେଜର ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟର ଯାଞ୍ଚ ଆବଶ୍ୟକ କରେ, ଅନୁମତିପ୍ରାପ୍ତ ତ୍ରୁଟିଗୁଡ଼ିକ କେବଳ ଏକ ମିଲିମିଟରର ଭଗ୍ନାଂଶରେ ମାପ କରାଯାଏ।
ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଏବଂ ମାପ ବିଜ୍ଞାନ ପ୍ଲାଟଫର୍ମଗୁଡ଼ିକ
ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ବ୍ୟତୀତ, ସଠିକ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପୃଷ୍ଠଗୁଡ଼ିକ ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ (CMP) ଉପକରଣ, ପତଳା-ଫିଲ୍ମ ଜମା ପ୍ରଣାଳୀ, ୱାଫର ଯାଞ୍ଚ ଉପକରଣ ଏବଂ ୱାଫର ଜ୍ୟାମିତି ଯାଞ୍ଚ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ସମନ୍ୱୟ ମାପକ ଯନ୍ତ୍ର ପାଇଁ ଭିତ୍ତିଭୂମି ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। ପ୍ରତ୍ୟେକ ପ୍ରୟୋଗରେ ସମତଳତା, ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା ଏବଂ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିରୋଧର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ମିଶ୍ରଣ ଆବଶ୍ୟକ ହୁଏ ଯାହା କେବଳ ସତର୍କତାର ସହିତ ଚୟନ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୃତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ସ୍ଥିର ଭାବରେ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ।
ମାପ ବିଜ୍ଞାନ ପ୍ରଣାଳୀଗୁଡ଼ିକ ବିଶେଷ ଭାବରେ ଦାବି କରୁଥିବା ଆବଶ୍ୟକତା ଉପସ୍ଥାପନ କରନ୍ତି। ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ଲେଟ୍ ବ୍ୟବହାର କରୁଥିବା ସମନ୍ୱୟ ମାପକ ଯନ୍ତ୍ର (CMM) ଦଶନ୍ଧି ଧରି ନିରନ୍ତର ବ୍ୟବହାରରେ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ସଠିକତା ବଜାୟ ରଖିବା ଆବଶ୍ୟକ। ପ୍ରିମିୟମ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ପନ୍ଦର ବର୍ଷରୁ ଅଧିକ ସମୟ ପାଇଁ ପ୍ରତି ବର୍ଗ ମିଟରରେ 0.5 ମାଇକ୍ରୋମିଟରରୁ ଅଧିକ ସମତଳତା ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ବଜାୟ ରଖିବାର କ୍ଷମତା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରିଛନ୍ତି, ଯାହା ଅସାଧାରଣ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ସ୍ଥିରତାକୁ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରେ।
ଉପାଦାନ ଚୟନ ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ବୈଷୟିକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ
ସଠିକତା ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ ପାଇଁ ପରସ୍ପର ସହିତ ଜଡିତ ବୈଷୟିକ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକର ଏକ ସେଟ୍ ବୁଝିବା ଆବଶ୍ୟକ। ଏହି ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣଗୁଡ଼ିକ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ ଯେ ଏକ ଉପାଦାନ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣ ଚାହିଦା ପୂରଣ କରିବ କି ନାହିଁ।
ସାମଗ୍ରୀର ଘନତ୍ୱ ଏବଂ ଗଠନ
ସଠିକ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର ଘନତା ସାମଗ୍ରିକ ସାମଗ୍ରୀ ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ଗଠନାତ୍ମକ ଅଖଣ୍ଡତାର ସୂଚକ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-କ୍ଷମତା ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ସାଧାରଣତଃ 3,000 କିଲୋଗ୍ରାମ/ମି³ ରୁ ଅଧିକ ଘନତା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ, ପ୍ରିମିୟମ୍ କଳା ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ରାୟ 3,100 କିଲୋଗ୍ରାମ/ମି³ ହାସଲ କରେ। ଏହି ଘନତା ସିଧାସଳଖ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କମ୍ପନ-ଡାମ୍ପିଂ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଏବଂ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ପରିମାଣ ସ୍ଥିରତା ସହିତ ସମ୍ପର୍କିତ।
ସମାନ ଭାବରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ହେଉଛି ସାମଗ୍ରୀର ପ୍ରାମାଣିକତା। ଶିଳ୍ପ ଏପରି ଘଟଣା ଦେଖିଛି ଯେଉଁଠାରେ ଯୋଗାଣକାରୀମାନେ ପ୍ରକୃତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପାଇଁ ମାର୍ବଲ୍ - ଏକ ଉପାଦାନ ଯାହା ବହୁତ ନିମ୍ନମାନର ଭୌତିକ ଗୁଣ ସହିତ - ପ୍ରତିସ୍ଥାପିତ କରନ୍ତି। ଦୃଶ୍ୟମାନ ଭାବରେ ସମାନ ହେଲେ ମଧ୍ୟ, ମାର୍ବଲ୍ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ କଠିନତା, ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱର ଅଭାବ ରହିଛି। ପ୍ରକୃତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର ମୋହସ୍ କଠିନତା ମାର୍ବଲ୍ର 3 ରୁ 4 ତୁଳନାରେ 6 ରୁ 7 ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଏବଂ ମାର୍ବଲ୍ର ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ର ପ୍ରାୟ ଦୁଇଗୁଣ। ଏପରି ପ୍ରତିସ୍ଥାପନର ପରିଣାମ ଅକାଳ ପୃଷ୍ଠ ଘଷିବା ଠାରୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଉପକରଣ ବିଫଳତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ହୋଇପାରେ।
ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣବତ୍ତା ମେଟ୍ରିକ୍ସ
ପୃଷ୍ଠ ସମତଳତା ହୁଏତ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ସବୁଠାରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣକୁ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରେ। ଶିଳ୍ପ ମାନକଗୁଡ଼ିକ କାଠ କାମ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ବାଣିଜ୍ୟିକ ଗ୍ରେଡ୍ (±0.02mm/m²) ଠାରୁ ଆରମ୍ଭ କରି ଅଟୋମୋଟିଭ୍ ଟୁଲିଂରେ ବ୍ୟବହୃତ ସଠିକତା ଗ୍ରେଡ୍ (±0.005mm/m²) ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଆଲାଇନମେଣ୍ଟ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ଏବଂ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉପକରଣ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ଅତ୍ୟଧିକ ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ଗ୍ରେଡ୍ (±0.0015mm/m²) ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସଠିକତା ଗ୍ରେଡ୍ ସ୍ଥାପନ କରନ୍ତି।
ଏହି ସହନଶୀଳତା ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ସୂକ୍ଷ୍ମ ହାତ-ଲାପିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକ ଯାହା କୁଶଳୀ କାରିଗରମାନେ ଦଶନ୍ଧି ଧରି ଅଭ୍ୟାସରେ ସିଦ୍ଧ କରିଛନ୍ତି। ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ମେସିନ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏହି ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣଗୁଡ଼ିକ ପାଖକୁ ଯାଇପାରେ, କିନ୍ତୁ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ଦ୍ୱାରା ଦାବି କରାଯାଇଥିବା ସବ୍-ମାଇକ୍ରୋମିଟର ସ୍ତର ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିବା ପାଇଁ ଶେଷ ହାତ-ଲାପିଂ ପଦକ୍ଷେପ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ ରହିଛି।
ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା, Ra ମୂଲ୍ୟ ଭାବରେ ମାପ କରାଯାଏ, ସାଧାରଣତଃ ବାୟୁ ବିୟରିଂ କିମ୍ବା ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ସହିତ ଜଡିତ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ 0.2 ମାଇକ୍ରୋମିଟର ତଳେ ରହିବା ଆବଶ୍ୟକ। ଏହି ସ୍ତରର ଫିନିସ୍ ମାଇକ୍ରୋ-କମ୍ପନ ଉତ୍ସଗୁଡ଼ିକୁ ଦୂର କରେ ଏବଂ ସ୍ଥିର ବିୟରିଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ଏହିପରି ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ଉନ୍ନତ ମେସିନିଂ ଉପକରଣ ଏବଂ କଠୋର ଗୁଣବତ୍ତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରୋଟୋକଲ ଉଭୟ ଆବଶ୍ୟକ।
ତାପଜ ଏବଂ ପରିବେଶଗତ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା
ଉନ୍ନତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣ ପାଇଁ ଉପାଦାନ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ କରିବା ସମୟରେ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣର ଗୁଣାଙ୍କ ବିଶେଷ ଧ୍ୟାନ ଦେବା ଉଚିତ। ପ୍ରିମିୟମ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକ 4.5×10⁻⁶/°C ତଳେ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ, ISO 8512-2 ମାନଦଣ୍ଡ ଅନୁଯାୟୀ ହଜାର ହଜାର ତାପଜ ଚକ୍ର ପରେ ମଧ୍ୟ ହିଷ୍ଟେରେସିସ୍ ପ୍ରଭାବ ପ୍ରତି ମିଟର 0.2 ମାଇକ୍ରୋମିଟର ତଳେ ରହିଥାଏ।
ଆର୍ଦ୍ରତା ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଜଡ଼ତା ପରିବେଶଗତ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଆବଶ୍ୟକତାକୁ ପୂର୍ଣ୍ଣ କରେ। ଅଣ-ଛିଦ୍ରଯୁକ୍ତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପୃଷ୍ଠଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ସଫା କରିବା ସମାଧାନରୁ ରାସାୟନିକ ଆକ୍ରମଣକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରେ, 1 ରୁ 14 ପରିସର ମଧ୍ୟରେ pH ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରାଯାଏ। ସ୍ଥିର ନିର୍ମାଣର ଦୂରୀକରଣ ସମାନ ଭାବରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରମାଣିତ ହୁଏ, କାରଣ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାକ୍ଟିକ୍ ଆକର୍ଷଣ କଣିକାଗୁଡ଼ିକୁ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ୱେଫର ପୃଷ୍ଠ ଆଡକୁ ଟାଣିପାରେ।
ଯୋଗାଣକାରୀଙ୍କ ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ ଏବଂ ଯୋଗ୍ୟତା
ସଠିକ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ବୈଷୟିକ ଜଟିଳତା ଯୋଗାଣକାରୀ ଚୟନକୁ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ବ୍ୟବସାୟିକ ନିଷ୍ପତ୍ତି କରିଥାଏ ଯାହା ଉପକରଣ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଖର୍ଚ୍ଚ ଉପରେ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ।
ପ୍ରମାଣପତ୍ର ଏବଂ ଗୁଣବତ୍ତା ନିଶ୍ଚିତତା
ପ୍ରତିଷ୍ଠାତା ନିର୍ମାତାମାନେ ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ସ୍ତରରେ ସ୍ୱୀକୃତିପ୍ରାପ୍ତ ପରିଚାଳନା ପ୍ରଣାଳୀ ମାନଦଣ୍ଡ ସହିତ ଅନୁପାଳନ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରିବା ଉଚିତ। ISO 9001 ପ୍ରମାଣପତ୍ର ଗୁଣବତ୍ତା ପରିଚାଳନା ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ରତି ପ୍ରତିବଦ୍ଧତାକୁ ସୂଚିତ କରେ, ଯେତେବେଳେ ISO 14001 ଏବଂ ISO45001 ପ୍ରମାଣପତ୍ର ଯଥାକ୍ରମେ ପରିବେଶଗତ ଦାୟିତ୍ୱ ଏବଂ କର୍ମକ୍ଷେତ୍ର ସୁରକ୍ଷା ପ୍ରତି ସମର୍ପଣକୁ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ। CE ଚିହ୍ନ ୟୁରୋପୀୟ ସ୍ୱାସ୍ଥ୍ୟ, ସୁରକ୍ଷା ଏବଂ ପରିବେଶ ସୁରକ୍ଷା ମାନଦଣ୍ଡ ସହିତ ଅନୁପାଳନକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ବିଶ୍ୱସ୍ତରୀୟ ନିର୍ମାତାମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରେ, ZHHIMG ଗ୍ରୁପ୍ ଏକମାତ୍ର ସଠିକ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଉତ୍ପାଦକ ଭାବରେ ଠିଆ ହୋଇଛି ଯାହା ଏକକାଳୀନ ଏହି ଚାରୋଟି ପ୍ରମାଣପତ୍ର ଧରିଛି।
ଗୁଣବତ୍ତା ପରିଚାଳନା ପ୍ରଣାଳୀ ବ୍ୟତୀତ, ଜାତୀୟ ମାନଦଣ୍ଡ ଅନୁଯାୟୀ ମାପ ସାର୍ଟିଫିକେସନ୍ ଖୋଜନ୍ତୁ, ଯେପରିକି ଯୁକ୍ତରାଷ୍ଟ୍ରରେ NIST-ଟ୍ରେସେବଲ୍ କାଲିବ୍ରେସନ୍ ରିପୋର୍ଟ କିମ୍ବା ଅନ୍ୟ କ୍ଷେତ୍ରାଧିକାରରେ ସମକକ୍ଷ ଜାତୀୟ ମାପ ସାର୍ଟିଫିକେସନ୍ ପ୍ରତିଷ୍ଠାନ ସାର୍ଟିଫିକେସନ୍।
ଉତ୍ପାଦନ ଭିତ୍ତିଭୂମି
ଉତ୍ପାଦନ ଭିତ୍ତିଭୂମି ଏକ ଯୋଗାଣକାରୀଙ୍କ ଚାହିଦାପୂର୍ଣ୍ଣ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣଗୁଡ଼ିକୁ ସ୍ଥିର ଭାବରେ ପୂରଣ କରିବାର କ୍ଷମତା ବିଷୟରେ ବହୁତ କିଛି କହିଥାଏ। ମୁଖ୍ୟ ସୂଚକଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଜଳବାୟୁ-ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ଉତ୍ପାଦନ ପରିବେଶ - ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟରେ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ସଠିକତା ବଜାୟ ରଖିବା ପାଇଁ ଜରୁରୀ - ଏବଂ ଉପ-ମାଇକ୍ରୋମିଟର ସ୍ତର ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସହନଶୀଳତା ଯାଞ୍ଚ କରିବାକୁ ସକ୍ଷମ ଉନ୍ନତ ମାପ ବିଜ୍ଞାନ ଉପକରଣ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
୦.୫ ମାଇକ୍ରୋମିଟର ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ ହାସଲ କରୁଥିବା ଜର୍ମାନ ମାହର ପ୍ରିସିସନ୍ ମାପ ସିଷ୍ଟମ ସହିତ ସଜ୍ଜିତ ସୁବିଧା, ସ୍ୱିସ୍ ୱାଇଲର ସ୍ତର ସୂଚକ ଏବଂ ରେନିଶା ଲେଜର ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟରଗୁଡ଼ିକ ସେମାନଙ୍କର ମେସିନିଂ ସଠିକତା ସହିତ ମେଳ ଖାଉଥିବା ମାପ ସଠିକତା ପ୍ରତି ପ୍ରତିବଦ୍ଧତା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରନ୍ତି। ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣ ଆକାରରେ ବୃଦ୍ଧି ପାଇବା ଜାରି ରଖିଥିବାରୁ 20 ମିଟର ଲମ୍ବ, 4,000 ମିମି ପ୍ରସ୍ଥ ଏବଂ 1,000 ମିମି ଘନତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ମେସିନ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର କ୍ଷମତା ସମେତ ବୃହତ-ସ୍କେଲ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କ୍ଷମତାର ଉପଲବ୍ଧତା ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ ହୋଇପଡ଼େ। କିଛି ନିର୍ମାତା ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ କମ୍ପନ ପ୍ରସାରଣକୁ ରୋକିବା ପାଇଁ 500 ମିମି ପ୍ରସ୍ଥ ଏବଂ 2,000 ମିମି ଗଭୀର ଆଇସୋଲେସନ୍ ଟ୍ରେଞ୍ଚ ସହିତ 10,000 ବର୍ଗ ମିଟରରୁ ଅଧିକ ଜଳବାୟୁ-ନିୟନ୍ତ୍ରିତ କର୍ମଶାଳା ପରିଚାଳନା କରନ୍ତି।
ସାମଗ୍ରୀ ଯାଞ୍ଚ ଏବଂ ଟ୍ରେସେବିଲିଟି
ଖଣିଜ ସଂରଚନା ବିଶ୍ଳେଷଣ, ଭୌତିକ ସମ୍ପତ୍ତି ପରୀକ୍ଷା ଏବଂ ଉତ୍ପତ୍ତି ଡକ୍ୟୁମେଣ୍ଟେସନ୍ ସମେତ ବିସ୍ତୃତ ସାମଗ୍ରୀ ପ୍ରମାଣପତ୍ର ଅନୁରୋଧ କରନ୍ତୁ। ଯୋଗାଣକାରୀମାନେ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଘନତା, ଶୋଷଣ ଏବଂ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରେ ବୋଲି ପ୍ରଦର୍ଶନ କରୁଥିବା ବ୍ୟାପକ ରେକର୍ଡ ରଖିବା ଉଚିତ। ପ୍ରିମିୟମ୍ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଜଳ ଶୋଷଣ ହାର 0.01% ତଳେ ରହିବା ଉଚିତ।
ସବୁଠାରୁ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ନିର୍ମାତାମାନେ ବିଶ୍ୱବ୍ୟାପୀ ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଉତ୍ସଗୁଡ଼ିକର ବ୍ୟାପକ ପରୀକ୍ଷଣ କରନ୍ତି, ପ୍ରତ୍ୟେକ ସାମଗ୍ରୀ ପ୍ରକାର ପାଇଁ ବିସ୍ତୃତ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ବିଶ୍ଳେଷଣ ରିପୋର୍ଟ ବଜାୟ ରଖନ୍ତି। ସାମଗ୍ରୀ ଚୟନ ପାଇଁ ଏହି ବୈଜ୍ଞାନିକ ପଦ୍ଧତି ଉତ୍ପାଦନ ବ୍ୟାଚ୍ ମଧ୍ୟରେ ସ୍ଥିର ଗୁଣବତ୍ତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ ଏବଂ ଗ୍ରାହକମାନଙ୍କୁ ସମୟ ସମୟରେ ଶିଳ୍ପକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରୁଥିବା ସାମଗ୍ରୀ ପ୍ରତିସ୍ଥାପନ ସମସ୍ୟାରୁ ରକ୍ଷା କରେ।
ଶିଳ୍ପ ପଥ ଏବଂ ଭବିଷ୍ୟତ ବିଚାର
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପ ପ୍ରସାରଣ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରିସିସନ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଉପାଦାନ ବଜାର ଅଭିବୃଦ୍ଧି ଅନୁଭବ କରୁଛି, ଏବଂ ଦଶନ୍ଧିର ଶେଷ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଚାହିଦାରେ ନିରନ୍ତର ବୃଦ୍ଧି ଘଟିବ ବୋଲି ଆକଳନ କରାଯାଉଛି। ଅନେକ ଧାରା ଭବିଷ୍ୟତର ଭୂଦୃଶ୍ୟକୁ ଆକାର ଦେଉଛି।
ଚିପଲେଟ୍ ଆର୍କିଟେକ୍ଚର ଏବଂ 3D ଷ୍ଟାକିଂ ସମେତ ଉନ୍ନତ ପ୍ୟାକେଜିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା, ବଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ଯାଞ୍ଚ ଉପକରଣରେ ସଠିକ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପାଇଁ ନୂତନ ପ୍ରୟୋଗ ସୃଷ୍ଟି କରୁଛି। ଏକକାଳୀନ, ବୃହତ୍ତର ୱେଫର ଆକାର - 300mm ରୁ 450mm ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ - ଆଡକୁ ଅଗ୍ରସର ହେବା ପାଇଁ ଅଭୂତପୂର୍ବ ପରିମାଣର ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଉପାଦାନ ଆବଶ୍ୟକ ହେବ, ଯାହା ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷମତାର ସୀମା ପରୀକ୍ଷା କରିବ।
ପାରମ୍ପରିକ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ପ୍ରୟୋଗ ସହିତ ସାମଗ୍ରୀ ନବସୃଜନ ଜାରି ରହିଛି। କଠୋରତା, ଓଜନ ଏବଂ ତାପଜ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ସନ୍ତୁଳନ ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ସହିତ ସିରାମିକ୍ କିମ୍ବା କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ମିଶ୍ରିତ ହାଇବ୍ରିଡ୍ ଗଠନ ଉଭା ହେଉଛି। କାର୍ବନ ଫାଇବର ପ୍ରବଳିତ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ଉନ୍ନତ ଡମ୍ପିଂ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯେତେବେଳେ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ କିଛି ଗତି ପ୍ରଣାଳୀ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା-ପ୍ରତି-ଓଜନ ଅନୁପାତ ପ୍ରଦାନ କରେ।
କ୍ରୟ ବୃତ୍ତିଗତ ଏବଂ ବୈଷୟିକ ପରିଚାଳକମାନଙ୍କ ପାଇଁ, ଦକ୍ଷ, ପ୍ରମାଣିତ ଯୋଗାଣକାରୀଙ୍କ ସହ ସମ୍ପର୍କ ସ୍ଥାପନ କରିବା ସହିତ ଏହି ବିକାଶଗୁଡ଼ିକ ବିଷୟରେ ଅବଗତ ରହିବା ଏକ ବର୍ଦ୍ଧିତ ଦାବିପୂର୍ଣ୍ଣ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ ବଜାରରେ ପ୍ରତିଯୋଗିତାମୂଳକ ଲାଭ ବଜାୟ ରଖିବା ପାଇଁ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ ପ୍ରମାଣିତ ହେବ।
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ଆବଶ୍ୟକତା ପାଇଁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଭାବରେ ଇଞ୍ଜିନିୟର୍ଡ ହୋଇଥିବା ସଠିକ୍ ଗ୍ରାନାଇଟ୍ ସମାଧାନ ଅନୁସନ୍ଧାନ କରିବାକୁ ପ୍ରସ୍ତୁତ କି? ପରିଦର୍ଶନ କରନ୍ତୁwww.ZHHIMG-group.comପ୍ରମାଣିତ ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷମତା ଏବଂ ଦଶନ୍ଧିର ସଠିକତା ବିଶେଷଜ୍ଞତା ଆପଣଙ୍କର ପରବର୍ତ୍ତୀ ପିଢ଼ିର ଉପକରଣ ବିକାଶକୁ କିପରି ସମର୍ଥନ କରିପାରିବ ତାହା ଆବିଷ୍କାର କରିବା ପାଇଁ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମଇ-୧୮-୨୦୨୬